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温度和应变对光纤折射率的影响 被引量：45
1
作者 苑立波 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第12期1713-1717,共5页
采用迈克尔逊（Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ）光纤白光干涉系统，通过测量随着温度或应变改变而变化的光程，给出了单模光纤有效折射率的温度和应变相关特性。对于ＳＭＦ－２８型单模光纤，测得折射率温度系数和应变温度系数在波长为１３００ｎ... 采用迈克尔逊（Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ）光纤白光干涉系统，通过测量随着温度或应变改变而变化的光程，给出了单模光纤有效折射率的温度和应变相关特性。对于ＳＭＦ－２８型单模光纤，测得折射率温度系数和应变温度系数在波长为１３００ｎｍ处分别为０．７６２×１０－５／℃及－０．１３３２×１０－６／με；在波长１５５０ｎｍ处则为０．８１１×１０－５／℃及－０．１６４９×１０－６／με。并与几种不同光纤相应的数据进行了比较。 展开更多
关键词 光纤 折射率 温度系数 应变系数 光纤干涉仪
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用光纤迈克耳孙干涉仪测量折射率 被引量：21
2
作者 李毛和 张美敦 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期1294-1296,共3页
对测量群折射率的白光干涉和光纤迈克耳孙 (Michelson)干涉仪技术进行了改进。采用样品夹片和样品与探测光纤端面接触的方法 ,可以使群折射率的测量过程简单化。根据反射峰宽度的变化 ,可以调整样品反射界面与光纤的准直性 ,提高测量精度。
关键词 白光干涉 折射率 光纤迈克耳孙干涉仪
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数字化白光扫描干涉仪的研究 被引量：18
3
作者 张以谟 井文才 +2 位作者 张红霞 李海峰 李朝辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第6期560-565,共6页
研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统。前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷传感器PZT作移项器,主要用于微形貌测量,精度可达nm量级。后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式,用格... 研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统。前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷传感器PZT作移项器,主要用于微形貌测量,精度可达nm量级。后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式,用格兰棱镜对偏振态进行调整控制,用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差,光纤寄生偏振耦合测试仪的空间分辨率达到50mm,测量范围达到1km,探测灵敏度不小于-80dB(耦合模式与主模式的功率比)。 展开更多
关键词 白光干涉仪 扫描模式 微形貌测量 偏振耦合点位置测量
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金刚石砂轮表面形貌测量系统 被引量：14
4
作者 崔长彩 余卿 +3 位作者 张遨 李瑞旭 黄辉 王爽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期3167-3174,共8页
为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和关键技术。根据垂直扫描白光干涉显微测量原理以及被测对象的特征,提出了适用于砂轮测量的方法,研究了系... 为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和关键技术。根据垂直扫描白光干涉显微测量原理以及被测对象的特征,提出了适用于砂轮测量的方法,研究了系统的自动扫描范围、垂直方向的扫描方法、单次测量三维表面的恢复算法和磨粒的识别算法。结合自行设计的夹具搭建了砂轮测量系统,并对多次测量拼接算法进行了实验分析。实验结果表明：基于区域重合大小（重合度为30%~50%）的拼接算法获得的拼接前后重合区域的相关系数均大于0.8,拼接后重合区域的高度差均小于0.4μm。得到的结果显示所搭建的系统可以恢复砂轮的形貌,其测量范围和精度满足砂轮磨粒评定和分析的要求。 展开更多
关键词 金刚石砂轮 表面形貌测量 白光干涉仪 曲面拼接
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光纤傅里叶变换光谱分析装置 被引量：12
5
