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引线键合技术进展 被引量:54
1
作者 晁宇晴 杨兆建 乔海灵 《电子工艺技术》 2007年第4期205-210,共6页
引线键合以工艺简单、成本低廉、适合多种封装形式而在连接方式中占主导地位。对引线键合工艺、材料、设备和超声引线键合机理的研究进展进行了论述与分析,列出了主要的键合工艺参数和优化方法,球键合和楔键合是引线键合的两种基本形式... 引线键合以工艺简单、成本低廉、适合多种封装形式而在连接方式中占主导地位。对引线键合工艺、材料、设备和超声引线键合机理的研究进展进行了论述与分析,列出了主要的键合工艺参数和优化方法,球键合和楔键合是引线键合的两种基本形式,热压超声波键合工艺因其加热温度低、键合强度高、有利于器件可靠性等优势而取代热压键合和超声波键合成为键合法的主流,提出了该技术的发展趋势,劈刀设计、键合材料和键合设备的有效集成是获得引线键合完整解决方案的关键。 展开更多
关键词 引线键合 球键合 楔键合 超声键合 集成电路
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集成电路封装中的引线键合技术 被引量:34
2
作者 黄玉财 程秀兰 蔡俊荣 《电子与封装》 2006年第7期16-20,共5页
在回顾现有的引线键合技术之后,文章主要探讨了集成电路封装中引线键合技术的发展趋势。球形焊接工艺比楔形焊接工艺具有更多的优势,因而获得了广泛使用。传统的前向拱丝越来越难以满足目前封装的高密度要求,反向拱丝能满足非常低的弧... 在回顾现有的引线键合技术之后,文章主要探讨了集成电路封装中引线键合技术的发展趋势。球形焊接工艺比楔形焊接工艺具有更多的优势,因而获得了广泛使用。传统的前向拱丝越来越难以满足目前封装的高密度要求,反向拱丝能满足非常低的弧高的要求。前向拱丝和反向拱丝工艺相结合,能适应复杂的多排引线键合和多芯片封装结构的要求。不断发展的引线键合技术使得引线键合工艺能继续满足封装日益发展的要求,为封装继续提供低成本解决方案。 展开更多
关键词 引线键合 球形焊接 楔形焊接 反向键合
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引线键合工艺介绍及质量检验 被引量:24
3
作者 吕磊 《电子工业专用设备》 2008年第3期53-60,共8页
介绍了引线键合工艺流程、键合材料及键合工具,讨论分析了影响引线键合可靠性的主要工艺参数,说明了引线键合质量的评价方法,并提出了增强引线键合可靠性的措施。
关键词 引线键合 球形键合 楔形键合 毛细管劈刀 楔形劈刀 键合拉力测试 键合剪切力测试
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超声功率对引线键合强度的影响 被引量:17
4
作者 王福亮 韩雷 钟掘 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期107-111,共5页
采集键合试验的PZT驱动功率及对应键合点的剪切测试力数据,作为超声功率和引线键合强度的表征。试验中的键合力、温度和时间分别设置为4.7 N、室温和100 ms。在这种典型的工业工艺键合参数下,通过改变超声功率比(设定超声功率与最大可... 采集键合试验的PZT驱动功率及对应键合点的剪切测试力数据,作为超声功率和引线键合强度的表征。试验中的键合力、温度和时间分别设置为4.7 N、室温和100 ms。在这种典型的工业工艺键合参数下,通过改变超声功率比(设定超声功率与最大可调功率之比)来改变超声功率,研究了超声功率对引线键合强度的影响规律。试验中超声功率比在15%~100%之间做了20种设置,共进行了20组1000次键合试验。结果表明:超声功率小于3.5 W时,键合强度受超声功率的影响规律明显,即当超声功率小于1.0 W时,增加超声功率将增加键合强度,并减少剪切测试力为0的情况;大于1.6 W后则反之;而在1.0~1.6 W之间则可获得稳定可靠的键合强度,也就是在上述试验条件下的键合窗口;超声功率超过3.5 W后,规律不明显。此外,超声功率除受超声功率比这(?)可控因素影响外,还受基板质量不均匀、劈刀与铝丝间约束不确定等随机因素影响,超声引线键合是一个敏感的过程。 展开更多
