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全数字伺服电机轴角转换单元建模与分析 被引量:6
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作者 刘亚静 范瑜 吕刚 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期148-154,4,共7页
基于跟踪法的磁编码器轴角转换单元具有抗干扰能力强,同时能得到角度和速度信号等优点;而专用集成电路具有并行性、灵活性和实时性高等优点。当采用专用集成电路(application specific integrated circuits,ASIC)设计全数字、纯硬件的... 基于跟踪法的磁编码器轴角转换单元具有抗干扰能力强,同时能得到角度和速度信号等优点;而专用集成电路具有并行性、灵活性和实时性高等优点。当采用专用集成电路(application specific integrated circuits,ASIC)设计全数字、纯硬件的轴角数字转换单元时,面临着系统和算法的结构选择、内部参数界确定以及字长选取等问题。该文利用数字坐标旋转机(coordinate rotational digital computer,CORDIC)算法来替代传统跟踪测角中的乘法器和数控振荡器,通过对XY通道和Z通道进行标定以及误差分析,将其等效为一个减法操作符,实现角度求差功能。在此基础上,分析内部的误差传播路径,并从稳定性和动态性能角度确定传播路径的界,从而建立全数字轴角转换单元的模型,最后利用FPGA分别实现了A/D位数为10位、12位和14位时的轴角转换单元。实验结果验证了该文所建模型的正确性及有效性。 展开更多
关键词 伺服电机 跟踪测角 磁编码器 轴角数字转换 数字旋转坐标机 专用集成电路
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集成ASIC补偿电路的高温动态MEMS压力传感器 被引量:1
2
作者 胡英杰 王伟忠 +3 位作者 杨拥军 卞玉民 李旭浩 王晗 《现代制造技术与装备》 2023年第8期27-30,共4页
随着工业技术的进步,高温高动态压力传感器的应用需求显著增加。提出一种集成专用补偿电路的高动态硅压阻式微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)压力传感器,进行压力敏感芯片的结构设计和加工工艺设计,并对压力传感... 随着工业技术的进步,高温高动态压力传感器的应用需求显著增加。提出一种集成专用补偿电路的高动态硅压阻式微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)压力传感器,进行压力敏感芯片的结构设计和加工工艺设计,并对压力传感器进行封装和温度补偿电路设计。多层绝缘体上硅(Silicon On Insulator,SOI)材料能够使传感器在高温环境下正常工作。无引线的封装方式可有效提升传感器的频响性能。传感器后端集成了桥阻式专用集成电路(Application Specific Integrated Circuits,ASIC),能够显著减小传感器的体积,同时提升传感器整体性能。该MEMS传感器通过自动压力测试系统进行性能试验,结果表明MEMS压力传感器经过补偿后能够实现较高的线性度、稳定的零点输出特性以及理想的动态输出特性。 展开更多
关键词 专用集成电路(asic) 微电子机械系统(MEMS)技术 压力传感器 温度补偿 集成封装
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数字视频广播传输流接收专用芯片的设计 被引量:1
3
作者 贺光辉 俞伟 +1 位作者 赵行波 周祖成 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期53-56,共4页
为了满足计算机能够接收数字视频广播(DVB)内容的需要,针对DVB传输数据量大,实时性要求高的业务特性,提出了一种DVB传输流接收专用芯片的设计。按照自顶向下的设计流程,通过合理划分软硬件结构,围绕高速数据通道的设计,采用流水线结构... 为了满足计算机能够接收数字视频广播(DVB)内容的需要,针对DVB传输数据量大,实时性要求高的业务特性,提出了一种DVB传输流接收专用芯片的设计。按照自顶向下的设计流程,通过合理划分软硬件结构,围绕高速数据通道的设计,采用流水线结构和链式直接存储器访问(DMA)的方式来提高数据处理速度,并利用理论建模的方法定制链式DMA的参数以及系统缓存大小。实验结果表明:链式DMA策略的硬件带宽达到476.6 Mb/s,为传统DMA方式的25倍,有效提高了接收芯片的数据处理能力。该芯片已采用Fujitsu 0.35μm的CMOS工艺流片。 展开更多
关键词 专用集成电路 数字视频广播 直接存储器访问
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用于电刺激人造视网膜系统的专用集成电路设计
4
作者 陈曦 周杰 +4 位作者 郭训华 郑志恒 李慧 陈诚 王国兴 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期1234-1241,共8页
