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疏水耐环境型SiO_2/TiO_2/SiO_2-TiO_2太阳能宽光谱增透膜的制备及性能研究 被引量:3
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作者 檀满林 张礼杰 +6 位作者 王晓伟 马清 符冬菊 张维丽 李冬霜 陈建军 张化宇 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期365-371,共7页
利用TFCcal设计软件构建膜系结构,采用溶胶–凝胶工艺和提拉法在超白玻璃上制备出厚度精确可控的宽光谱、高增透型SiO2/TiO2/SiO2-TiO2减反膜,同时结合甲基三乙氧基硅烷(MTES)改性碱催化的SiO2溶胶,通过提拉法一次制备出高透过率疏水... 利用TFCcal设计软件构建膜系结构,采用溶胶–凝胶工艺和提拉法在超白玻璃上制备出厚度精确可控的宽光谱、高增透型SiO2/TiO2/SiO2-TiO2减反膜,同时结合甲基三乙氧基硅烷(MTES)改性碱催化的SiO2溶胶,通过提拉法一次制备出高透过率疏水型薄膜。研究表明,高增透型三层宽光谱减反膜的理论膜层厚度依次为:80.9 nm(内层SiO2-TiO2)、125.0 nm(中间层TiO2)、95.5 nm(外层SiO2),其在400~700 nm可见光范围内平均透过率实际可高达97.03%以上。多层膜经过退火处理后,膜面的水接触角高达131.5°,同时陈化两个月以后的多层膜透过率仅下降0.143%,表明制备的SiO2/TiO2/SiO2-TiO2多层减反膜具有优良的疏水和耐环境性能。 展开更多
关键词 增透膜 疏水型 耐环境 宽光谱
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含Si-O-P键的减反膜结构及性能影响因素研究 被引量:3
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作者 王燕 王红宁 陈若愚 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期639-644,共6页
采用SiO2水溶胶(ACS)为硅源,H3PO4为桥联剂,H2O2为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新型减反膜。利用FTIR、XRD、FESEM、TEM、AFM对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究,结果表明,在成胶过程中,H2O2的导入有效修复了SiO2胶粒... 采用SiO2水溶胶(ACS)为硅源,H3PO4为桥联剂,H2O2为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新型减反膜。利用FTIR、XRD、FESEM、TEM、AFM对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究,结果表明,在成胶过程中,H2O2的导入有效修复了SiO2胶粒的表面羟基,提高了SiO2的反应活性;而在焙烧过程中,H3PO4通过其自身脱水形成的偏磷酸链状体分别与SiO2胶粒及玻璃基底表面的Si-OH进行了脱羟基缩聚,构架了坚固的Si?O?P网络交联,最终形成了稳定的磷硅酸盐凝胶网络结构,提高了成膜质量。当n(H3PO4):n(H2O2):n(EtOH):n(SiO2)=0.49:0.52:30:1时,制备的SiO2减反膜在可见光区平均透光率高达98%,硬度可达6H。 展开更多
关键词 SiO2水溶胶 磷酸 双氧水 Si-O-P桥键 减反膜
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用于1053nm高功率脉冲激光的有序介孔减反射膜 被引量:1
3
作者 孙菁华 徐耀 +2 位作者 晏良宏 吕海兵 袁晓东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第20期384-390,共7页
