期刊文献+
共找到37篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
非常规激光加工技术的研究 被引量:20
1
作者 王扬 李春奇 +4 位作者 杨立军 张宏志 吴雪峰 蔡娜 李灵 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第3期448-454,共7页
常规激光加工技术是利用高温使材料熔化或气化而达到加工目的,但是常导致加工区域热影响区和微裂纹的影响。着重探讨了水导激光加工过程中的激光与液束耦合原理及加工效果,分析了体加热激光切割玻璃过程中的温度场和应力场,以及曲线切... 常规激光加工技术是利用高温使材料熔化或气化而达到加工目的,但是常导致加工区域热影响区和微裂纹的影响。着重探讨了水导激光加工过程中的激光与液束耦合原理及加工效果,分析了体加热激光切割玻璃过程中的温度场和应力场,以及曲线切割和多层玻璃激光切割技术。针对两种非常规激光加工技术——水导激光加工和体加热激光切割玻璃技术,进行了理论分析及仿真技术研究,建立了两种加工技术的实验系统,利用该系统进行大量的实验研究,获得了较好的加工效果,为实际加工奠定了理论及实验基础。 展开更多
关键词 激光加工 水导激光 体加热激光切割 玻璃 不锈钢
下载PDF
水导激光微细加工中激光与水束光纤耦合技术 被引量:16
2
作者 李灵 杨立军 +2 位作者 王扬 刘备 王哲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1614-1621,共8页
为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统,并提出了新的耦合对准方法。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水束光纤,因此根据... 为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统,并提出了新的耦合对准方法。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水束光纤,因此根据计算结果,采用激光烧斑法来确定会聚透镜与水束光纤起始端(喷嘴孔)的距离;研究了激光在水束光纤中发生全反射的最大入射角;通过流体动力学仿真,设计了腔内流场分布均匀的耦合装置,保证了直径0.12 mm的水束光纤的高耦合品质;研究了激光能量在水束光纤中的衰减,采用特定波长和脉冲能量的激光和特殊过滤的去离子水来减小激光能量在水束光纤中耦合的损耗率。实验结果表明,水束光纤导光长度超过100 mm;采用该耦合技术能够在0.2 mm厚的硅基晶片上以2 mm/s速度切割出缝宽为0.12 mm的均匀窄缝,且几乎无裂纹、无热影响区。该耦合技术能够很好地满足水导激光微细加工的要求。 展开更多
关键词 水导激光 激光微细加工 全反射 激光耦合 光纤耦合 仿真
下载PDF
激光微孔加工技术及应用 被引量:17
3
作者 杨立军 孔宪俊 +3 位作者 王扬 丁烨 张宏志 迟关心 《航空制造技术》 2016年第19期30-38,共9页
随着高端、精密装备的飞速发展,人们对高质量、大深径比微孔的需求越来越紧迫。基于此,介绍了飞秒激光与水导激光两种加工微孔的技术,首先探讨了两种微孔加工技术的原理并且回顾了两种微孔加工技术的研究现状;然后着重讨论了激光工艺参... 随着高端、精密装备的飞速发展,人们对高质量、大深径比微孔的需求越来越紧迫。基于此,介绍了飞秒激光与水导激光两种加工微孔的技术,首先探讨了两种微孔加工技术的原理并且回顾了两种微孔加工技术的研究现状;然后着重讨论了激光工艺参数、打孔方式、加工环境(真空、气体、液体、化学环境)、激光与水束光纤耦合对于高质量微孔加工的影响;最后总结了两种微孔加工技术在航空航天领域的应用以及当前面临的问题。 展开更多
关键词 飞秒激光 水导激光 微孔 加工
下载PDF
水导激光切割技术研究现状 被引量:14
4
作者 孙博宇 乔红超 +2 位作者 赵吉宾 陆莹 郭跃彬 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第11期1039-1044,共6页