老年性黄斑变性(Age-related Macular Degeneration,AMD)及视网膜色素变性(Retinitis Pigmentosa,RP)是视网膜退化及致盲的常见原因.研究发现,这些患者视网膜中的大部分神经细胞及视神经通路依旧完好,借助人造视网膜的电刺激有可能恢复... 老年性黄斑变性(Age-related Macular Degeneration,AMD)及视网膜色素变性(Retinitis Pigmentosa,RP)是视网膜退化及致盲的常见原因.研究发现,这些患者视网膜中的大部分神经细胞及视神经通路依旧完好,借助人造视网膜的电刺激有可能恢复患者的视觉.专用集成电路是人造视网膜系统中最关键的组成部分.介绍了人造视网膜系统中专用集成电路的发展,并提出了用于新一代高密度电刺激人造视网膜系统的专用集成电路体系架构,同时设计并测试了采用此体系架构的一款128通道的专用芯片. 展开更多
关键词 人造视网膜 专用集成电路
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基于AXI总线的DMA控制器的设计与实现 被引量:11
5
作者 蒲杰 李贵勇 《重庆邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2012年第2期174-177,共4页
为提高直接内存存取(direct memory access,DMA)控制器数据传输效率,满足第三代移动通信终端基带芯片的实际应用,提出了一种基于高级扩展接口(advanced extensible interface,AXI)总线实现DMA控制器的专用集成电路(application specific... 为提高直接内存存取(direct memory access,DMA)控制器数据传输效率,满足第三代移动通信终端基带芯片的实际应用,提出了一种基于高级扩展接口(advanced extensible interface,AXI)总线实现DMA控制器的专用集成电路(application specific integrated circuit,ASIC)硬件实现方法。在用硬件描述语言(Verilong HDL)实现整个设计的基础上,运用编译仿真工具进行了功能仿真,利用综合工具SYNOPSYS的Design Compiler对其综合。经过现场可编程门阵列(field-programmable gate array,FPGA)验证,确保该控制器可以作为一个独立的知识产权(intellectual property,IP)核嵌入到ASIC系统中,该设计已成功运用于TD-LTE终端基带芯片中。 展开更多
关键词 直接内存存取(DMA) 高级扩展接口(AXI) 知识产权(IP) asic
原文传递
基于专用集成电路的智能交流接触器 被引量:10
6
作者 王振兴 耿英三 +3 位作者 戴鹏程 高文乐 姚建军 冯涛 《低压电器》 北大核心 2007年第19期18-21,共4页
开发了一种基于专用集成电路的智能交流接触器。通过电子线路控制交流接触器触头接触时的碰撞速度,以减小接通过程的触头弹跳。阐述了系统结构和芯片内部结构,进行了智能交流接触器和普通交流接触器的对比实验。实验结果表明,该智能交... 开发了一种基于专用集成电路的智能交流接触器。通过电子线路控制交流接触器触头接触时的碰撞速度,以减小接通过程的触头弹跳。阐述了系统结构和芯片内部结构,进行了智能交流接触器和普通交流接触器的对比实验。实验结果表明,该智能交流接触器具有节能、降噪和提高电寿命的优点。 展开更多
关键词 接触器 专用集成电路 智能操作 节能 电寿命
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低存储高速可重构LDPC码译码器设计及ASIC实现 被引量:8
7
作者 栾志斌 裴玉奎 葛宁 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第10期2287-2292,共6页
在星上应用中,能够融合多种标准的可重构低密度奇偶校验(LDPC)码译码器受到越来越广泛地关注。然而,由于星上存储资源受限以及空间辐射效应对存储器的影响,传统需要消耗大量存储资源的可重构LDPC译码器很难适用于星上高速信号处理。该... 在星上应用中,能够融合多种标准的可重构低密度奇偶校验(LDPC)码译码器受到越来越广泛地关注。然而,由于星上存储资源受限以及空间辐射效应对存储器的影响,传统需要消耗大量存储资源的可重构LDPC译码器很难适用于星上高速信号处理。该文提出一种新颖的可重构译码器架构,通过分层流水线迭代实现高吞吐率,通过结合不同LDPC码字的结构特点实现低复杂度的可重构译码,通过简化存储迭代传递信息以及信道对数似然比(LLR)信息节省存储空间。流片实现结果表明,在台积电(TSMC)0.13 mm工艺下,单路译码器最高可达1.5 Gbps的吞吐率,占用7.8 mm2的硅片面积,最高节省40%的存储资源。 展开更多
关键词 低密度奇偶校验(LDPC)码 无线通信 可重构 低存储 高吞吐率 专用集成电路(asic)
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一种基于FPGA的抗辐射加固星载ASIC设计方法 被引量:7
8
作者 常克武 王海涛 +1 位作者 张弓 汪路元 《航天器工程》 北大核心 2016年第4期74-80,共7页
