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ZnS-SiO_(2)陶瓷靶材中黄点缺陷的研究
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作者 黄振娟 晏传鹏 朱德贵 《陕西理工学院学报(自然科学版)》 2006年第1期14-16,26,共4页
黄点是ZnS-SiO2陶瓷靶材中常见的缺陷。从减少ZnS粉末原料中存在的微量杂质入手,对黄点缺陷产生的原因和消除措施进行了探索。结果表明,原料ZnS粉末中残存的单质S和SO42-是产生黄点的主要原因,采用高温烘烤的措施,可以大幅度降低S和SO42... 黄点是ZnS-SiO2陶瓷靶材中常见的缺陷。从减少ZnS粉末原料中存在的微量杂质入手,对黄点缺陷产生的原因和消除措施进行了探索。结果表明,原料ZnS粉末中残存的单质S和SO42-是产生黄点的主要原因,采用高温烘烤的措施,可以大幅度降低S和SO42-的含量,从而达到减少甚至消除黄点缺陷的目的。酸洗可以降低以Fe为主的金属杂质的含量,但不宜在生产中采用。 展开更多
关键词 znssio2陶瓷 靶材 黄点缺陷 烘烤
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