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非蒸散型薄膜吸气剂的研究现状及应用进展 被引量：6
1
作者 单睿 齐通通 +2 位作者 黎秉哲 郭杰 袁俊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期5049-5055,共7页
非蒸散型吸气剂薄膜是超高或极超高真空系统获得和维持真空条件的重要材料,近年来吸气剂广泛应用于MEMS真空封装领域。综述了非蒸散型吸气剂的材料体系、研究现状和工程应用,介绍国内外吸气剂薄膜的研究现状、存在的主要问题及发展趋势... 非蒸散型吸气剂薄膜是超高或极超高真空系统获得和维持真空条件的重要材料,近年来吸气剂广泛应用于MEMS真空封装领域。综述了非蒸散型吸气剂的材料体系、研究现状和工程应用,介绍国内外吸气剂薄膜的研究现状、存在的主要问题及发展趋势。讨论了吸气剂在MEMS真空封装系统的工作原理,传统吸气剂在封装领域的挑战,薄膜吸气剂在封装系统遇到的问题和发展趋势。 展开更多
关键词 非蒸散型吸气剂薄膜 zr-co系 研究现状 应用进展 发展趋势
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Zr-Al-Co块状非晶的成分优化 被引量：4
2
作者 张新房 彭敏 +3 位作者 王清 李德俊 董闯 王英敏 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1099-1103,共5页
运用等电子浓度和变电子浓度线判据实现了Zr-Al-Co块状非晶合金的成分优化.在(Al50Co50)-Zr等电子浓度线(e/a=1.5)和(ZrgCo4)-Al及(Zr78.5Co21.5)-Al变电子浓度线上设计成分,并通过吸铸法制备块状合金.实验结果表明,在(Al50Co50)-Zr等... 运用等电子浓度和变电子浓度线判据实现了Zr-Al-Co块状非晶合金的成分优化.在(Al50Co50)-Zr等电子浓度线(e/a=1.5)和(ZrgCo4)-Al及(Zr78.5Co21.5)-Al变电子浓度线上设计成分,并通过吸铸法制备块状合金.实验结果表明,在(Al50Co50)-Zr等电子浓度线和(Zr9Co4)-Al变电子浓度线上可形成块状非晶合金,且非晶合金的热稳定性与非晶形成能力随电子浓度的增大而单调递增其中,(Al50Co50)-Zr等电子浓度线和(Zr9Co4)-Al变电子浓度线交点处形成的Zr53Al23.5Co23.5非晶合金,具有最大的热稳定性和非晶形成能力,特征热力学参数Tg=783 K,Tx=849 K,Tg/Tm=0.637,Tg/T1=0.590. 展开更多
关键词 块状非晶合金 过渡金属 zr—Al—co合金系 电子浓度
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