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硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析
被引量:
3
1
作者
潘要霖
毛成文
+1 位作者
舒德明
李爱国
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第9期11-18,共8页
空间分辨率和聚焦效率是X射线微纳探针最关键的技术指标。压弯非球面镜具备聚焦效率高、空间分辨好、加工难度低、色散消除等优点。基于上海光源硬X射线微聚焦及应用线站的现有条件,在精确压弯理论的基础上设计了高精度柔性铰链压弯机...
空间分辨率和聚焦效率是X射线微纳探针最关键的技术指标。压弯非球面镜具备聚焦效率高、空间分辨好、加工难度低、色散消除等优点。基于上海光源硬X射线微聚焦及应用线站的现有条件,在精确压弯理论的基础上设计了高精度柔性铰链压弯机构并进行了有限元分析,并且进一步对压弯镜体宽度进行了优化。通过长程面形仪(Long Trace Profiler,LTP)对压弯机构的测试,得到压弯非球面镜的斜率误差为430 nrad,理论上可实现230 nm的硬X射线聚焦光斑。
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关键词
x
射线微纳探针
压弯非球面镜
柔性铰链
有限元分析
原文传递
题名
硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析
被引量:
3
1
作者
潘要霖
毛成文
舒德明
李爱国
机构
中国科学院上海应用物理研究所嘉定园区
中国科学院大学
Advanced Photon Source
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第9期11-18,共8页
基金
国家自然科学基金(No.U1332120)资助~~
文摘
空间分辨率和聚焦效率是X射线微纳探针最关键的技术指标。压弯非球面镜具备聚焦效率高、空间分辨好、加工难度低、色散消除等优点。基于上海光源硬X射线微聚焦及应用线站的现有条件,在精确压弯理论的基础上设计了高精度柔性铰链压弯机构并进行了有限元分析,并且进一步对压弯镜体宽度进行了优化。通过长程面形仪(Long Trace Profiler,LTP)对压弯机构的测试,得到压弯非球面镜的斜率误差为430 nrad,理论上可实现230 nm的硬X射线聚焦光斑。
关键词
x
射线微纳探针
压弯非球面镜
柔性铰链
有限元分析
Keywords
x
-
ray
micro
-and
nano
-
probe
Aspheric
bent-mirror
Fle
x
ure
hinge
Finite
element
analysis
分类号
TL99 [核科学技术—核技术及应用]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析
潘要霖
毛成文
舒德明
李爱国
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
原文传递
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参考文献
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