期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到9篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
多层膜优化设计方法 被引量：7
1
作者 王洪昌 王占山 《应用光学》 CAS CSCD 2005年第5期50-53,共4页
传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系。根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层膜膜系结构。计... 传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系。根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层膜膜系结构。计算了不同波长软X射线周期性多层膜的最高理论反射率。单纯形调优算法在保证优化结果与随机搜索法优化结果近似相同的基础上,使优化计算速度提高了十倍以上。同时还用单纯形调优法优化设计了X射线超反射镜,得到了非常理想的非周期膜系。 展开更多
关键词 软x射线 x射线 多层膜 单纯形调优 反射率 优化设计方法 x射线超反射镜 膜系结构 公式计算 单纯形法
下载PDF
宽角度X射线超反射镜的设计 被引量：10
2
作者 张众 王占山 +2 位作者 秦树基 王凤丽 陈玲燕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期253-256,共4页
阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法 .该方法将Frensnel反射系数公式和单纯形调优法相结合 ,可以设计出满足不同要求的X射线超反射镜 .依据周期多层膜确定膜层数 ,给出了一种确定超反射镜膜层数的方法 .设计了在铜 (Cu)的Kα线下 ,... 阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法 .该方法将Frensnel反射系数公式和单纯形调优法相结合 ,可以设计出满足不同要求的X射线超反射镜 .依据周期多层膜确定膜层数 ,给出了一种确定超反射镜膜层数的方法 .设计了在铜 (Cu)的Kα线下 ,具有不同掠入射角宽度的多种钨(W ) /碳 (C)超反射镜 .设计中考虑了多层膜结构的界面粗糙度和相互扩散对多层膜反射性能的影响 ,并做了模拟计算 .实验结果表明 :用这种方法设计X射线超反射镜优于现有的其他方法 . 展开更多
关键词 x射线超反射镜 多层膜 单纯形调优
下载PDF
X射线超反射镜设计 被引量：8
3
作者 张众 王占山 +2 位作者 王风丽 秦树基 陈玲燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第1期49-54,共6页
阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法 ,它是基于经验理论公式的解析设计方法和基于计算机的数值优化设计方法相结合的产物。利用前者提供比较好的初始膜系 ,再利用后者对该初始膜系进行优化处理 ,从而获得比较好的设计结果 ,并大大... 阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法 ,它是基于经验理论公式的解析设计方法和基于计算机的数值优化设计方法相结合的产物。利用前者提供比较好的初始膜系 ,再利用后者对该初始膜系进行优化处理 ,从而获得比较好的设计结果 ,并大大减少了计算时间。讨论了实际制作出的多层膜存在的表面粗糙度及膜层材料间的相互扩散对多层膜反射性能的影响 ,并给出了模拟计算的结果。依据上述方法 ,在比较大的掠入射角情况下 ,设计出了具有较宽反射带宽的W /CX射线超反射镜。 展开更多
关键词 x射线超反射镜 梯度多层膜 单纯形调优
下载PDF
X射线超反射镜的设计与制备 被引量：5
4
作者 王风丽 张众 +4 位作者 吴文娟 王利 王占山 秦树基 陈玲燕 《光学仪器》 2004年第2期136-142,共7页
介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad时,对波长范围在0.0475nm～0.0886n... 介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad时,对波长范围在0.0475nm～0.0886nm范围内的X射线计算反射率达21%宽波段X射线超反射镜。样品采用高精度磁控溅射方法制备,并用X射线衍射仪(XRD)测得在8.7mrad～15.7mrad内反射率为15%左右。 展开更多
关键词 宽波段超反射镜 单纯形调优 粗糙度 磁控溅射 x射线成像望远镜 x射线超反射镜 设计 制备
下载PDF
基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究 被引量：6
5
作者 程鑫彬 王占山 +3 位作者 张众 王风丽 王洪昌 陈玲燕 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期787-791,共5页