水导激光切割技术是一项利用水束导引激光到加工平面的新型切割技术,由于其热影响区小、加工精度高、无污染等优点受到了众多研究者的广泛关注。本文首先阐述了水导激光切割利用激光在空气和水交界面发生全发射的原理及其相对于传统激... 水导激光切割技术是一项利用水束导引激光到加工平面的新型切割技术,由于其热影响区小、加工精度高、无污染等优点受到了众多研究者的广泛关注。本文首先阐述了水导激光切割利用激光在空气和水交界面发生全发射的原理及其相对于传统激光切割的优势,其次从理论与工艺两个方面综述了水导激光切割的国内外研究进展,总结了水导激光设备的发展现状,最后针对水导激光切割的技术难点进行分析并且展望了该技术未来发展的趋势。 展开更多
关键词 水导激光 热影响区 耦合技术 喷嘴孔
下载PDF
新型水导引激光耦合系统研究 被引量:12
5
作者 叶瑞芳 沈阳 +1 位作者 王磊 黄元庆 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期369-372,共4页
由于现有水导引激光系统存在对激光焦点和喷嘴口中心点的耦合要求高的缺点,利用轴棱锥产生的无衍射光束具有中心光斑直径小且传播距离远的特性,设计了一种用轴棱锥替代聚焦透镜的新型水导引激光耦合.该系统是基于现有的水导引激光原理,... 由于现有水导引激光系统存在对激光焦点和喷嘴口中心点的耦合要求高的缺点,利用轴棱锥产生的无衍射光束具有中心光斑直径小且传播距离远的特性,设计了一种用轴棱锥替代聚焦透镜的新型水导引激光耦合.该系统是基于现有的水导引激光原理,利用无衍射光束的特性,扩大了激光与水束的耦合区域,降低了耦合精密度要求.同时,具有加工距离长、无热影响区等优点,该系统的研究也扩展了无衍射光束应用领域. 展开更多
关键词 水导引激光 轴棱锥 耦合 全反射
下载PDF
大深径比微孔加工技术及其发展 被引量:11
6
作者 焦悦 贺斌 +1 位作者 李朋 田东坡 《航空科学技术》 2018年第3期1-7,共7页
大深径比微孔加工在航空和汽车领域有广泛需求,如航空发动机涡轮叶片气膜孔、火焰筒气膜孔、航空喷油嘴微孔以及汽车喷油嘴微孔均需要大深径比微孔加工。目前,大深径比微孔加工方法主要有电火花、电液束、水导激光和飞秒激光4种加工技... 大深径比微孔加工在航空和汽车领域有广泛需求,如航空发动机涡轮叶片气膜孔、火焰筒气膜孔、航空喷油嘴微孔以及汽车喷油嘴微孔均需要大深径比微孔加工。目前,大深径比微孔加工方法主要有电火花、电液束、水导激光和飞秒激光4种加工技术。介绍了4种加工技术原理和研究现状,对比分析了各自的特点及其应用,最后对大深径比微孔加工技术的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微孔 大深径比 电火花 电液束 水导激光 飞秒激光
下载PDF
单晶硅水导/水辅助激光切割加工对比研究 被引量:8
7
作者 孙冬 王军华 韩福柱 《应用激光》 CSCD 北大核心 2016年第6期723-727,共5页
水导激光加工技术与水辅助激光加工技术是目前广泛应用与研究的两种激光水射流复合加工技术,都可以代替传统机械加工方法对单晶硅片进行划片切割工作。但由于激光与水射流耦合方式不同,单晶硅片切割加工效果存在显著差异。在确保激光参... 水导激光加工技术与水辅助激光加工技术是目前广泛应用与研究的两种激光水射流复合加工技术,都可以代替传统机械加工方法对单晶硅片进行划片切割工作。但由于激光与水射流耦合方式不同,单晶硅片切割加工效果存在显著差异。在确保激光参数与水射流参数相同的前提下,分别采用上述两种加工方法对单晶硅片进行划槽加工,对比研究其槽道深度与宽度、槽道截面形状、熔渣残留及热影响区等方面的差异性,并综合分析导致差异的根本原因。实验结果表明,相比水辅助激光加工,水导激光加工的槽道宽而浅,呈"V"字形,但其槽道表面干净熔渣少,无毛刺,热影响区较小,更适用于晶圆的高精划片切割加工。 展开更多
关键词 水导激光 水辅助激光 单晶硅 对比研究
原文传递
水导激光微加工机理与研究进展 被引量:6
8
作者 王水旺 丁烨 +2 位作者 程柏 李元 杨立军 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期58-77,共20页
