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厚膜微调技术及发展趋势 被引量：9
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作者 李文娟 田兴志 《光机电信息》 2004年第6期29-34,共6页
介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类。与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展... 介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类。与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展前景。 展开更多
关键词 厚膜电阻 厚膜微调 喷砂微调 脉冲电压微调 激光微调 集成电路
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