作者 刘勇 李保生 +2 位作者 刘艳 翟玉峰 王安 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1951-1954,共4页
报道了一种新的光谱测量方法基于单模光纤Mach-Zehnder干涉仪（FMZI）结构的傅里叶变换光谱分析法。在传统傅里叶变换光谱仪（FTS）中，用光纤代替传统光路：用光纤耦合器取代传统分束器；用压电光程调制器取代传统移动镜；从而构建了... 报道了一种新的光谱测量方法基于单模光纤Mach-Zehnder干涉仪（FMZI）结构的傅里叶变换光谱分析法。在传统傅里叶变换光谱仪（FTS）中，用光纤代替传统光路：用光纤耦合器取代传统分束器；用压电光程调制器取代传统移动镜；从而构建了光纤傅里叶变换光谱仪（FFTS）。利用该FFTS测量了LD在阈值以下的发射光谱并与光栅光谱仪测量结果进行了比较，结果表明测量结果是相互吻合的。初步的实验中由于光程调制有限，光谱分辨率为～7cm^-1，改造光程调制器可进一步提高光谱分辨率，汪明了FFTS用于分析光谱的可行性。 展开更多
关键词 光纤干涉仪 傅里叶变换光谱仪 白光干涉仪 光谱
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光纤白光干涉传感技术的发展与应用 被引量：7
6
作者 苑立波 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2005年第2期172-187,共16页
应变、形变和温度一直是智能材料或智能结构中最感兴趣的重要参量,光纤白光干涉技术为这些参数的监测提供了有效的测量方法。基于Michelson,Mach-Zehnder和Fizeau干涉仪的基本结构。结合白光干涉光程匹配技术,可实现对多传感器的解调和... 应变、形变和温度一直是智能材料或智能结构中最感兴趣的重要参量,光纤白光干涉技术为这些参数的监测提供了有效的测量方法。基于Michelson,Mach-Zehnder和Fizeau干涉仪的基本结构。结合白光干涉光程匹配技术,可实现对多传感器的解调和问询,从而很方便的实现多路相干复用。回顾了近几年来这一技术的发展,并介绍了作者的一些工作,给出了若干多路复用系统的光学结构。 展开更多
关键词 光纤传感器 白光干涉仪 多路相干复用 应变
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混凝土内部应变光纤测量结果及分析 被引量：8
7
作者 杨军 刘志海 +2 位作者 梁艺军 居剑 苑立波 《实验力学》 CSCD 北大核心 2000年第4期421-428,共8页
本文采用迈克尔逊 (Michelson)光纤白光应变测量干涉系统 ,利用新型光纤传感探头 ,对混凝土内部的一维和二维应变状态进行了测量 ,给出了混凝土试件单轴和两轴的力学实验结果并与 Instron85 0 5液压伺服材料实验机得到的结果进行了比较... 本文采用迈克尔逊 (Michelson)光纤白光应变测量干涉系统 ,利用新型光纤传感探头 ,对混凝土内部的一维和二维应变状态进行了测量 ,给出了混凝土试件单轴和两轴的力学实验结果并与 Instron85 0 5液压伺服材料实验机得到的结果进行了比较和分析 . 展开更多
关键词 光纤 传感器 混凝土结构 应变 白光干涉仪
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基于白光干涉的新型微纳光纤传感器 被引量：11
8
作者 赵浙明 吴平辉 隋成华 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2001-2004,共4页
提出一种基于白光干涉原理的新型微纳光纤传感器,并利用该传感器测量不同浓度的葡萄糖溶液引起的折射率的微小变化,通过数值求解麦克斯韦方程获得微纳光纤信号光的相位变化与外界溶液的折射率变化关系。实验测量结果证明利用该传感器获... 提出一种基于白光干涉原理的新型微纳光纤传感器,并利用该传感器测量不同浓度的葡萄糖溶液引起的折射率的微小变化,通过数值求解麦克斯韦方程获得微纳光纤信号光的相位变化与外界溶液的折射率变化关系。实验测量结果证明利用该传感器获得的测量值与理论值基本一致。所设计的传感器具有灵敏度高、结构紧凑、易于和其他光电器件集成等优点。 展开更多
关键词 传感器 微纳光纤 白光干涉 折射率 灵敏度
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全光纤白光干涉型光纤传感器 被引量：5
9
作者 李川 张以谟 +2 位作者 刘铁根 李欣 陈希明 《传感技术学报》 CAS CSCD 2001年第2期91-95,共5页
根据传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器 ,其突出优点是灵敏度高 .但却只能进行相对测量 ,即只能用作变化量的测量 ,而不能用于状态量的测量 .因此 ,本文介绍了能实现绝对测量的全光纤白光干涉型光纤传感器及其检测技术 ,该... 根据传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器 ,其突出优点是灵敏度高 .但却只能进行相对测量 ,即只能用作变化量的测量 ,而不能用于状态量的测量 .因此 ,本文介绍了能实现绝对测量的全光纤白光干涉型光纤传感器及其检测技术 ,该技术基于白光干涉的绝对测量原理 . 展开更多