以非离子表面活性剂F127为模板,正硅酸乙酯为硅源,在酸性条件下合成胶体通过溶剂蒸发诱导自组装的方式制备了单层薄膜,经氨气预处理和高温煅烧除去模板剂后得到介孔氧化硅薄膜.利用同步辐射掠入射X射线衍射、氮气吸脱附和透射电子显微... 以非离子表面活性剂F127为模板,正硅酸乙酯为硅源,在酸性条件下合成胶体通过溶剂蒸发诱导自组装的方式制备了单层薄膜,经氨气预处理和高温煅烧除去模板剂后得到介孔氧化硅薄膜.利用同步辐射掠入射X射线衍射、氮气吸脱附和透射电子显微镜研究了薄膜的介观结构,发现薄膜内部呈现有序的笼型孔道结构,可归属于体心立方排列.通过紫外-可见光谱仪和椭偏仪研究了薄膜的光学性质,在1053 nm波长处光学透射率可达99.9%以上,折射率可依F127/Si摩尔比而变.采用原子力显微镜研究了薄膜的表面性质,薄膜表面平整,平均粗糙度仅为1.2 nm.使用1053 nm激光测试薄膜的激光损伤阈值,所有样品阈值均大于25 J·cm^(-2)(脉宽为1 ns).该薄膜制备方法有望成为一种大口径减反射膜制备新方法. 展开更多
关键词 有序介孔 氧化硅 减反射膜 激光损伤阈值
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湿热环境对Ge基中波减反射膜可靠性的影响 被引量:1
4
作者 陈凤金 苏现军 +2 位作者 马胜昔 孙永燕 阎凯 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期93-97,共5页
采用双面抛光的锗片为基底,镀制中波减反射膜,在湿热环境中分别持续24h、2×24h、3×24h、4×24h、5×24h、…、12×24h之后,研究了湿热环境对Ge基中波减反射膜的光学特性、牢固性等可靠性的影响。实验结果表明:在... 采用双面抛光的锗片为基底,镀制中波减反射膜,在湿热环境中分别持续24h、2×24h、3×24h、4×24h、5×24h、…、12×24h之后,研究了湿热环境对Ge基中波减反射膜的光学特性、牢固性等可靠性的影响。实验结果表明:在现有工艺条件下,所镀制的Ge基中波减反射膜经不同时间的湿热环境之后,透过率逐渐变低,并出现CO2和H2O的特征吸收峰,吸收峰是减反射膜长时间持续在湿热环境下CO2和H2O含量增大所致;湿热环境10×24h后,边缘膜层开始出现脱落现象,12×24h后,膜层平均透过率低于85%。 展开更多
关键词 湿热环境 减反射膜 可靠性 镀膜 吸收峰
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含氟有机减反射膜的研究 被引量:1
5
作者 茅素芬 黄承武 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期106-111,共6页
采用低温等离子体辉光放电技术,用含氟有机单体在硅太阳电池表面聚合成膜。测定膜的光电性能和反射率证实:有膜电池的短路电流、光电转换效率及光谱响应都有明显增加,反射率绝对值降低2%左右,膜为非晶结构。此外,还研究了成膜工艺因素... 采用低温等离子体辉光放电技术,用含氟有机单体在硅太阳电池表面聚合成膜。测定膜的光电性能和反射率证实:有膜电池的短路电流、光电转换效率及光谱响应都有明显增加,反射率绝对值降低2%左右,膜为非晶结构。此外,还研究了成膜工艺因素和膜电池性能的关系。 展开更多
关键词 硅太阳能电池 减反射膜 含氟
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一种具有减反射性能的Cu2ZnSnS4太阳能电池透明导电氧化物薄膜
6
作者 敬婧 李致朋 +8 位作者 卢伟胜 王宏宇 杨祖安 杨毅 尹祺圣 杨馥菱 沈晓明 曾建民 詹锋 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第23期237-242,共6页
通过研究一种新型透明导电氧化物薄膜(transparent conductive oxide,TCO)的减反射作用,探索增加入射光进入Cu2ZnSnS4(CZTS)太阳能电池从而提高太阳能电池效率的新途径.在AM1.5光照条件下,设计了一种在宽波长范围内具有更好的减反射性能... 通过研究一种新型透明导电氧化物薄膜(transparent conductive oxide,TCO)的减反射作用,探索增加入射光进入Cu2ZnSnS4(CZTS)太阳能电池从而提高太阳能电池效率的新途径.在AM1.5光照条件下,设计了一种在宽波长范围内具有更好的减反射性能的TCO薄膜,即SiO2/ZnO减反射TCO薄膜(antireflective transparent conductive oxide,ATCO).为了衡量300-800 nm波长范围内的减反射效果,引入了有效平均反射率方法(effective average reflectance,EAR)进行测算.为充分考虑折射率色散的影响以及TCO,ATCO薄膜与有源层的耦合,本文采用多维光学传输矩阵对各关键材料层的耦合及膜厚进行了优化,以准确衡量最优的减反射效果.最后,通过比较常规CZTSSC和ATCO-CZTSSC的减反射性能,得到了新型ATCO膜,可以有效地减少光损耗并提高光电转换效率的结论. 展开更多
