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X射线反射式波带片衍射图形的深度误差效应
1
作者 乐孜纯 潘守甫 《微细加工技术》 1999年第3期65-68,共4页
研究 Ｘ 射线反射式波带片衍射图形制造过程中的深度误差效应。介绍了深度误差允差的计算方法及计算结果。给出实测结果，并讨论了在制造过程中减小深度误差的方法。
关键词 x射线 反射式波带片 深度误差效应 微制造技术
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