关键词 白光干涉仪 白光零级干涉条纹 光纤传感器
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原子力显微镜和白光干涉仪在表面材料测试中的应用研究 被引量：8
10
作者 郭志峰 郭昭华 +2 位作者 王永旺 陈东 张云峰 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期254-259,共6页
目的验证原子力显微镜和白光干涉仪分别在表面材料测试中的分辨率及其在不同类型表面材料测试中的适用性。方法分别采用原子力显微镜和白光干涉仪,对不同厚度级别的ZnO薄膜、石墨烯、磨斑等几种不同类型的表面材料进行了具体的测试研究... 目的验证原子力显微镜和白光干涉仪分别在表面材料测试中的分辨率及其在不同类型表面材料测试中的适用性。方法分别采用原子力显微镜和白光干涉仪,对不同厚度级别的ZnO薄膜、石墨烯、磨斑等几种不同类型的表面材料进行了具体的测试研究。结果白光干涉仪10×镜头和50×镜头及原子力显微镜皆可以准确地测试百纳米级别的ZnO薄膜厚度,测得的膜厚分别为148.668、123.354、111.648 nm。原子力显微镜也可以准确地测出十纳米级别的ZnO薄膜厚度,测得的膜厚仅为6.152 nm,而白光干涉仪则不能测试出十纳米级别的ZnO薄膜厚度。原子力显微镜可以准确地测试出石墨烯片的大小、厚度和层数等三维数据,测得的厚度为0.665 nm左右,层数为单层或双层,而白光干涉仪则没有如此高的分辨率。白光干涉仪可以准确地测试出磨斑的宽度、深度等三维数据,测得的磨斑深度为4.245μm,而原子力显微镜则不适合测试表面如此粗糙的样品。结论原子力显微镜适合于测试相对光滑的表面材料的三维形貌和数据,如测试十纳米级别以上的薄膜厚度、超薄石墨烯片厚度和层数。白光干涉仪则适合于测试相对粗糙的表面材料的三维形貌和数据,如测试百纳米级别以上的薄膜厚度、微米级别磨痕深度等。 展开更多
关键词 白光干涉仪 原子力显微镜 表面材料 测试
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白光干涉解调光纤MEMS压力传感器 被引量：8
11
作者 江小峰 林春 +3 位作者 谢海鹤 颜黄苹 张建城 黄元庆 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期187-191,共5页
为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合... 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体,使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术,利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调,并做了压力实验.实验结果表明：传感器在120～300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度,分别为9.012 7nm/kPa和99.9%;传感器分辨率为0.1nm,重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 F-P干涉 白光干涉 斐索干涉仪 MEMS 激光焊接
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白光干涉仪在金属材料表面测试中的应用研究 被引量：7
12
作者 冯辉 韦博鑫 +1 位作者 刘鲁生 张重远 《光学与光电技术》 2020年第6期80-85,共6页
为了从微观角度分析材料服役损伤机理,快速准确地测量材料表面微观形貌,对白光干涉技术进行了理论分析,并采用白光干涉技术对磨斑、蚀坑两种不同类型的材料损伤形貌进行了具体的测试研究。测试结果表明,白光干涉仪可以准确地测量出磨斑... 为了从微观角度分析材料服役损伤机理,快速准确地测量材料表面微观形貌,对白光干涉技术进行了理论分析,并采用白光干涉技术对磨斑、蚀坑两种不同类型的材料损伤形貌进行了具体的测试研究。测试结果表明,白光干涉仪可以准确地测量出磨斑、蚀坑的二维和三维形貌及深度分布数据。测得磨斑深度为45.68μm,腐蚀后的材料表面最大点蚀坑的深度为5.14μm。白光干涉仪适合于测试材料服役损伤后表面的三维形貌和数据。利用此技术可以对材料微观表面形貌进行快速精确的测量,对深入理解材料服役行为及寿命预测具有参考意义。 展开更多
关键词 材料科学 白光干涉仪 表面测试 磨斑 蚀坑
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无润滑条件下工艺参数对Al6063金刚石线切表面粗糙度影响
13
作者 高永华 吕涵 +3 位作者 杜倡 武胜 李士鹏 秦旭达 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第8期138-142,共5页