关键词 减反射膜 透明导电氧化物 Cu2ZnSnS4 太阳能电池 有效平均反射率
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用于太阳电池的SiO_2增透膜的制备及性能研究 被引量:19
7
作者 沈军 吴筱娴 +2 位作者 谢志勇 肖轶群 林雪晶 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期943-946,共4页
用溶胶-凝胶及酸碱两步催化法制备出SiO_2溶胶,采用提拉法在太阳电池组件玻璃上制备SiO_2薄膜,进行表面修饰使其具有良好的疏水性,接触角由修饰前的40°提高到107°。设计并制备出在400~800nm波段平均透过率增加5%以上的大面... 用溶胶-凝胶及酸碱两步催化法制备出SiO_2溶胶,采用提拉法在太阳电池组件玻璃上制备SiO_2薄膜,进行表面修饰使其具有良好的疏水性,接触角由修饰前的40°提高到107°。设计并制备出在400~800nm波段平均透过率增加5%以上的大面积减反射膜。疏水性耐磨性都可以达到工业化生产的要求。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 增透膜 疏水 太阳电池
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光学薄膜及其发展现状 被引量:10
8
作者 李金丽 刘全校 许文才 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期14-15,20,共3页
介绍了传统光学薄膜的原理,并对反光膜、增透膜、纳米光学薄膜等传统光学薄膜的研究现状及应用情况,以及几种新型光学薄膜如高强度激光器、金刚石及类金刚石膜、软X射线多层膜、光电通信用光学薄膜的研究现状及应用进行了详细分析;最后... 介绍了传统光学薄膜的原理,并对反光膜、增透膜、纳米光学薄膜等传统光学薄膜的研究现状及应用情况,以及几种新型光学薄膜如高强度激光器、金刚石及类金刚石膜、软X射线多层膜、光电通信用光学薄膜的研究现状及应用进行了详细分析;最后对光学薄膜的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 光学薄膜 反光膜 增透膜 纳米光学薄膜 新型光学薄膜
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ITO材料在减反射膜设计中的应用 被引量:10
9
作者 徐颖 高劲松 +2 位作者 王笑夷 陈红 王彤彤 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1187-1189,共3页
改变ITO材料通常作为透明导电膜单独使用的状况,将其作为减反射膜系中的一层,能够在很大程度上增加ITO透明导电膜在可见光部分的透过率.通过使用将ITO材料置于膜系的内层和最外层两类不同的设计思想,可以使ITO透明导电膜达到相当优良的... 改变ITO材料通常作为透明导电膜单独使用的状况,将其作为减反射膜系中的一层,能够在很大程度上增加ITO透明导电膜在可见光部分的透过率.通过使用将ITO材料置于膜系的内层和最外层两类不同的设计思想,可以使ITO透明导电膜达到相当优良的应用效果.使用低压反应离子镀方法制备了设计的两类减反射膜系,实验证明,膜层在可见光部分的透过率显著提高,剩余反射率明显下降,并得到了平均透过率为95.83%,最高透过率达到97.26%,方块电阻为13.2~24.6Ω/□的试验结果. 展开更多
关键词 ITO透明导电膜 低压反应离子镀 方块电阻 减反射膜
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沃拉斯顿棱镜增透膜的研制 被引量:10
10
作者 赵培 吴福全 +2 位作者 郝殿中 王仍 任树锋 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1703-1705,共3页
为了减小沃拉斯顿(Wollaston)棱镜端面反射以提高棱镜的透过率,研究了沃拉斯顿棱镜增透膜的设计和蒸镀工艺。针对制作棱镜的冰洲石晶体和许多膜料之间的附着力较差,膜层不牢固,以及该棱镜中o,e光对应的基体折射率相差较大等问题,在膜系... 为了减小沃拉斯顿(Wollaston)棱镜端面反射以提高棱镜的透过率,研究了沃拉斯顿棱镜增透膜的设计和蒸镀工艺。针对制作棱镜的冰洲石晶体和许多膜料之间的附着力较差,膜层不牢固,以及该棱镜中o,e光对应的基体折射率相差较大等问题,在膜系设计时要兼顾两束线偏振光同时增透的特点,在多次工艺实验摸索出合适的膜料及蒸镀条件的基础上,利用矢量法分析了内层膜的作用并总结了设计方法,具体设计了沃拉斯顿棱镜窄带增透膜,最后根据设计的膜系蒸镀制备了增透膜。利用岛津UV3101分光光度计测量了膜系的反射光谱,结果表明,o光的端面剩余反射减小到0.21%,e光的端面剩余反射减小到0.22%,并且膜层牢固。 展开更多