关键词 引线键合强度 超声功率 楔键合 微电子封装
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半导体封装超声波压焊的工艺参数优化 被引量:7
5
作者 朱正宇 胡巧声 《电子工业专用设备》 2006年第3期55-60,共6页
简要介绍了半导体封装过程中的关键工艺--超声波压焊工艺的原理,应用范围和主要关键技术;并针对具体焊接过程的关键参数分析其效果,在理解原理的基础上提出了一套参数优化的方法。
关键词 超声波压焊 金丝球压焊 锲焊 实验设计(DOE)
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金丝引线键合失效的主要因素分析 被引量:8
6
作者 常亮 孙彬 +2 位作者 徐品烈 赵玉民 张彩山 《电子工业专用设备》 2021年第2期23-28,共6页
通过对金丝引线键合工艺失效模式的研究,分析影响金丝引线键合失效的各种因素,并提出相应的解决措施。为金丝引线键合的实际操作和理论学习提供技术指导,从而更好的降低键合器件的失效率、提高键合产品的成品率和键合效率。
关键词 引线键合 键合失效 球键合 楔形键合
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Cu丝超声球焊及楔焊焊点可靠性及失效机理研究 被引量:7
7
作者 田艳红 杭春进 王春青 《电子工艺技术》 2006年第2期63-69,共7页
Cu丝由于具有优良的导热性能、机械性能以及低成本等优点使得用铜丝替代传统的Au丝和A l丝已经成为半导体工艺发展的必然方向。综述了Cu丝超声球焊以及楔焊焊点可靠性问题,对焊点的各种失效模式与机理进行探讨。
关键词 铜丝球焊 楔焊 超声焊
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引线键合尾丝控制分析及解决方法 被引量:3
8
作者 马生生 侯一雪 +1 位作者 郝艳鹏 邹森 《电子工艺技术》 2023年第2期37-40,共4页
引线键合技术是微电子元器件封装工艺流程中的关键工序,是后道封装工艺中电气互连的主要工艺手段。针对高密度精密键合工艺要求,通过全自动引线键合机的送丝机构、键合劈刀结构、焊接参数和断丝工艺参数等四个方面进行尾丝的形成分析,... 引线键合技术是微电子元器件封装工艺流程中的关键工序,是后道封装工艺中电气互连的主要工艺手段。针对高密度精密键合工艺要求,通过全自动引线键合机的送丝机构、键合劈刀结构、焊接参数和断丝工艺参数等四个方面进行尾丝的形成分析,并在全自动引线键合机上进行楔形键合,最终得到形貌良好的键合焊点。 展开更多
关键词 引线键合 楔形键合 尾丝控制 全自动引线键合机
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DBC铜线键合工艺参数研究 被引量:2
9
作者 王小钰 张茹 李海新 《电子与封装》 2023年第6期27-33,共7页
铜线作为最有发展潜力的新一代键合材料,与铝线相比,具有优异的导电及导热能力。因绝缘栅双极型晶体管(IGBT)需承载大电流,采用铜线可在键合线数量不变的基础上提高电流传输能力和散热能力。采用铜线超声楔形键合对覆铜陶瓷基板(DBC)第... 铜线作为最有发展潜力的新一代键合材料,与铝线相比,具有优异的导电及导热能力。因绝缘栅双极型晶体管(IGBT)需承载大电流,采用铜线可在键合线数量不变的基础上提高电流传输能力和散热能力。采用铜线超声楔形键合对覆铜陶瓷基板(DBC)第一键合点和第二键合点的键合工艺参数进行研究,以剪切力作为衡量键合质量的标准,采用单因素分析法研究各参数对键合点强度的影响,采用正交试验确定最佳工艺参数,为铜线键合工艺的参数设定提供参考及指导方法。 展开更多
关键词 铜线 超声键合 楔形键合 正交试验
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基于响应曲面法的硅铝丝楔形键合参数优化 被引量:6
10
作者 张军 张瑶 +1 位作者 张培 杨娇 《电子工艺技术》 2020年第2期83-86,109,共5页