针对静态随机存储器(SRAM)型现场可编程门阵列(FPGA)空间应用的问题,提出了基于FPGA星载抗辐射加固专用集成电路(ASIC)设计的全流程,并重点对扫描链设计、存储器内建自测试、自动向量生成、ASIC封装设计、散热设计、加电振动试验等关键... 针对静态随机存储器(SRAM)型现场可编程门阵列(FPGA)空间应用的问题,提出了基于FPGA星载抗辐射加固专用集成电路(ASIC)设计的全流程,并重点对扫描链设计、存储器内建自测试、自动向量生成、ASIC封装设计、散热设计、加电振动试验等关键点的设计方法和注意事项进行了介绍。通过设计、测试、封装、试验,实现了基于静态随机存储器型FPGA转化为抗辐射加固ASIC。ASIC抗辐射总剂量大于100krad(Si),抗单粒子闩锁(SEL)阈值大于75 MeV·cm^2/mg,抗单粒子翻转(SEU)阈值大于22 MeV·cm^2/mg,满足空间应用的要求,具有很好的应用前景。 展开更多
关键词 专用集成电路 空间环境辐射 单粒子效应 设计流程
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基于OpenLane的专用集成电路设计工具
9
作者 王建新 许弘可 +3 位作者 郑玉崝 肖超恩 张磊 陈欣 《福州大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2024年第3期261-267,共7页
提出一种基于OpenLane的专用集成电路(ASIC)设计工具的设计方案.以Gambas开发环境为基础,利用插件技术实现对OpenLane工具链的集成,完成基于OpenLane的ASIC设计工具,即EasyASIC.该工具涵盖工程管理、代码编辑、Verilog代码的编译、仿真... 提出一种基于OpenLane的专用集成电路(ASIC)设计工具的设计方案.以Gambas开发环境为基础,利用插件技术实现对OpenLane工具链的集成,完成基于OpenLane的ASIC设计工具,即EasyASIC.该工具涵盖工程管理、代码编辑、Verilog代码的编译、仿真、OpenLane初始化文件的配置、GDSII文件的生成、GDS2D和GDS3D显示等功能,从而实现ASIC设计的自动化.以32 bit有符号乘法器为例,对该工具进行功能验证测试.实验结果表明,EasyASIC能够在国产Deepin操作系统下流畅运行,实现32 bit有符号乘法器从寄存器传输级文件描述向GDSII文件的转换,该工具有很强的操作性和易用性,对于提升我国集成电路设计工具软件产业水平具有一定的参考意义. 展开更多
关键词 集成电路设计工具 专用集成电路 OpenLane Gambas
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Low-power and area-optimized VLSI implementation of AES coprocessor for Zigbee system 被引量:5
10
作者 LI Zhen-rong ZHUANG Yi-qi ZHANG Chao JIN Gang 《The Journal of China Universities of Posts and Telecommunications》 EI CSCD 2009年第3期89-94,共6页
A low-power and low-cost advanced encryption standard (AES) coprocessor is proposed for Zigbee system-on-a-chip (SoC) design. The cost and power consumption of the proposed AES coprocessor are reduced considerably... A low-power and low-cost advanced encryption standard (AES) coprocessor is proposed for Zigbee system-on-a-chip (SoC) design. The cost and power consumption of the proposed AES coprocessor are reduced considerably by optimizing the architectures of SubBytes/InvSubBytes and MixColumns/InvMixColumns, integrating the encryption and decryption procedures together by the method of resource sharing, and using the hierarchical power management strategy based on finite state machine (FSM) and clock gating (CG) technologies. Based on SMIC 0.18 μm complementary metal oxide semiconductor (CMOS) technology, the scale of the AES coprocessor is only about 10.5 kgate, the corresponding power consumption is 69.1 μW/MHz, and the throughput is 32 Mb/s, which is reasonable and sufficient for Zigbee system. Compared with other designs, the proposed architecture consumes less power and fewer hardware resources, which is conducive to the Zigbee system and other portable devices. 展开更多