随着我国航空航天、微电子和医疗等领域的快速发展,组成元件逐步迈向微型化和精细化,这对零部件的切割以及微米级孔、槽等结构的加工质量和加工精度提出了更高要求。与传统的机械加工、电火花加工和电化学加工相比,激光加工可实现“非... 随着我国航空航天、微电子和医疗等领域的快速发展,组成元件逐步迈向微型化和精细化,这对零部件的切割以及微米级孔、槽等结构的加工质量和加工精度提出了更高要求。与传统的机械加工、电火花加工和电化学加工相比,激光加工可实现“非接触”加工,加工材料的适应性好、柔性大。但单一的激光加工得到的切口存在明显的锥度,且易出现热影响区、毛刺、裂纹等缺陷。水导激光加工技术利用水射流“同轴”全反射导引激光,兼具高质量和高效加工的优势,因而得到了广泛研究和应用。为对水导激光加工技术进行较为详尽的综述,本文首先讨论了水射流的形成、衰减和发散过程,然后从水的光学特性、全反射形成条件以及耦合能束传输等方面对激光-水射流耦合进行了分析,最后介绍了水导激光在金属、半导体以及复合材料等领域的应用现状,并针对现有技术的不足,对其发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 激光技术 水导激光 微加工 耦合能束 水射流 加工应用
原文传递
碳纤维增强聚合物复合材料水导激光切割损伤机理研究
9
作者 陈忠安 包彬颖 +5 位作者 张广义 潮阳 王玉峰 姚喆赫 焦俊科 张文武 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期700-710,共11页
碳纤维增强聚合物(CFRP)复合材料在水导激光加工后,切缝表面和横截面存在热损伤,这些损伤是影响材料力学性能、降低材料服役性能的重要因素。针对该问题,采用试验方法分析了加工参数对沟槽几何形貌和表面形貌的影响规律,研究了沟槽表面... 碳纤维增强聚合物(CFRP)复合材料在水导激光加工后,切缝表面和横截面存在热损伤,这些损伤是影响材料力学性能、降低材料服役性能的重要因素。针对该问题,采用试验方法分析了加工参数对沟槽几何形貌和表面形貌的影响规律,研究了沟槽表面和横截面的热损伤形成机理。研究结果表明:高激光功率、低脉冲频率和低切割速度可有效增大沟槽深度;激光与材料的相互作用和水射流的冲刷作用是形成沟槽表面热损伤的主要原因。在2 mm厚CFRP切割试验中发现:横截面热影响区宽度与纤维排布方向有关,0°碳纤维热影响区宽度最大,45°和135°碳纤维热影响区宽度次之且宽度相近,90°碳纤维热影响宽度最小;另外,提高水射流速度有利于抑制热影响区的扩展,水射流速度由80 m/s提高至120 m/s,最大热影响宽度缩小35.7%。 展开更多
关键词 水导激光 碳纤维增强聚合物 几何形貌 损伤机理
下载PDF
基于双缝干涉水导激光打孔的仿真研究
10
作者 陈云 邓明星 《光电子.激光》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期198-206,共9页
水导激光加工技术具有热效应小、精度高、无刀具损坏等优点,被应用到高精度元件的加工中。为减小激光聚焦光斑直径以利于激光与水射流的精确耦合、提高激光孔的质量,提出了基于双缝干涉原理以减小激光聚焦光斑直径的方法。构建了传统水... 水导激光加工技术具有热效应小、精度高、无刀具损坏等优点,被应用到高精度元件的加工中。为减小激光聚焦光斑直径以利于激光与水射流的精确耦合、提高激光孔的质量,提出了基于双缝干涉原理以减小激光聚焦光斑直径的方法。构建了传统水导激光和双缝干涉水导激光打孔的几何模型和数学模型;基于COMSOL分别进行仿真,对比和分析了在激光束参数、加工条件均相同的条件下,传统水导激光和双缝干涉水导激光打孔时对激光孔轮廓的演化、热影响区域分布和重铸层大小的影响。结果表明:与传统水导激光相比,采用双缝干涉水导激光加工技术能有效地减小激光孔直径、锥角、热影响区域宽度和重铸层大小,在现有条件下进一步减小激光聚焦光斑直径。 展开更多
关键词 水导激光 双缝干涉 热影响区域 重铸层
原文传递
水导激光加工CFRP质量和效率实验研究
11