硅铝丝楔形键合是目前混合集成电路中芯片电气互联的关键技术,键合强度和可靠性取决于工艺参数的选择。研究了关键工艺参数,如劈刀高度、超声功率、超声时间和键合压力对键合强度的影响。以提高键合强度作为目标,采用响应曲面法,建立了... 硅铝丝楔形键合是目前混合集成电路中芯片电气互联的关键技术,键合强度和可靠性取决于工艺参数的选择。研究了关键工艺参数,如劈刀高度、超声功率、超声时间和键合压力对键合强度的影响。以提高键合强度作为目标,采用响应曲面法,建立了键合强度与工艺参数之间的响应曲面模型,确定最优的工艺参数组合,通过试验验证了该方法的有效性,达到提高键合工艺可靠性的目的。 展开更多
关键词 楔形键合 响应曲面法 参数优化 键合强度
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线弧参数对铝丝楔焊键合强度的影响研究 被引量:5
11
作者 廖小平 杨兵 《电子与封装》 2013年第9期14-17,共4页
文章主要研究了铝丝楔焊键合过程中线弧参数对键合拉力的影响规律,分析了线弧高度、线弧起始角度、拉弧过程中反向距离与键合拉力之间的关系,实验研究表明线弧高度越大,键合拉力越大;不同线弧起始角度和反向距离对稳定性烘焙试验前键合... 文章主要研究了铝丝楔焊键合过程中线弧参数对键合拉力的影响规律,分析了线弧高度、线弧起始角度、拉弧过程中反向距离与键合拉力之间的关系,实验研究表明线弧高度越大,键合拉力越大;不同线弧起始角度和反向距离对稳定性烘焙试验前键合拉力影响不大,而经过300℃、1 h烘焙后,起始角度太大和反向距离越长,其键合拉力离散性大,并出现小于3 gf的拉力情况,这些实验现象和分析结果为实际生产中键合工艺的优化提供了参考。 展开更多
关键词 楔焊键合 线弧高度 起始角度 反向距离 键合拉力
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金丝楔形键合强度的影响规律分析
12
作者 高依然 刘森 +4 位作者 魏威 王冠 方志浩 韩健睿 刘亚泽 《红外》 CAS 2023年第11期13-22,共10页
金丝楔形键合是一种通过超声振动和键合力协同作用来实现芯片与电路引出互连的技术。现今,此引线键合技术是微电子封装领域最重要、应用最广泛的技术之一。引线键合互连的质量是影响红外探测器组件可靠性和可信性的重要因素。基于红外... 金丝楔形键合是一种通过超声振动和键合力协同作用来实现芯片与电路引出互连的技术。现今,此引线键合技术是微电子封装领域最重要、应用最广泛的技术之一。引线键合互连的质量是影响红外探测器组件可靠性和可信性的重要因素。基于红外探测器组件,对金丝楔形键合强度的多维影响因素进行探究。从键合焊盘质量和金丝楔焊焊点形貌对键合强度的影响入手,开展了超声功率、键合压力及键合时间对金丝楔形键合强度的影响研究。根据金丝楔焊原理及工艺过程,选取红外探测器组件进行强度影响规律试验及分析,指导实际金丝楔焊工艺,并对最佳工艺参数下的金丝键合拉力均匀性进行探究,验证了金丝楔形键合强度工艺一致性。 展开更多
关键词 引线键合 楔形键合 超声键合 影响规律分析
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Effect of ultrasonic power on wedge bonding strength and interface microstructure 被引量:2
13
作者 王福亮 李军辉 +1 位作者 韩雷 钟掘 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2007年第3期606-611,共6页
During the aluminum wire wedge bonding, the ultrasonic power and bonding strength were obtained. Based on those data, the relationship between ultrasonic power and bonding strength was studied. The results show that: ... During the aluminum wire wedge bonding, the ultrasonic power and bonding strength were obtained. Based on those data, the