关键词 ZIGBEE AES architecture ENCRYPTION DECRYPTION application specific integrated circuit asic
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应用于全数字锁相环的时间数字转换器设计 被引量:6
11
作者 张陆 张长春 +2 位作者 李卫 郭宇锋 方玉明 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2014年第1期47-52,共6页
采用标准0.18μm CMOS工艺,设计了一种应用于全数字锁相环中检测相位差大小的时间数字转换电路(TDC)。针对传统TDC电路的不足,通过加入上升沿检测电路,扩大计数器位宽,使得TDC电路不仅能完成时数转换的基本功能,而且提高了时数转换的准... 采用标准0.18μm CMOS工艺,设计了一种应用于全数字锁相环中检测相位差大小的时间数字转换电路(TDC)。针对传统TDC电路的不足,通过加入上升沿检测电路,扩大计数器位宽,使得TDC电路不仅能完成时数转换的基本功能,而且提高了时数转换的准确性,扩大了测量范围。该设计完成了RTL级建模、仿真、综合及布局布线等整个流程。仿真结果表明,该TDC电路工作正常,在1.8 V电源电压下,功耗为10 mW,能达到的分辨率约为0.3 ns,版图尺寸为255μm×265μm。 展开更多
关键词 专用集成电路 全数字锁相环 时间数字转换器 相位检测
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静态时序分析在数字ASIC设计中的应用 被引量:4
12
作者 陈敏 殷瑞祥 +1 位作者 郭瑢 曾爱华 《重庆工学院学报》 2005年第8期51-55,62,共6页
主要介绍了静态时序分析在数字ASIC设计中的应用,描述了静态时序分析的基本原理和流程,并以I2C总线设计为例,分析了对数字ASIC作静态时序分析中可能出现的问题,提出了消除虚假路径的实际方法.通过对全芯片进行静态时序分析,可以确认设... 主要介绍了静态时序分析在数字ASIC设计中的应用,描述了静态时序分析的基本原理和流程,并以I2C总线设计为例,分析了对数字ASIC作静态时序分析中可能出现的问题,提出了消除虚假路径的实际方法.通过对全芯片进行静态时序分析,可以确认设计的准确性和可靠性,从而为设计流程中每一部分的工作取得sign-off提供可靠保证. 展开更多
关键词 专用集成电路(asic) 静态时序分析(STA) I^2C 时序约束 虚假路径
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ASIC Design of Floating-Point FFT Processor 被引量:2
13
作者 陈禾 赵忠武 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2004年第4期389-393,共5页
An application specific integrated circuit (ASIC) design of a 1024 points floating-point fast Fourier transform(FFT) processor is presented. It can satisfy the requirement of high accuracy FFT result in related fields... An application specific integrated circuit (ASIC) design of a 1024 points floating-point fast Fourier transform(FFT) processor is presented. It can satisfy the requirement of high accuracy FFT result in related fields. Several novel design techniques for floating-point adder and multiplier are introduced in detail to enhance the speed of the system. At the same time, the power consumption is decreased. The hardware area is effectively reduced as an improved butterfly processor is developed. There is a substantial increase in the performance of the design since a pipelined architecture is adopted, and very large scale integrated (VLSI) is easy to realize due to the regularity. A result of validation using field programmable gate array (FPGA) is shown at the end. When the system clock is set to 50 MHz, 204.8 μs is needed to complete the operation of FFT computation. 展开更多