作者 张雨庭 乔红超 +2 位作者 王顺山 梁金盛 赵吉宾 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期1201-1207,共7页
为实现碳纤维增强复合材料的高质高效切割,采用水导激光加工技术对CFRP进行微槽加工,通过正交实验法、单因素实验法研究了激光功率、扫描速度和扫描路径重叠率对热影响区宽度和材料去除率的影响规律,并以此为目标进行了优化。结果表明:... 为实现碳纤维增强复合材料的高质高效切割,采用水导激光加工技术对CFRP进行微槽加工,通过正交实验法、单因素实验法研究了激光功率、扫描速度和扫描路径重叠率对热影响区宽度和材料去除率的影响规律,并以此为目标进行了优化。结果表明:激光功率、扫描路径重叠率对热影响区宽度和材料去除率的影响显著;当激光功率35 W、扫描速度4 mm/s和扫描路径重叠率40%时,热影响区宽度为184.484μm,材料去除率为0.068 mm ^(3)/s,能获得较小的热影响区宽度和较高的加工效率。 展开更多
关键词 水导激光加工 碳纤维增强复合材料 正交实验 工艺优化
下载PDF
新一代晶圆划片技术 被引量:3
12
作者 江朝宗 伯诺 理查德扎根 《电子工业专用设备》 2007年第6期31-34,48,共5页
随着半导体及电子业技术的发展和消费市场无止境的需求,传统的划片(Dicing)技术,在许多方面已经无法满足业者的需求,代之而起的是激光划片(Laser Dicing)技术。而激光固然有某些优势,却亦有其缺陷。无论如何,激光引领划片的潮流,来势汹... 随着半导体及电子业技术的发展和消费市场无止境的需求,传统的划片(Dicing)技术,在许多方面已经无法满足业者的需求,代之而起的是激光划片(Laser Dicing)技术。而激光固然有某些优势,却亦有其缺陷。无论如何,激光引领划片的潮流,来势汹汹,难以抵檔。 展开更多
关键词 划片 激光划片 微水刀激光 水导激光 超薄晶圆
下载PDF
基于离轴光学系统的水导激光耦合技术研究 被引量:5
13
作者 孙冬 王军华 韩福柱 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第12期7-12,共6页
在水导激光加工中,聚焦激光与微细水束的耦合对准效果是实现水导激光稳定加工的关键。为了提高水导激光的耦合对准精度,提出了一种新的耦合对准方法,即采用一种双透镜离轴光学系统,系统中一透镜进行轴向移动从而调节束腰轴向位置,另一... 在水导激光加工中,聚焦激光与微细水束的耦合对准效果是实现水导激光稳定加工的关键。为了提高水导激光的耦合对准精度,提出了一种新的耦合对准方法,即采用一种双透镜离轴光学系统,系统中一透镜进行轴向移动从而调节束腰轴向位置,另一透镜与喷嘴一起进行径向移动从而调节束腰径向位置。该方法可以有效提高对准装置的分辨率,从而实现高精度的耦合对准。对该方法进行了理论分析,并根据理论分析进行了实验装置的设计。实验结果表明该方法将耦合对准装置的径向分辨率提高了5倍,与预期设计相符。应用该方法成功将激光耦合进入直径100μm的喷嘴中实现水导激光加工,该方法也是离轴光学系统的一个创新应用。 展开更多
关键词 水导激光 耦合对准 离轴光学系统
下载PDF
基于水导激光平面缩流喷嘴内流场仿真研究 被引量:3
14
作者 杨林帆 焦辉 +2 位作者 黄宇星 梁恩 龙芋宏 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期754-761,共8页
适用于水导激光加工工艺的毛细带锥角喷嘴,其内部流动状态复杂。为了获得喷嘴内部高度稳定水束,采用有限元流体计算软件模拟分析的方法,进行了适用于水导激光工艺的缩流型喷嘴内流场模拟分析和数值验证,取得了生成高速稳定水束的参量数... 适用于水导激光加工工艺的毛细带锥角喷嘴,其内部流动状态复杂。为了获得喷嘴内部高度稳定水束,采用有限元流体计算软件模拟分析的方法,进行了适用于水导激光工艺的缩流型喷嘴内流场模拟分析和数值验证,取得了生成高速稳定水束的参量数据。结果表明,随着平面喷嘴入口压力逐渐增加,毛细段长径比值减小,流体进入喷嘴内部与毛细段壁面发生完全分离,无明显的空化现象发生,形成稳定光滑的缩流型水束;喷嘴入口压力为50MPa时,毛细管直径分别为0.128mm,0.07mm,0.03mm的喷嘴内部水束再附壁长度可达毛细管长度90%;锥角管为10°时,经过锥角段的水束会再次附壁。模拟分析所得参量对水导激光缩流型喷嘴选取提供指导。 展开更多