应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通用的全局优化算法... 应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通用的全局优化算法。结合光学多层膜的设计原理提出了利用模拟退火算法来进行宽角度X射线超反射镜设计的新方法。结合已有的方法选择了W和C作为膜层的膜对材料，设计出Cu的Kα线处角度范围0．9°～1．1°反射率达到20%的宽角度X射线超反射镜。并在此基础上采用改进的自适应模拟退火算法实现了Cu的Kα线处宽角度X射线超反射镜的理想设计结果。设计结果表明了模拟退火算法在多层膜最优化设计领域的正确性和有效性。 展开更多
关键词 薄膜光学 x射线超反射镜 模拟退火算法
原文传递
X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制 被引量：5
6
作者 顾春时 王占山 +4 位作者 王风丽 张众 穆宝忠 秦树基 陈玲燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1095-1098,共4页
介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备。采... 介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备。采用高分辨率X射线衍射仪(8 keV)测量了X射线超反射镜的反射特性。制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处,反射角度带宽为0.3°,反射率达到20%,可满足KB型显微镜的要求。 展开更多
关键词 多层膜 x射线超反射镜 KB型显微镜 磁控溅射 反射
下载PDF
X射线超反射镜设计、制作与表征 被引量：1
7
作者 王占山 王风丽 +3 位作者 张众 程鑫彬 秦树基 陈玲燕 《中国科学（G辑）》 CSCD 2005年第5期499-512,共14页
探讨了X射线波段超反射镜的设计,采用了周期膜堆作初始条件加单纯形局域优化和模拟退火全局优化方法,设计了工作能量为Cu的Kα(8.0keV)线的不同掠入射角和不同角度带宽的宽角度X射线超反射镜和8～25keV范围内不同掠入射角和不同能量带... 探讨了X射线波段超反射镜的设计,采用了周期膜堆作初始条件加单纯形局域优化和模拟退火全局优化方法,设计了工作能量为Cu的Kα(8.0keV)线的不同掠入射角和不同角度带宽的宽角度X射线超反射镜和8～25keV范围内不同掠入射角和不同能量带宽的宽带X射线超反射镜.同时,还系统研究了非周期多层膜超反射镜的制备工艺,解决了多层膜制备过程中遇到的一些工艺性问题和精确定标的问题,进行了不同膜层材料对组合的超反射镜制备实验,成功制备了相应的多层膜样品.利用高分辨率X射线衍射仪测量了样品的反射率,所得结果与设计值基本相符. 展开更多
关键词 x射线 超反射镜 磁控溅射 多层膜 反射率 x射线超反射镜 设计值 全局优化方法 表征 制作
原文传递
最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响 被引量：3
8
作者 王风丽 张众 +4 位作者 朱京涛 王洪昌 吴文娟 王占山 陈玲燕 《光学仪器》 2006年第4期48-51,共4页
选用能制备小周期的钨/硅(W/S i)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响。基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85°~1.10°,1... 选用能制备小周期的钨/硅(W/S i)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响。基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85°~1.10°,1.40°~1.70°的X射线超反射镜。结合实际实验制备技术,考虑了W/S i两种膜层材料的最小成膜厚度,确定了膜堆中最小膜层厚度为0.5nm^1.0nm。通过改变最小膜层厚度的值,优化设计了上述条件下的非周期多层膜并对其光学性能进行比较。结果表明:同一个工作波长下,随着多层膜工作角度(掠入射)的增加,膜堆中膜层的厚度减小,最小膜层厚度对其光学性能的影响增加,其光学性能变差。 展开更多
关键词 非周期多层膜 光学性能 最小膜层厚度 掠入射角 x射线超反射镜
下载PDF
X射线超反射镜鲁棒性膜系设计
9
作者 陶保全 郭祥帅 +2 位作者 李博涵 匡尚奇 李超逸 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2021年第5期6-11,共6页
为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X射线超反射镜的反射带性能和膜厚随机误差引起的反射带偏差作为两个优化目标进行优化。考虑到X射线光学系... 为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X射线超反射镜的反射带性能和膜厚随机误差引起的反射带偏差作为两个优化目标进行优化。考虑到X射线光学系统掠入射反射的特殊性,在优化求解的计算过程中加入了入射光发散角对多层膜反射率的影响,进而分别设计了具有掠入射角度带宽和能量带宽的两种X射线多层膜反射镜鲁棒性膜系。结果表明,相比只优化光学性能的传统优化设计方法,鲁棒性设计方法能够得到反射性能良好且对膜厚随机误差不敏感的超反射镜膜系设计。 展开更多
关键词 多层膜设计 x射线超反射镜 鲁棒性设计 发散角
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部