关键词 application specific integrated circuit(asic) fast Fourier transform(FFT) FLOATING-POINT PIPELINE very large scale integrated(VLSI)
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RS编码的低功耗设计及ASIC研究
14
作者 张萍萍 李锦明 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2023年第2期156-163,共8页
为解决里所(Reed-solomon,RS)编码的低功耗设计,从系统架构、RTL级、门级等不同设计层级进行分析,并在专用集成电路(Application specific integrated circuit,ASIC)设计中加以实践。基于低功耗设计将前端RTL级设计与后端IC设计结合起来... 为解决里所(Reed-solomon,RS)编码的低功耗设计,从系统架构、RTL级、门级等不同设计层级进行分析,并在专用集成电路(Application specific integrated circuit,ASIC)设计中加以实践。基于低功耗设计将前端RTL级设计与后端IC设计结合起来,研究能实现RS编码功能的芯片。在系统架构层,针对RS编码算法中伽罗华域的乘法运算在硬件实现时存在数据运算量大、消耗功耗大等问题,提出基于乘法器因子矩阵的方法对RS编码算法进行优化,通过将乘法运算转化为减法运算等方式减少数据运算量,从而降低功耗。在RTL级和门级层面,分别在逻辑综合和后端实现中加以约束来实现低功耗设计,总体功耗可以降低60%左右。解决了因IC芯片功耗过高导致芯片性能下降,从而影响芯片正常工作等问题,为集成电路工艺提供了新的发展方向。 展开更多
关键词 里所编码 低功耗设计 专用集成电路 逻辑综合
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ASIC-PLC全数字式水轮机调速器 被引量:2
15
作者 金波 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期570-573,共4页
为了提高水轮机调速器的可靠性,对全数字式水轮机调速器进行了研究,它以可编程控制器(PLC)为基础,结合专用集成电路技术(application specific integrated circuit,ASIC)进行测频和位移测量,同时采用一个全数字式的液压控制系统——数... 为了提高水轮机调速器的可靠性,对全数字式水轮机调速器进行了研究,它以可编程控制器(PLC)为基础,结合专用集成电路技术(application specific integrated circuit,ASIC)进行测频和位移测量,同时采用一个全数字式的液压控制系统——数字阀插装阀并联液压控制系统,从而构成一个真正的全数字式水轮机调速器,即从信号的采集到控制的输出全部实现了数字化.在水轮机调速器半物理仿真实验台上进行了实验.结果表明,它的控制性能良好,可以满足水轮机对调速器的要求. 展开更多
关键词 水轮机调速器 全数字式控制 液压控制系统 专用集成电路技术 可编程控制器
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应用于核电站DCS的PROFIBUS-PA现场总线接口电路设计 被引量:3
16
作者 杨程 张焕欣 +2 位作者 姜智锐 史雄伟 张晓冬 《自动化与仪表》 2020年第9期93-96,共4页
当前市售PROFIBUS-PA设备的总线接口电路设计多采用FPGA(或MCU)和进口专用集成电路芯片ASIC实现,存在价格昂贵、可选芯片单一等问题。经过对PROFIBUS-PA总线接口电路的研究,提出采用FPGA和自搭建MAU电路实现的PA总线接口电路。该电路具... 当前市售PROFIBUS-PA设备的总线接口电路设计多采用FPGA(或MCU)和进口专用集成电路芯片ASIC实现,存在价格昂贵、可选芯片单一等问题。经过对PROFIBUS-PA总线接口电路的研究,提出采用FPGA和自搭建MAU电路实现的PA总线接口电路。该电路具有成本低、可选器件丰富的优点。经过测试,该电路可应用于PROFIBUS-PA现场总线设备,且所有关键器件都有国产型号可供选择,为核电站DCS现场总线设备的国产化提供了解决方案。 展开更多
关键词 PROFIBUS-PA 接口电路 DCS FPGA asic MAU
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一种硅微谐振式加速度计频率读出方法与ASIC实现 被引量:2
17
作者 赵广胜 夏国明 +2 位作者 裘安萍 施芹 赵阳 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期307-312,331,共7页