关键词 薄膜 沃托斯顿棱镜 增透膜 附着力 矢量法
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基于塑料镜片防水加硬抗老化光学薄膜的研制 被引量:9
11
作者 付秀华 刘禹冰 +2 位作者 熊仕富 郭贵新 杨永亮 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期83-88,共6页
为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题,选取机械性能稳定的Ti_3O_5、SiO_2作为高、低折射率材料,依据光学薄膜理论,采用TFCalc软件设计膜系,通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜,在膜系的最外层用电阻加... 为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题,选取机械性能稳定的Ti_3O_5、SiO_2作为高、低折射率材料,依据光学薄膜理论,采用TFCalc软件设计膜系,通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜,在膜系的最外层用电阻加热法镀制防水膜。通过选择新材料SV-55作为连接层,增强了塑料镜片与膜层的附着力,解决了膜系与塑料镜片膨胀系数不匹配的问题,提高了塑料镜片的抗温能力。通过优化工艺参数,得到400nm^700nm反射率R≤1%的绿色减反膜。测试结果显示,研制的薄膜具有耐摩擦、抗老化、防水和防油污的特性。 展开更多
关键词 光学薄膜 光学塑料 减反膜 离子源辅助沉积
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Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜 被引量:8
12
作者 程海娟 于晓辉 +7 位作者 彭浪 普群雁 蔡毅 李茂忠 杨伟声 白玉琢 赵劲松 王岭雪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第11期251-257,共7页
研究了LaF3材料的蒸发特性及其在2.5~12μm红外波段的光学常数,并将LaF3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7~4.8μm波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度... 研究了LaF3材料的蒸发特性及其在2.5~12μm红外波段的光学常数,并将LaF3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7~4.8μm波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度高。利用傅里叶变换红外光谱仪测试了其光谱特性,在3.7~4.8μm波段,峰值透射率达到99.4%,双面镀膜平均透射率由47.7%提高到98.8%。牢固度、耐久性等环境试验结果显示,膜层在保持高的光学性能的同时还可以在较为严苛的恶劣环境中使用。 展开更多
关键词 LAF3 高耐用性 增透膜 中波红外
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非晶硅光伏电池表面高效光陷阱结构设计 被引量:7
13
作者 周骏 孙永堂 +2 位作者 孙铁囤 刘晓 宋伟杰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期801-806,共6页
提出一种应用于非晶硅光伏电池表面的光陷阱结构,该结构主要由衍射光栅、低折射率MgF2膜层、高折射率ZnS膜层及金属Ag反射镜组成.在标准测试条件(AM1.5,100mW/cm2和25℃)下,运用严格耦合波理论,通过计算400—1000nm波段内的1μm厚非晶... 提出一种应用于非晶硅光伏电池表面的光陷阱结构,该结构主要由衍射光栅、低折射率MgF2膜层、高折射率ZnS膜层及金属Ag反射镜组成.在标准测试条件(AM1.5,100mW/cm2和25℃)下,运用严格耦合波理论,通过计算400—1000nm波段内的1μm厚非晶硅光伏电池的吸收光子数加权平均ξAM1.5,优化光陷阱结构的设计参数.结果表明:对于电池前表面减反射结构,在衍射光栅周期为800nm、高度为160nm、占空比为0.6125、MgF2和ZnS膜层厚度分别为90和55nm时,ξAM1.5达到74.3%;在电池背表面沉积ZnS/Ag膜层后,ξAM1.5增大到76.95%.因此,该光陷阱结构可以大幅度提高非晶硅光伏电池的光电转换效率. 展开更多