金刚石线锯因具有超高的硬度和耐磨性,常用于切削各种硬质材料,因加工过程摩擦较为剧烈,通常加冷却润滑介质,但一些特殊需求下,铝合金需要线切时无法施加冷却液。基于单因素试验法,在无润滑条件下进行了Al6063材料的线锯试验,分析了加... 金刚石线锯因具有超高的硬度和耐磨性,常用于切削各种硬质材料,因加工过程摩擦较为剧烈,通常加冷却润滑介质,但一些特殊需求下,铝合金需要线切时无法施加冷却液。基于单因素试验法,在无润滑条件下进行了Al6063材料的线锯试验,分析了加工表面不同区域粗糙度的分布规律以及配重、线速度与进给速度对加工表面粗糙度的影响规律。结果表明,加工面中间位置表面粗糙度最大;在试验范围内配重越大,对应的表面粗糙度值越小;金刚石线锯线速度越大,其表面粗糙度值越小;进给速度越小,所对应的表面粗糙度值越小。试验结果对提高加工表面质量有实际参考价值。 展开更多
关键词 金刚石线锯 工艺参数 表面粗糙度 白光干涉仪
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接触式与非接触式测量粗糙度方法探讨 被引量：2
14
作者 廖奕鸥 冯辉 张重远 《物理测试》 CAS 2023年第2期32-37,共6页
就接触式与非接触式的材料表面粗糙度测量方法进行讨论,利用触针式表面形貌仪和白光干涉仪对6种不同粗糙度的标准样块进行了表面粗糙度测量。分析了两种测量方法的原理及其优缺点,其中接触式测量方法具有测量数据稳定、操作简单、测量... 就接触式与非接触式的材料表面粗糙度测量方法进行讨论,利用触针式表面形貌仪和白光干涉仪对6种不同粗糙度的标准样块进行了表面粗糙度测量。分析了两种测量方法的原理及其优缺点,其中接触式测量方法具有测量数据稳定、操作简单、测量范围大的特点,但有局限性。而非接触测量方法可以弥补接触式测量方法的不足,具有无损伤、精度高、速度快的特点。对比发现,对于6种标准样块而言,触针式表面形貌仪与白光干涉仪测量结果相近,白光干涉仪测量结果略高于触针式表面形貌仪,但均符合测量要求(示值误差不大于5%)。 展开更多
关键词 接触式与非接触式 触针式表面形貌仪 白光干涉仪 粗糙度
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白光扫描干涉仪用于保偏光纤偏振耦合检测 被引量：6
15
作者 张红霞 张以谟 +1 位作者 贾大功 唐峰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期305-308,共4页
采用白光扫描干涉法,利用Michelson干涉仪中移动臂的移动补偿保偏光纤中产生的光程差,从而实现对保偏光纤绕组中偏振耦合点的耦合强度及空间位置分布的有效检测。分析了白光干涉仪的原理、结构以及干涉条纹特点,进行了保偏光纤环的扫描... 采用白光扫描干涉法,利用Michelson干涉仪中移动臂的移动补偿保偏光纤中产生的光程差,从而实现对保偏光纤绕组中偏振耦合点的耦合强度及空间位置分布的有效检测。分析了白光干涉仪的原理、结构以及干涉条纹特点,进行了保偏光纤环的扫描测量。结果表明,第一个保偏光纤环的质量优于其他各环,证明了仪器设计理论和实验结果相符。 展开更多
关键词 保偏光纤 偏振耦合 白光干涉仪 保偏光纤环扫描
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用光纤白光干涉技术测量晶体的弹光系数 被引量：3
16
作者 邢进华 钱斌 冯金福 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期890-893,共4页
运用折射率椭球分析晶体的弹光效应,给出了三方晶系沿光轴方向的应力与折射率的变化关系.针对晶体的各向异性和折射率随应力变化很小的因素,利用白光干涉技术空间分辨率高的特点,将白光干涉技术拓展到研究各向异性材料的光学性质.并对... 运用折射率椭球分析晶体的弹光效应,给出了三方晶系沿光轴方向的应力与折射率的变化关系.针对晶体的各向异性和折射率随应力变化很小的因素,利用白光干涉技术空间分辨率高的特点,将白光干涉技术拓展到研究各向异性材料的光学性质.并对测量群折射率的光纤迈克尔逊白光干涉技术进行了改进.采用光栅位移传感器和全保偏光纤提高反射扫描镜的位移准确度.通过测量石英晶体在不同外力下折射率的变化情况,确定了晶体的弹光系数.石英晶体的弹光系数P33和P13分别为0.110和0.279,其准确度达到0.001. 展开更多
关键词 晶体 折射率 弹光效应 白光干涉 光栅尺
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透明软质薄膜的表面形貌测量 被引量：6
17
作者 刘淑杰 张元良 张洪潮 《中国光学》 EI CAS 2014年第2期326-331,共6页
为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量,对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性,根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量,同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点,... 为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量,对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性,根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量,同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点,并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置,光学测量部分采用白光干涉计,探针部分采用拥有8只球型探头的多点悬臂测量探针。然后应用此装置对标准刻槽试件和半透明光造型薄膜试件进行了测量。测量52 nm的标准刻槽试件时得到了测量误差小于2%,标准偏差小于1 nm的结果,表明本装置可以达到高精度测量表面形貌的目的。通过测量高约400 nm的树脂材料证实了此装置可以克服多重反射的影响测量透明薄膜的表面形貌。 展开更多