relationship between ultrasonic power and bonding strength was studied. The results show that: 1) ultrasonic power is affected by ultrasonic power ratio and other uncontrolled factors such as asymmetric substrate quality, unstable restriction on the interface between wedge tool and aluminum wire; 2) when ultrasonic power is less than 1.0 W, increasing ultrasonic power leads to increasing bonding strength and decreasing failure bonding; on the contrary, when ultrasonic power is greater than 1.6 W, increasing power leads to decreasing bonding strength and increasing failure bonding; 3) only when ultrasonic power is between 1.0 W and 1.6 W, can stable and high yield bonding be reached. Finally, the microstructure of bonding interface was observed, and a ring-shaped bond pattern is founded in the center and friction scrape besides the ring area. 展开更多
关键词 焊接强度 超声波技术 显微结构 焊接技术
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功率器件封装工艺中的铝条带键合技术 被引量:3
14
作者 郑志强 程秀兰 Frank Ta 《电子与封装》 2008年第11期5-8,11,共5页
文章回顾了功率器件封装工艺中几种常见的互连方式,主要介绍了铝条带键合技术在功率器件封装工艺中的主要优点,特别是它应用在小封装尺寸的功率器件中。铝条带的几何形状在一定程度上降低了它在水平方向的灵活性,但却增加了它在垂直方... 文章回顾了功率器件封装工艺中几种常见的互连方式,主要介绍了铝条带键合技术在功率器件封装工艺中的主要优点,特别是它应用在小封装尺寸的功率器件中。铝条带的几何形状在一定程度上降低了它在水平方向的灵活性,但却增加了它在垂直方向上的灵活性。铝条带垂直方向的灵活性可以让我们使用最少的铝条带条数来达到功率器件键合的要求。也由于几何形状的不同,铝条带键合具有一些不同于铝线键合的特点,但它对粘片工艺、引线框架和包封工艺的要求与粗铝线键合极其相似,可以与现有的粗铝线键合工艺相兼容,不需要工艺和封装形式的重新设计。 展开更多
关键词 键合技术 楔形焊 铝条带键合 功率器件
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楔焊键合工艺焊点完整性控制研究
15
作者 张永聪 张良晨 +3 位作者 康永新 孙德全 郝艳鹏 靳宇婷 《电子工业专用设备》 2023年第2期40-43,共4页
以引线键合机为对象,研究了引线键合工艺过程中设备机构、工艺流程及参数对焊点完整性的影响。经实验验证,在断丝前,减小劈刀对焊点的压力,同时加以小超声辅助断丝,即可保证焊点的完整性。
关键词 楔形键合 音圈电机 断丝辅助
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球-楔焊一体机的设计与实现
16
作者 孟庆嵩 郝立猛 +1 位作者 徐品烈 刘丹 《电子工业专用设备》 2013年第12期10-12,48,共4页
传统引线键合装备,分为球焊设备和楔焊设备,两者使用不同的换能器,不同种类劈刀,不同的焊接形式。通过对两种设备原理以及市场需求分析,设计一种球-楔焊一体机,满足球焊和楔焊两种焊接形式,有利于引线键合技术发展。