关键词 激光技术 水束导引激光 喷嘴内部流场 再附壁长度 稳定水束
下载PDF
基于响应面法的水导激光加工碳纤维复合材料工艺参数优化
15
作者 唐文翰 孙冬 韩福柱 《电加工与模具》 2023年第1期44-49,共6页
为了更好地采用水导激光加工碳纤维复合材料,基于响应面法设计实验,研究了工艺参数对切割质量指标的影响规律和切割质量对工艺参数的敏感性,并以热影响区、锥度、有效切割速度为目标进行了优化。结果表明:激光峰值功率对热影响区和锥度... 为了更好地采用水导激光加工碳纤维复合材料,基于响应面法设计实验,研究了工艺参数对切割质量指标的影响规律和切割质量对工艺参数的敏感性,并以热影响区、锥度、有效切割速度为目标进行了优化。结果表明:激光峰值功率对热影响区和锥度的影响显著,而切割速度和切割次数对有效切割速度的影响显著;当在切割速度2.35 mm/s、激光峰值功率324.45 W、切割次数6次时,水导激光切割碳纤维复合材料表面质量较好。 展开更多
关键词 水导激光 碳纤维复合材料 响应面
下载PDF
水导激光加工K424高温合金热损伤机制研究 被引量:2
16
作者 滕啸天 乔红超 +4 位作者 曹治赫 赵吉宾 张旖诺 梁金盛 于永飞 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期170-175,共6页
为研究水导激光技术加工K424高温合金的热损伤区规律,使用自主研发的水导激光加工系统对K424高温合金薄片进行打孔实验,采用旋切法进行钻孔,并在激光穿透材料后在孔壁继续旋转几圈去边缘毛刺。将切下的圆形工件进行镶嵌、打磨、抛光、... 为研究水导激光技术加工K424高温合金的热损伤区规律,使用自主研发的水导激光加工系统对K424高温合金薄片进行打孔实验,采用旋切法进行钻孔,并在激光穿透材料后在孔壁继续旋转几圈去边缘毛刺。将切下的圆形工件进行镶嵌、打磨、抛光、腐蚀和清洗,使用Zeiss EVO 10扫描电镜观测工件上的热影响区情况与重铸层的厚度。实验结果发现,水导激光加工后工件边缘位置的晶粒无明显变化,不存在热影响区。重铸层的厚度在2μm以上,但是分布不均匀,有的位置甚至不存在重铸层。分析后得出结论为水导激光的激光功率过高或脉宽时间过长等相关参数会导致材料内部产生多余的热量,如果这些热量过高会造成加工位置附近形成热影响区,并产生过多的熔渣使重铸层的厚度增加。同时,加工过程中会由于水柱变向回流或者熔渣较大导致排水不畅等因素,都会造成水射流的不稳定,使工件切口处的重铸层的厚度变的不均匀。根据上述结论提出了解决水射流不稳定的加工方法。 展开更多
关键词 水导激光 热传导 重铸层
下载PDF
水导激光技术中水-光耦合传能规律研究 被引量:1
17
作者 张光辉 黄宇星 +3 位作者 黄平 周辽 焦辉 龙芋宏 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期749-754,共6页
水-光耦合传输效率是实现水导激光可加工性的前提与效率保证。为了研究水导激光中水-光耦合传能规律,得到较高的水束中激光功率传输效率和均匀的激光功率密度分布,采用光线追迹原理及物理光学传播方法,仿真分析了1064nm激光束聚焦后的... 水-光耦合传输效率是实现水导激光可加工性的前提与效率保证。为了研究水导激光中水-光耦合传能规律,得到较高的水束中激光功率传输效率和均匀的激光功率密度分布,采用光线追迹原理及物理光学传播方法,仿真分析了1064nm激光束聚焦后的光束特性及水-光耦合后水束中激光光斑分布形态,并对不同水束长度下激光功率传输效率,以及不同功率、压力和水束长度下激光功率密度分布情况进行了系统的实验检测分析。结果表明,随着水束长度的减小,1064nm激光在水束中功率传输效率越高,在水束长度为20mm时,激光功率传输效率可达63.6%;激光功率的变化对水束中激光功率密度分布影响最大;当激光功率不变时,在水束稳定长度范围内水压的增大有利于水束中激光功率密度均匀化分布,而耦合水束长度的减小可以提高激光传输效率。研究结果为提高水导激光中能量利用率有一定的指导意义。 展开更多