关键词 光陷阱结构 衍射光栅 减反射膜 非晶硅光伏电池
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提高光伏玻璃透光率的研究概述 被引量:7
14
作者 耿铁 胡金中 +2 位作者 蔚川乐 盛洁 秦立祥 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1594-1598,共5页
能源短缺已经成为阻碍当今世界经济发展的重大问题,开发新型能源已经受到广泛的共识。太阳能作为一种无污染、可再生能源,它的利用受到越来越多的重视。太阳能光伏玻璃的透光率在太阳能利用方面起着重要的作用,所以如何提高光伏玻璃的... 能源短缺已经成为阻碍当今世界经济发展的重大问题,开发新型能源已经受到广泛的共识。太阳能作为一种无污染、可再生能源,它的利用受到越来越多的重视。太阳能光伏玻璃的透光率在太阳能利用方面起着重要的作用,所以如何提高光伏玻璃的透光率已成为光伏行业一项重大的研究课题。光伏玻璃作为光伏电池组件封装的重要组成部分,是直接应用在太阳能光伏发电组件上,具有传递和控制光线,或导出电流作用的玻璃产品。光伏玻璃的透光率是影响太阳能光伏电池转换效能的重要因素,然而它受到玻璃中金属含量,压延花型以及玻璃表面薄膜制备方法等很多因素的影响。本文介绍了影响光伏玻璃透光率的因素,并且详细地概述了提高光伏玻璃透光率的方法以及对这些方法所做的研究,为下一阶段的研究提供了方向。 展开更多
关键词 光伏玻璃 透光率 增透膜
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高强度激光三倍频增透膜的制备 被引量:5
15
作者 付甜 吴广明 +1 位作者 沈军 张志华 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期277-280,共4页
激光技术的发展对增透膜的要求越来越高.采用溶胶-凝胶工艺,运用提拉法镀膜技术与氨处理的后处理工艺,制备了高强度的纳米多孔SiO2增透膜.利用分光光度计研究了提拉速度对透射光谱的影响.结果表明,可以通过控制提拉速度来控制薄透射峰... 激光技术的发展对增透膜的要求越来越高.采用溶胶-凝胶工艺,运用提拉法镀膜技术与氨处理的后处理工艺,制备了高强度的纳米多孔SiO2增透膜.利用分光光度计研究了提拉速度对透射光谱的影响.结果表明,可以通过控制提拉速度来控制薄透射峰值的位置.经过氨处理,薄膜的机械强度比未采用氨处理的薄膜大大增强,并利用红外光谱、原子力显微镜(AFM)等分析手段分析了薄膜强度增强的机理.最后在石英玻璃基底上镀制了激光三倍频增透膜,该薄膜在355nm处透射率为99.58%,满足了实际应用的需要. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶技术 激光三倍频 增透膜 高强度
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聚合物纳米孔隙增透膜制备工艺的研究 被引量:4
16
作者 杨振宇 朱大庆 +2 位作者 赵茗 金曦 孙涛 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期152-156,共5页
论述了聚合物纳米孔隙增透膜的制备工艺流程,分析了聚合物材料分子量、实验环境温度和湿度、溶剂挥发性等条件对纳米孔隙增透膜的影响。研究表明,聚合物材料分子量的增大、温度的降低、湿度的升高以及采用挥发性弱的溶剂都将导致增透膜... 论述了聚合物纳米孔隙增透膜的制备工艺流程,分析了聚合物材料分子量、实验环境温度和湿度、溶剂挥发性等条件对纳米孔隙增透膜的影响。研究表明,聚合物材料分子量的增大、温度的降低、湿度的升高以及采用挥发性弱的溶剂都将导致增透膜孔隙尺寸的增大,孔隙越大其对光的散射损耗就会增大,所以增透膜的透过率就越低。通过大量的试验分析得出一组较理想的工艺参量:使用低分子量的聚合物材料(小于15 kg/mol),环境温度大于25℃、环境相对湿度小于30%,在采用低沸点的溶剂如四氢呋喃等措施下可有效降低增透膜散射损耗。 展开更多
关键词 薄膜光学 纳米材料 增透膜 纳米孔隙薄膜 制备工艺
