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防静电电阻测试仪校准规范及方法改进的探讨
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作者 刘小布 马姗姗 +3 位作者 袁亚飞 姜伟 何积浩 高志良 《标准科学》 2022年第8期62-66,共5页
防静电设施材料和性状多样化的发展,防静电电阻测试仪更多被使用在了不规则、不确定的设备设施上。本项目针对防静电电阻测试仪在对材料电阻进行测试时,需要考虑材料、环境等非电阻测量的影响,研究了基于直接测量法的防静电电阻测试仪... 防静电设施材料和性状多样化的发展,防静电电阻测试仪更多被使用在了不规则、不确定的设备设施上。本项目针对防静电电阻测试仪在对材料电阻进行测试时,需要考虑材料、环境等非电阻测量的影响,研究了基于直接测量法的防静电电阻测试仪校准技术,分析了测试电极、输出电压、被测材料对测试结果的影响,探讨利用双电极静电电阻测试方法,在不同接触压力下对不同防静电材料的静电泄漏电阻进行测量。 展开更多
关键词 防静电电阻 校准规范 接触压力 接入电极
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基于ITO电极下氧化铪基阻变存储器的性能研究 被引量:3
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作者 何品 叶葱 +3 位作者 邓腾飞 吴加吉 张骏驰 王浩 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期236-242,共7页
采用磁控溅射和光刻技术制备了1μm×1μm的Ti N/Hf O2/ITO(氧化铟锡)3层结构的器件,通过控制改变正负细丝形成(forming)电压的操作方式来研究其阻变性能。研究结果表明,在上述的两种操作模式下,当保持操作端不变时导电细丝的形成... 采用磁控溅射和光刻技术制备了1μm×1μm的Ti N/Hf O2/ITO(氧化铟锡)3层结构的器件,通过控制改变正负细丝形成(forming)电压的操作方式来研究其阻变性能。研究结果表明,在上述的两种操作模式下,当保持操作端不变时导电细丝的形成与断裂均发生在ITO端操作,且从电流-电压(I-V)循环曲线中均发现了器件具有自限流特性。同时,文中比较了氧化铟锡(ITO)和铂(Pt)两种电极下,存储器单元阻变性能的差别。结合电流-电压循环曲线的拟合机制,推断出自限流特性来源于氧化铟锡(ITO)电极与氧化铪基阻变层之间形成的界面层。进一步设计了基于氧化铟锡(ITO)电极下的氧化硅/氧化铪双层结构阻变层的器件,发现该器件仍具有自限流效应。而且,氧化硅层同样起到了降低操作电流的作用,故使得器件的功耗大幅度降低至16μW。 展开更多
关键词 阻变存储器 自限流特性 操作电流 ITO电极
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Resistive switching characteristics of Ni/HfO_2/Pt ReRAM 被引量:1
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作者 张晓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2012年第5期80-82,共3页
This study investigated the resistive switching characteristics of the Ni/HfCVPt structure for nonvolatile memory application.The Ni/HfO_2/Pt device showed bipolar resistive switching(RS) without a forming process, ... This study investigated the resistive switching characteristics of the Ni/HfCVPt structure for nonvolatile memory application.The Ni/HfO_2/Pt device showed bipolar resistive switching(RS) without a forming process, and the formation and rupture of conducting filaments are responsible for the resistive switching phenomenon.In addition,the device showed some excellent memory performances,including a large on/off ratio(〉 3×10~5),very good data retention(〉 10~3 s @ 200℃) and uniformity of switching parameters.Considering these results,the Ni/HfO_2/Pt device has the potential for nonvolatile memory applications. 展开更多