关键词 表面形貌测量 光刻胶 白光干涉 多点球形探针
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基于白光干涉的三维表面形貌拼接方法研究
18
作者 任瑛 黄育争 +2 位作者 魏长胜 申展 刘颖刚 《光电技术应用》 2024年第2期44-50,共7页
白光干涉测量技术由于具有非接触、无损伤、量程大、精度高和灵敏度高等特点,被应用于微纳米结构三维表面形貌测量中,但存在受限于显微物镜视场限制测量范围问题。提出了一种可以有效提高测量范围的三维表面形貌拼接方法。通过对多次采... 白光干涉测量技术由于具有非接触、无损伤、量程大、精度高和灵敏度高等特点,被应用于微纳米结构三维表面形貌测量中,但存在受限于显微物镜视场限制测量范围问题。提出了一种可以有效提高测量范围的三维表面形貌拼接方法。通过对多次采集的小范围高分辨率白光干涉图样进行域划分,采用三维形貌数据拼接配准方法,利用模板匹配算法对图像的二值化矩阵进行匹配计算,实现了待测元件的表面形貌的有效表征。研究发现,当采用不同的图像拼接方式即上下拼接、左右拼接和2&2拼接方式时,图像拼接效果有一定差异,其准确度和产生的误差不同。三种拼接方式中,2&2拼接方式能够有效减小操作误差,实现大范围和高分辨干涉图样拼接,在白光干涉三维形貌表征中具有广阔应用前景。 展开更多
关键词 白光干涉仪 表面形貌 拼接方式 图像划分
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新工科背景下应用导向的迈克尔逊干涉模拟 被引量：4
19
作者 邢岩 和晓晓 +1 位作者 何学敏 李兴鳌 《大学物理实验》 2022年第6期156-160,共5页
在新工科背景下,培养符合国家和社会需求的卓越工程科技人才具有重要意义。本文以干涉仪工程应用为研究背景,探索大学物理实验课程迈克尔逊干涉实验的教学方法,选取白光作为光源,结合干涉的光学原理和干涉条纹可见度理论,分析了白光迈... 在新工科背景下,培养符合国家和社会需求的卓越工程科技人才具有重要意义。本文以干涉仪工程应用为研究背景,探索大学物理实验课程迈克尔逊干涉实验的教学方法,选取白光作为光源,结合干涉的光学原理和干涉条纹可见度理论,分析了白光迈克尔逊干涉的实验原理,利用Matlab仿真模拟实现了白光迈克尔逊干涉图像可视化。基于此,利用白光干涉的超精度分辨,模拟干涉仪对精细表面形貌信息的提取过程,进而解析白光干涉仪的工作原理,为学生搭建课堂学习与工程应用的桥梁。该模拟仿真实验可辅助迈克尔逊干涉实验的可视化教学,推动以应用和需求为导向的大学物理实验课程改革。 展开更多
关键词 迈克尔逊干涉 白光干涉仪 模拟仿真 新工科
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具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析
20
作者 张成悌 薛靓 +7 位作者 付天坤 徐德宇 刘静 冉莉萍 王冠熹 龚柯安 李华 张宝武 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期231-240,共10页
文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的... 文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度的分析,则由本文完成。该文首先对F-P标准具的检定及其测量不确定度就行了分析。量块尺寸在白光干涉仪上与标准具作比较测量。为减少标准具的数量,量块尺寸可以与两块或三块标准具组成的尺寸进行比较,也可以是由一块尺寸较小的标准具经过光学倍增法实现与被检量块尺寸相同进行比较。例如80mm的量块用40mm的标准具进行比较,这时在量块上的光路在标准具中多一次反射达到;90mm量块则用30mm标准具进行比较。他们也可以由两块标准具组成的尺寸进行比较。分析时以倍增法测量误差最大,以其进行计算。充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪完全满足检定1等量块的要求。通过文献[1]及本文的介绍,映证该技术可以实现普及1等量块的检定及量块的自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的自动化检定。 展开更多
关键词 F-P标准具 白光干涉仪 零次干涉带 等倾干涉环
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