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黄绿色荧光成像用环烯烃共聚物镜片减反膜的研制
17
作者 石澎 陈琦 +2 位作者 陆思浩 卢志坚 曹秀锋 《当代化工研究》 CAS 2024年第1期146-148,共3页
针对黄绿色荧光成像过程中由于发光微弱导致细节丢失的问题,以环烯烃共聚物中的F52R材料为基底镜片,采用电子束离子辅助蒸发的方法制备了可见光波段黄绿光高通型的减反膜。根据光谱使用要求,利用膜系设计软件TFCalc进行了膜系的设计和优... 针对黄绿色荧光成像过程中由于发光微弱导致细节丢失的问题,以环烯烃共聚物中的F52R材料为基底镜片,采用电子束离子辅助蒸发的方法制备了可见光波段黄绿光高通型的减反膜。根据光谱使用要求,利用膜系设计软件TFCalc进行了膜系的设计和优化;通过离子源沉积工艺的优化,解决了低温镀制过程中膜层牢固度的问题。测试结果表明:当光线的入射角为5°时,400~700nm平均反射率约为0.55%,500~600nm的黄绿光平均反射率约为0.29%,光谱曲线呈现黄绿光高通的形状,满足使用要求。 展开更多
关键词 光学塑料 反薄膜 膜系设计 荧光成像
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基于通带扩展的超宽带减反射膜制备技术 被引量:5
18
作者 张金豹 王明慧 +2 位作者 耿浩 史成浡 孙亚威 《光电技术应用》 2018年第4期25-30,共6页
现代综合性光学仪器往往是一机多用,光学系统的工作波段可能要覆盖紫外、可见、微光、近红外、短波红外甚至中、远红外等。这样的光学系统往往比较复杂,涵盖光学零件类型较多,镜面累计光能损失、杂散光现象严重,光能的损失及杂散光的传... 现代综合性光学仪器往往是一机多用,光学系统的工作波段可能要覆盖紫外、可见、微光、近红外、短波红外甚至中、远红外等。这样的光学系统往往比较复杂,涵盖光学零件类型较多,镜面累计光能损失、杂散光现象严重,光能的损失及杂散光的传播,造成了像的亮度降低,像的衬度降低,像的分辨率下降,为了获得良好的光学系统性能,需要在其光学零件表面镀制超宽带减反射膜。而这种膜系通常需要较多的层数和较多种膜料的组合才能实现,设计和镀制难度都很大。文中提出了一种利用通带扩展方法设计超宽带减反射膜,选用Ta2O5、SiO2两种膜料组合,实现了0.42~0.9μm,Rave≤1.6%,1.064±0.01μm,Rave≤1%,1.57±0.01μm,Rave≤1%,超宽光谱区域减反射效果,镀制膜层质量满足JB/T8226.1-1999检测标准。 展开更多
关键词 光学薄膜 减反射膜 通带扩展 周期
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类金刚石薄膜可见光透过特性的研究和应用 被引量:3
19
作者 居建华 夏义本 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期276-279,共4页
改进类金刚石薄膜的制备工艺,在一定的氢气组分和衬底偏压条件下所得薄膜具有较宽的可见光透过特性。用于硅太阳电池时,可在较宽的波长范围(550nm—1000nm)内改善电池的光谱特性,使短路电流增益率达到38%。
关键词 类金刚石薄腹 硅太阳电池 增透膜
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1.3μmInGaAsP/InPLD,SLD和LED的介质镀膜 被引量:4
20
作者 罗江财 朱志文 +1 位作者 王剑格 唐祖荣 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期163-170,共8页
简要叙述了介质镀膜对半导体激光器性能的影响。在1.3μmInGaAsP/InP激光器(LD)、超辐射发光二极管(SLD)和发光二极管(LED)上进行了大量的Al2O3和ZrO2减反射膜的工艺研究。结果表明,该减反射膜... 简要叙述了介质镀膜对半导体激光器性能的影响。在1.3μmInGaAsP/InP激光器(LD)、超辐射发光二极管(SLD)和发光二极管(LED)上进行了大量的Al2O3和ZrO2减反射膜的工艺研究。结果表明,该减反射膜使激光器阈值电流增加,并将部分激光器变成了超辐射发光二极管。减反射膜还显著地改进超辐射发光二极管的性能,增加其输出功率。它也能导致发光二极管的输出功率的有效增加。 展开更多
关键词 半导体激光器 发光二极管 减反射膜 真空淀积
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