关键词 resistive random access memory programmable metallization cell conductive filament Ni electrode HfO_2
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柔性阻变存储器材料研究进展 被引量:2
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作者 唐大秀 刘金云 +7 位作者 王玉欣 尚杰 刘钢 刘宜伟 张辉 陈清明 刘翔 李润伟 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期81-92,共12页
本文简述了阻变存储器的基本结构、工作原理、发展历程和研究现状,归纳总结了柔性阻变存储器的材料体系,包括介质材料、电极材料和基底材料,以及柔性阻变存储器材料体系的总体趋势和最新研究进展;分析了柔性阻变存储器的性能特点,包括... 本文简述了阻变存储器的基本结构、工作原理、发展历程和研究现状,归纳总结了柔性阻变存储器的材料体系,包括介质材料、电极材料和基底材料,以及柔性阻变存储器材料体系的总体趋势和最新研究进展;分析了柔性阻变存储器的性能特点,包括存储性能和力学性能。阐述了发展柔性阻变存储器的重要意义与面临的挑战,提出了该领域现在研究中存在的不足和未来需要进一步研究的方向。得出力学性能稳定的高电导可拉伸电极和存储性能稳定的可拉伸介质是柔性阻变存储器材料今后发展的主要方向。 展开更多
关键词 柔性阻变存储器 介质材料 电极材料 基底材料 存储性能 力学性能
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纳米尺度相变存储器小型化研究进展 被引量:1
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作者 周亚玲 付英春 +2 位作者 王晓峰 王晓东 杨富华 《微纳电子技术》 北大核心 2015年第12期749-756,共8页
相变存储器(PCRAM)因其具有非挥发性、循环寿命长、结构简单、与现有CMOS工艺相匹配等优点,在存储技术领域受到了广泛重视。综述了相变存储器器件小型化的研究现状,介绍了相变存储器的基本原理和特性。概述了目前相变存储器器件小型化... 相变存储器(PCRAM)因其具有非挥发性、循环寿命长、结构简单、与现有CMOS工艺相匹配等优点,在存储技术领域受到了广泛重视。综述了相变存储器器件小型化的研究现状,介绍了相变存储器的基本原理和特性。概述了目前相变存储器器件小型化的方法,主要包括器件结构优化和材料优化。器件结构优化的主要目的是减小有效相变体积以降低单元尺寸。材料优化主要是针对电极材料,选用性能优异的新材料替代传统金属材料作电极材料以实现器件小型化。对不同方法制作的各种器件结构所涉及的工艺特点进行了分析,并且比较了不同的器件结构对操作电流的影响,为相变存储器器件小型化的进一步发展提供了参考。 展开更多
关键词 相变存储器(PCRAM) 小型化 器件结构 电极材料 操作电流
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钨和钽电极材料对Lu_2O_3薄膜基阻变存储器的影响机制研究
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作者 张艳 赵鸿滨 魏峰 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期495-500,共6页
采用脉冲激光沉积技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积了非晶Lu2O3薄膜,制作了W和Ta作为顶电极的W/Lu2O3/Pt和Ta/Lu2O3/Pt堆栈结构器件,并运用Keithely4200-SCS测试平台分析了其电阻转变特性。在对器件加载电压后,Ta/Lu2O3/Pt器件未表现出阻... 采用脉冲激光沉积技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积了非晶Lu2O3薄膜,制作了W和Ta作为顶电极的W/Lu2O3/Pt和Ta/Lu2O3/Pt堆栈结构器件,并运用Keithely4200-SCS测试平台分析了其电阻转变特性。在对器件加载电压后,Ta/Lu2O3/Pt器件未表现出阻变存储特性,然而W/Lu2O3/Pt表现出良好的双极性电阻转变特性,其高低阻态比大于103。经过大于1×104s的读电压,高低阻态的电阻值没有发生明显的变化,表现出良好的数据保持能力。通过对高低阻态的电流电压关系、电阻值与器件面积的关系和电阻值与温度的关系的研究,分析认为导电细丝的形成和破灭机制是导致W/Lu2O3/Pt器件发生电阻转变现象的主要原因。 展开更多
关键词 阻变存储器 氧化镥 电极材料 存储机制
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