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多线切割晶体表面质量研究 被引量：6
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作者 徐旭光 周国安 《电子工业专用设备》 2008年第11期20-22,47,共4页
多线切割机切割过程中受到砂浆、温度、线速度以及进给速度等方面的影响,对晶体的表面质量有一定的影响。从多方面进行分析研究,并提出改进工艺方案。
关键词 多线切割 晶体 表面质量
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