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三氧化钨纳米薄膜制备与气敏性能的研究 被引量：3
1
作者 尹英哲 胡明 +1 位作者 冯有才 陈鹏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2361-2363,共3页
讨论一种对二氧化氮具有高灵敏性的WO3纳米薄膜的制备方法.当基片温度为室温,溅射混合气体(O2/Ar)的比例为1:1时,用直流反应磁控溅射法制备的薄膜,经过两步热处理(300℃/600℃),得到纳米结构WO3气敏元件.通过XRD、XPS和SEM对该薄膜的晶... 讨论一种对二氧化氮具有高灵敏性的WO3纳米薄膜的制备方法.当基片温度为室温,溅射混合气体(O2/Ar)的比例为1:1时,用直流反应磁控溅射法制备的薄膜,经过两步热处理(300℃/600℃),得到纳米结构WO3气敏元件.通过XRD、XPS和SEM对该薄膜的晶体结构和化学成分进行分析,用静态配气法测试NO2气敏特性.在Si3N4基片上制备的这种薄膜对空气中较低浓度的NO2(体积分数为0.1×10-5～3×10-5)具有优异的敏感特性和响应特性,最佳工作温度为150℃,在此温度下对其他一些气体(如CO,C2H5OH,NH3)的敏感性很差,显示出良好的选择性. 展开更多
关键词 wo3纳米薄膜 灵敏度 直流反应磁控溅射 两步热处理
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溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的研究
2
作者 刘英 王兵 王速 《电子测试》 2016年第8X期160-,156,共2页
本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法,在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜,于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试,观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着对NO2、H2、乙醇等气体进行敏感测试,测试证明薄膜对H2、乙醇... 本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法,在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜,于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试,观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着对NO2、H2、乙醇等气体进行敏感测试,测试证明薄膜对H2、乙醇敏感性较差,对NO2敏感性良好。 展开更多
关键词 wo3纳米薄膜 溶胶-凝胶法 气体敏感
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Pt/WO_3纳米薄膜的氢敏特性 被引量：2
3
作者 范小花 唐一科 +1 位作者 侯长军 范瑛 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期761-764,769,共5页
用溶胶-凝胶法和磁控溅射法相结合制备了催化剂Pt掺杂的WO3纳米薄膜,通过改变氢气的体积分数、催化剂Pt的含量及热处理温度等实验因素,对Pt/WO3薄膜的氢致变色性能进行了测试;并利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜的氢敏机理。实验... 用溶胶-凝胶法和磁控溅射法相结合制备了催化剂Pt掺杂的WO3纳米薄膜,通过改变氢气的体积分数、催化剂Pt的含量及热处理温度等实验因素,对Pt/WO3薄膜的氢致变色性能进行了测试;并利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜的氢敏机理。实验结果表明:先用溶胶-凝胶法制得WO3薄膜,然后再用磁控溅射法在该WO3薄膜上溅射掺杂5%的Pt,制得Pt/WO3双层纳米薄膜,经100℃热处理后,可以获得性能稳定且具有良好氢敏特性的优质薄膜;薄膜能检测的氢气浓度低至0.008%;XPS分析表明,W5+与W6+之间的转换是引起WO3薄膜氢致变色现象的主要原因。 展开更多
关键词 Pt/wo3纳米薄膜 氢敏特性 机理
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纳米结构Pt/WO_3薄膜的制备、表征及氢敏性能 被引量：1
4
作者 侯长军 范小花 +1 位作者 唐一科 霍丹群 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期218-222,共5页