针对硅微谐振式加速度计(SRA),提出了一种低噪声、低功耗、可集成的频率读出电路。频率读出电路主要基于Σ-Δ原理,实现了对量化噪声的调制与抑制,在0.1 Hz频率下实现了0.1Mhz/√Hz的频率测量水平。同时,专用集成电路(ASIC)实现了对加... 针对硅微谐振式加速度计(SRA),提出了一种低噪声、低功耗、可集成的频率读出电路。频率读出电路主要基于Σ-Δ原理,实现了对量化噪声的调制与抑制,在0.1 Hz频率下实现了0.1Mhz/√Hz的频率测量水平。同时,专用集成电路(ASIC)实现了对加速度测量中频率非线性的补偿,实现了在质量块正弦调制谐振梁情况下频率的零均值变化,解决了冲击和振动环境中非线性导致的加速度偏移问题。最后,ASIC以0.35μm CMOS工艺实现,并与前端模拟振荡电路集成,构成了完整的SRA单芯片测控系统。 展开更多
关键词 硅微谐振式加速度计(SRA) 频率读出 专用集成电路(asic) 低噪声 零均值
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一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器 被引量:2
18
作者 任臣 杨拥军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期325-331,共7页
为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准... 为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准CMOS工艺设计实现,工作电压为1.8 V,工作电流为80μA。电路仿真结果显示:三级运算放大器的直流增益为118 dB,单位增益频率为73 MHz,噪声水平为0.21μV/√Hz。芯片测试结果表明,采用该放大器的电容传感器电路前端的非线性优于6×10^(-5)。该放大器功耗低、面积小、可靠性好,在工程上实现了较优的综合性能。 展开更多
关键词 专用集成电路(asic) 微电子机械系统(MEMS) 三级运算放大器 密勒补偿 高精度电容传感器
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X射线像素探测器研究进展 被引量:2
19
作者 李贞杰 张杰 +2 位作者 李木槿 崔珊珊 魏微 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第32期3808-3822,共15页
X射线像素探测器是先进光源线站的关键探测器.因其技术门槛高、学科交叉强、系统复杂度高等特点,该领域的国内研究长期空白,产品一直被国外垄断.为突破困境,魏微及其团队通过长期研究取得两个阶段的关键成果:实现国内同步辐射高端探测... X射线像素探测器是先进光源线站的关键探测器.因其技术门槛高、学科交叉强、系统复杂度高等特点,该领域的国内研究长期空白,产品一直被国外垄断.为突破困境,魏微及其团队通过长期研究取得两个阶段的关键成果:实现国内同步辐射高端探测器零的突破,并由“跟跑”初步实现与国际研究“并跑”.团队依托高能光源预研,突破像素读出芯片自主设计,联合研发传感器、先进封装关键技术,完成国内首台硅像素探测器样机研制,性能达到国际先进水平并通过国家验收,用户已获成果产出,基本解决了像素探测器“卡脖子”问题.团队进一步瞄准国际前沿,研制小像素单元探测器,填补了国内空白,空间分辨追平国际最好水平;探索并实现同步辐射四维探测新模式;完成顶点探测器、自由电子激光等大科学装置的一系列原型芯片研制. 展开更多
关键词 像素探测器 X射线 同步辐射 单光子计数 直接探测 专用集成电路
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一种集成式硅MEMS振动陀螺仪 被引量:2
20
作者 李博 杨拥军 +5 位作者 徐永青 徐淑静 胥超 何洪涛 罗蓉 卢新艳 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第8期501-505,共5页
介绍了一种集成式硅MEMS振动陀螺仪。首先阐述了MEMS振动陀螺仪的工作原理;在此基础上,介绍了陀螺敏感结构形式:采用双端固定音叉结构,差分检测,实现对外界角速率的敏感,给出了结构设计和有限元(FEM)仿真结果;加工工艺采用圆片级真空封... 介绍了一种集成式硅MEMS振动陀螺仪。首先阐述了MEMS振动陀螺仪的工作原理;在此基础上,介绍了陀螺敏感结构形式:采用双端固定音叉结构,差分检测,实现对外界角速率的敏感,给出了结构设计和有限元(FEM)仿真结果;加工工艺采用圆片级真空封装SOI工艺,介绍了工艺流程;检测电路采用数字化ASIC电路,给出了电路原理框图;采用LCC30陶瓷外壳实现了陀螺的集成封装。最后介绍了陀螺的研制结果和典型参数,陀螺量程达到±500°/s,零偏稳定性和重复性达到5°/h,标度因数非线性为1.5×10-4,重复性为5×10-5,重量仅为1.85 g,功耗为0.125 W,可满足大部分工程应用要求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 SOI工艺 圆片级真空封装 集成封装 专用集成电路(asic)
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