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CF_(4)-GMET和G-PT处理对AR+AF涂层耐磨性能的影响
1
作者 陈立 郑学军 +3 位作者 贺楚才 黄乐 彭井泉 左滨槐 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期104-117,共14页
目的在兼顾涂层抗反射性和疏水性的前提下,通过强化抗反射(AR)多层复合膜系与抗指纹(AF)涂层之间的黏附力,提升复合涂层的机械耐久性能。方法采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积AR多层复合膜系,首创性地采用CF_(4)气体微刻蚀(CF_(4)-Gas Mi... 目的在兼顾涂层抗反射性和疏水性的前提下,通过强化抗反射(AR)多层复合膜系与抗指纹(AF)涂层之间的黏附力,提升复合涂层的机械耐久性能。方法采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积AR多层复合膜系,首创性地采用CF_(4)气体微刻蚀(CF_(4)-Gas Micro-etching Treatment,CF_(4)-GMET)与石墨等离子体(Graphite Plasma Treatment,G-PT),依次对AR膜系表面进行处理后,将AF试剂蒸镀附于AR层表面并冷却,即可得到具有超强耐磨性的AF/CF_(4)-GMET&G-PT SiO_(2)/AR抗反射疏水涂层。结果CF_(4)-GMET对AR表层SiO_(2)处理后,其表面“柱状尖峰”消失,得到低粗糙度针状表面,并增大了SiO_(2)与AF涂层的接触比表面积。G-PT处理大幅提高了表层SiO_(2)亲水性,从而使得SiO_(2)表面黏附功增大。经2道工艺处理后,SiO_(2)表面粗糙度降低,黏附功先降后升为最大值,蒸镀AF疏水涂层后界面结合最为稳定,耐磨性能显著增强。在负载为1000 g的钢丝绒摩擦10000次后,抗反射疏水涂层的水接触角(WCA)从117.7°下降至113.6°,磨损率仅为3.4%,耐磨性能极佳。结论对AR膜系表层SiO_(2)进行CF_(4)-GMET和G-PT处理,能显著提高抗反射疏水涂层的耐磨性能,而对光学透过率基本无影响。 展开更多
关键词 疏水性 CF_(4)气体微刻蚀 石墨等离子体处理 抗反射疏水涂层 耐磨性
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