以钨粉和双氧水为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备了WO3纳米薄膜,并用磁控溅射法在该WO3薄膜表面溅射掺杂了催化剂Pt。研究了该Pt/WO3纳米薄膜的结构和氢敏性能,结果表明,用此种方法制备的WO3基掺Pt薄膜具有良好的氢敏特性;平均膜厚160nm... 以钨粉和双氧水为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备了WO3纳米薄膜,并用磁控溅射法在该WO3薄膜表面溅射掺杂了催化剂Pt。研究了该Pt/WO3纳米薄膜的结构和氢敏性能,结果表明,用此种方法制备的WO3基掺Pt薄膜具有良好的氢敏特性;平均膜厚160nm;薄膜经400℃以下退火处理后是非晶态结构,表面疏松多孔,氢敏效果好;经400℃以上退火处理后呈晶态结构,表面粗糙致密,氢敏效果差;Pt掺杂量对薄膜的氢敏效果有影响,掺杂量越多,氢敏效果越差。 展开更多
关键词 Pt/wo3纳米薄膜 氢敏性能 溶胶-凝胶法 掺杂
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WO3纳米块薄膜光电催化性能的研究 被引量：1
5
作者 肖楠 寇艳强 +2 位作者 张宇飞 杨继凯 杨雪 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2020年第1期58-62,共5页
以钨酸钠(Na2WO4·2H2O)为原料,草酸铵((NH4)2C2O4·H2O)为辅助剂,采用水热法在FTO衬底上制备WO3纳米块薄膜。通过X射线衍射和扫描电子显微镜对WO3纳米块薄膜进行表征。利用光电流和光电催化测试手段,得到WO3纳米块薄膜的光电... 以钨酸钠(Na2WO4·2H2O)为原料,草酸铵((NH4)2C2O4·H2O)为辅助剂,采用水热法在FTO衬底上制备WO3纳米块薄膜。通过X射线衍射和扫描电子显微镜对WO3纳米块薄膜进行表征。利用光电流和光电催化测试手段,得到WO3纳米块薄膜的光电流值和光电催化降解效率等参数,并对其进行详细分析。通过研究水热时间对WO3纳米块薄膜光电催化性能的影响,结果显示水热生长4 h的WO3纳米块薄膜具有良好光电流和光电催化性能。 展开更多
关键词 wo3纳米块薄膜 水热法 光电流 光电催化
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壳聚糖辅助制备WO_3薄膜材料及其电致变色性能 被引量：3
6
作者 刘树萍 刘益春 王薇 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1202-1207,共6页
以壳聚糖(CS)为辅助材料,利用层层自组装方法(LbL)制备了WO3复合薄膜材料(CS/WO3).采用紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)、扫描电子显微镜(SEM)和循环伏安扫描(CV)等手段对CS/WO3纳米复合材料的形貌和电化学性能进行了表征.利用电化学和UV-Vi... 以壳聚糖(CS)为辅助材料,利用层层自组装方法(LbL)制备了WO3复合薄膜材料(CS/WO3).采用紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)、扫描电子显微镜(SEM)和循环伏安扫描(CV)等手段对CS/WO3纳米复合材料的形貌和电化学性能进行了表征.利用电化学和UV-Vis联机技术研究了复合材料的电致变色性能.结果表明,该复合材料呈现出从无色到蓝色的颜色调变,其光反差可达48.0%,着色效率为58.5cm2/C,着色与褪色时间分别为9.5和1.8s. 展开更多
关键词 三氧化钨(wo3) 壳聚糖 层层自组装 电致变色性能 CS/wo3纳米复合薄膜
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暴露(002)晶面的WO_(3)纳米片薄膜的光电催化性能 被引量：1
7
作者 郭晨鹏 李晶晶 +2 位作者 李丽华 顾永军 黄金亮 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第4期532-535,541,共5页
采用一步水热法,以钨酸钠(Na2WO_(4)·2H_(2)O)为原料,草酸(H_(2)C2O_(4))为结构导向剂,在FTO衬底上制备了具有高活性(002)面的WO_(3)纳米片薄膜。利用XRD,FESEM对薄膜的物相和形貌进行了分析,通过UV-Vis,PL对薄膜的能带结构和载流... 采用一步水热法,以钨酸钠(Na2WO_(4)·2H_(2)O)为原料,草酸(H_(2)C2O_(4))为结构导向剂,在FTO衬底上制备了具有高活性(002)面的WO_(3)纳米片薄膜。利用XRD,FESEM对薄膜的物相和形貌进行了分析,通过UV-Vis,PL对薄膜的能带结构和载流子的分离能力进行了表征,通过电化学工作站对WO_(3)薄膜的光电性能进行了研究。分析了草酸用量对WO_(3)纳米片薄膜的晶体取向、形貌尺寸和光电催化性能的影响。结果表明:草酸用量为0.30g时,WO_(3)纳米片薄膜的(002)面衍射峰强度最高,具有良好的光电催化性能。 展开更多
关键词 wo_(3)纳米片薄膜 一步水热法 草酸 光电催化
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