关键词 激光技术 水导激光 水-光耦合 传输效率 功率密度分布
下载PDF
镍基单晶高温合金水导激光钻孔工艺特性研究 被引量:1
18
作者 梁金盛 乔红超 +3 位作者 曹治赫 张旖诺 赵吉宾 于永飞 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期986-993,共8页
为了探究不同激光功率及扫描速度下水导激光加工技术对镍基单晶高温合金加工微孔的影响规律及规律形成机理。使用自主研发的水导激光加工平台对镍基单晶高温合金CMSX-4在不同激光功率及扫描速度下进行1 mm微孔的加工。然后采用白光干涉... 为了探究不同激光功率及扫描速度下水导激光加工技术对镍基单晶高温合金加工微孔的影响规律及规律形成机理。使用自主研发的水导激光加工平台对镍基单晶高温合金CMSX-4在不同激光功率及扫描速度下进行1 mm微孔的加工。然后采用白光干涉仪、扫描电子显微镜和Vision64软件获得微孔加工时间、孔径、圆度、锥度及重铸层厚度随不同激光功率及扫描速度的变化规律,并研究变化规律的形成机理。结果表明,加工时间、锥度及重铸层厚度与激光能量强度有关。随着激光能量强度的增大,加工时间缩短,锥度变小,重铸层厚度变小。孔径和圆度受激光能量强度及其在材料表面分布的影响。仅当激光能量作用范围控制在水束直径范围下时,孔径及圆度相应获得较好的加工质量。 展开更多
关键词 水导激光 镍基单晶高温合金 CMSX-4 微孔
下载PDF
水导激光加工光源选型与材料蚀除研究 被引量:1
19
作者 李靖怡 李元 +2 位作者 丁烨 王扬 杨立军 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期36-45,共10页
水导激光加工系统中光源的输出参数对其加工能力有极为重要的影响.为进一步拓宽水导激光加工的应用领域,针对光源选型问题,建立了激光与水相互作用的物理模型.利用龙格库塔方法对不同脉宽和波长的激光辐照下水中焦点区域自由电子密度的... 水导激光加工系统中光源的输出参数对其加工能力有极为重要的影响.为进一步拓宽水导激光加工的应用领域,针对光源选型问题,建立了激光与水相互作用的物理模型.利用龙格库塔方法对不同脉宽和波长的激光辐照下水中焦点区域自由电子密度的演变过程进行数值模拟计算,探究了多光子电离、雪崩电离、电子扩散以及电子重组等物理进程对自由电子密度的影响,明确了不同激光参数下水的理论击穿阈值,并进行相应的实验验证.在此基础上选取合适的激光光源进行水导激光刻划304不锈钢的实验.结果表明,合适的激光光源可以在提升激光与水射流耦合效率、降低耦合损耗的同时,抑制加工过程中形成的热缺陷,实现高质量的水导激光加工. 展开更多
关键词 水导激光 数值模拟 光学击穿 加工能力
下载PDF
水导激光可适用性光束聚焦模式对比分析 被引量:1
20
作者 梁恩 黄宇星 +5 位作者 焦辉 张光辉 周辽 黄平 常朝正 龙芋宏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第17期362-370,共9页
水导激光加工技术中,高质量光束对耦合效率起着关键性的作用。为了解决水-光耦合技术的难题,使水导激光加工技术更好地应用在具有高熔点和高硬脆性的材料的高精密度和低损伤等加工场合,提出自聚焦-球透镜组合聚焦模式和正-负轴棱锥镜组... 水导激光加工技术中,高质量光束对耦合效率起着关键性的作用。为了解决水-光耦合技术的难题,使水导激光加工技术更好地应用在具有高熔点和高硬脆性的材料的高精密度和低损伤等加工场合,提出自聚焦-球透镜组合聚焦模式和正-负轴棱锥镜组合聚焦模式,并与传统凸透镜聚焦模式进行对比分析。根据三种可适用性聚焦模式,推导相应的ABCD传输矩阵,仿真聚焦模式下的光束特性,并讨论不同聚焦模式下的工业化应用特点。仿真结果表明,正-负轴棱锥镜组合聚焦后的光束束腰半径最小,传统凸透镜聚焦模式聚焦后的光束发散角最小,且三种模式结构不同,都存在各自的优劣性。 展开更多
关键词 光学设计 水导激光 光束聚焦 ABCD矩阵 光学仿真
原文传递
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部