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基于非晶硅电池板的离子液体电沉积法构筑硅锗薄膜
1
作者
林宏宇
刘传东
《白城师范学院学报》
2015年第5期19-23,共5页
采用离子液体电沉积技术,以非晶硅电池板为基片,Si Cl4和Ge Cl4的离子液体Py1.4Tf2N混合溶液作为电解液,利用循环伏安扫描法确定Si、Ge在以非晶硅电池板为基板时共还原电位,完成Si、Ge的共沉积,制备出SiXGe1-x薄膜.并对其电化学沉积机...
采用离子液体电沉积技术,以非晶硅电池板为基片,Si Cl4和Ge Cl4的离子液体Py1.4Tf2N混合溶液作为电解液,利用循环伏安扫描法确定Si、Ge在以非晶硅电池板为基板时共还原电位,完成Si、Ge的共沉积,制备出SiXGe1-x薄膜.并对其电化学沉积机理进行分析.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描探针显微镜(SPM)、能量色散光谱仪(EDX)对基板及样品的结构、表面进行了测量和分析.
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关键词
非晶硅
电沉积
si
XGe1-x
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职称材料
题名
基于非晶硅电池板的离子液体电沉积法构筑硅锗薄膜
1
作者
林宏宇
刘传东
机构
白城师范学院物理学院
出处
《白城师范学院学报》
2015年第5期19-23,共5页
基金
白城师范学院青年基金课题(2014-28)
文摘
采用离子液体电沉积技术,以非晶硅电池板为基片,Si Cl4和Ge Cl4的离子液体Py1.4Tf2N混合溶液作为电解液,利用循环伏安扫描法确定Si、Ge在以非晶硅电池板为基板时共还原电位,完成Si、Ge的共沉积,制备出SiXGe1-x薄膜.并对其电化学沉积机理进行分析.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描探针显微镜(SPM)、能量色散光谱仪(EDX)对基板及样品的结构、表面进行了测量和分析.
关键词
非晶硅
电沉积
si
XGe1-x
Keywords
amorohous
silicon
(a-
si
)
electrodepo
si
tion
si
XGe1-x
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
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作者
出处
发文年
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1
基于非晶硅电池板的离子液体电沉积法构筑硅锗薄膜
林宏宇
刘传东
《白城师范学院学报》
2015
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