关键词 超声波换能器 球焊 楔焊 引线键合 球-楔一体机
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国产化楔形焊接劈刀的考核验证方法 被引量:2
17
作者 李悦 贾斌 李文 《电子工艺技术》 2022年第1期11-13,25,共4页
楔形焊接具有焊接密度高、焊点尺寸小的特点,适用于金丝深腔焊接,其高频段寄生效应相对较小,广泛应用于微组装领域。目前,锲形劈刀全部依赖进口,随时面临断供的风险,国产化研发需求迫切。结合国内劈刀研发现状,同步开展国产化楔形劈刀... 楔形焊接具有焊接密度高、焊点尺寸小的特点,适用于金丝深腔焊接,其高频段寄生效应相对较小,广泛应用于微组装领域。目前,锲形劈刀全部依赖进口,随时面临断供的风险,国产化研发需求迫切。结合国内劈刀研发现状,同步开展国产化楔形劈刀的考核验证工作,研究其考核验证方法,使国产楔形劈刀快速应用在微组装工艺领域中。 展开更多
关键词 国产化 楔焊 劈刀 考核验证
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高密度金丝键合中的劈刀系列化实验 被引量:2
18
作者 李颖凡 王安瑞 +1 位作者 张齐燕 蔡运红 《电子工艺技术》 2020年第5期283-287,共5页
针对高密度细间距金丝键合中劈刀选型困难的问题,筛选出11种劈刀作为试验对象,研究它们在不同材质上的匹配性与键合能力,以及在高密度细间距、深腔/近壁特殊应用状态下的工艺特性。通过焊点形态、拉力测试及显微镜拍照对比方式,得出劈... 针对高密度细间距金丝键合中劈刀选型困难的问题,筛选出11种劈刀作为试验对象,研究它们在不同材质上的匹配性与键合能力,以及在高密度细间距、深腔/近壁特殊应用状态下的工艺特性。通过焊点形态、拉力测试及显微镜拍照对比方式,得出劈刀可靠性变化曲线以及使用寿命。最后通过归纳分析,梳理出11种劈刀适用范围,供实际生产选型。 展开更多
关键词 高密度金丝键合 劈刀选型 键合能力 细间距 深腔
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基于新型NiPbAu基底的金丝楔形键合工艺研究 被引量:1
19
作者 陈帅 赵文忠 +1 位作者 张飞 赵志平 《电子工艺技术》 2020年第3期156-158,共3页
利用楔形键合设备进行金丝在镀镍钯金Ro5880基板上的键合实验。采用正交实验法分析了镀层厚度、键合功率、键合时间、键合温度等工艺参数对楔形键合的影响。同时,在镀镍金Ro5880板上进行了对比试验。研究发现:与镀镍金基板相比,镀镍钯... 利用楔形键合设备进行金丝在镀镍钯金Ro5880基板上的键合实验。采用正交实验法分析了镀层厚度、键合功率、键合时间、键合温度等工艺参数对楔形键合的影响。同时,在镀镍金Ro5880板上进行了对比试验。研究发现:与镀镍金基板相比,镀镍钯金基板在可焊性、键合强度、成本方面均有着巨大的优势,在电子组装、封装领域有着广阔的应用前景。 展开更多
关键词 金丝键合 楔形键合 微波多芯片组件 NiPdAu镀层 键合强度 正交试验
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楔焊焊点间的高度差对引线强度的影响 被引量:1
20
作者 袁羽辉 《红外》 CAS 2022年第2期40-43,共4页
作为红外探测器封装中的关键工艺,引线键合的质量直接影响红外探测器组件的性能及使用寿命。通过在陶瓷基板与读出电路之间粘接不同厚度的陶瓷垫片来调整焊点间的高度。在键合后使用DAGE-SERIES-4000-PXY拉力测试仪得到不同高度差下的... 作为红外探测器封装中的关键工艺,引线键合的质量直接影响红外探测器组件的性能及使用寿命。通过在陶瓷基板与读出电路之间粘接不同厚度的陶瓷垫片来调整焊点间的高度。在键合后使用DAGE-SERIES-4000-PXY拉力测试仪得到不同高度差下的引线拉力。实验结果表明,当陶瓷基板与读出电路间未粘接陶瓷垫片时,引线强度最高。随着陶瓷垫片厚度增加,引线强度呈下降的趋势。 展开更多
关键词 楔形键合 影响因素分析 红外探测器
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