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超薄W-Si-N作为铜与硅之间的扩散阻挡层 被引量：5
1
作者 陆华 屈新萍 +2 位作者 王光伟 茹国平 李炳宗 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期612-616,共5页
研究了 W- Si- N三元化合物对铜的扩散阻挡特性 .在 Si ( 10 0 )衬底上用离子束溅射方法淀积 W- Si- N ,Cu/W- Si- N薄膜 ,样品经过高纯氮气保护下的快速热退火 ,用俄歇电子能谱原子深度分布与 X射线衍射以及电流 -电压特性测试等方法... 研究了 W- Si- N三元化合物对铜的扩散阻挡特性 .在 Si ( 10 0 )衬底上用离子束溅射方法淀积 W- Si- N ,Cu/W- Si- N薄膜 ,样品经过高纯氮气保护下的快速热退火 ,用俄歇电子能谱原子深度分布与 X射线衍射以及电流 -电压特性测试等方法研究了 W- Si- N薄层的热稳定性与对铜的阻挡特性 .实验分析表明 W- Si- N三元化合物具有较佳的热稳定性 ,在 80 0℃仍保持非晶态 ,当 W- Si- N薄层的厚度仅为 6nm时 。 展开更多
关键词 w-si-n 扩散阻挡层 热稳定性 铜互连
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汽车半轴40Cr钢表面溅射W-Si-N涂层的力学性能和室温摩擦磨损性能 被引量：1
2
作者 吴林 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期9-12,共4页
为了提高汽车半轴耐磨性,采用射频磁控溅射仪在汽车半轴用钢(40Cr钢)表面沉积了一系列不同Si含量的W-Si-N涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对W-Si-N涂层的结构、... 为了提高汽车半轴耐磨性,采用射频磁控溅射仪在汽车半轴用钢(40Cr钢)表面沉积了一系列不同Si含量的W-Si-N涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对W-Si-N涂层的结构、力学性能和高温摩擦磨损性能进行了表征。结果表明:W-Si-N涂层由面心立方的W-Si-N相和非晶Si3N4相组成,呈(200)择优生长;随Si含量增加,W-Si-N涂层的硬度先升高后降低,Si含量为13.2%时硬度达到最大值,约为37.0 GPa;室温环境下,随Si含量增加,摩擦系数和磨损率均呈先减小后增大趋势;Si含量为13.2%的WSi-N涂层的摩擦系数和磨损率均最小,分别为0.3和4.0×10-6mm3/(N·mm);与WN涂层相比,W-Si-N涂层的力学性能和室温摩擦磨损性能均得到显著提高。 展开更多
关键词 磁控溅射 w-si-n涂层 结构 力学性能 摩擦磨损
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晶须增韧补强陶瓷基复合材料的若干关键技术研究(Ⅰ):晶界和界面的调控 被引量：1
3
作者 汪长安 黄勇 +1 位作者 陈健 李建保 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1997年第5期31-34,共4页
根据各种助烧剂在相应的氧氨玻璃中的作用，通过晶界相预合成和改变Al2O3和MgO的添加量，研究了不同La／Y比及Al2O3和MaO含量对SiC（w）／Si3N4复合材料力学性能的影响，从而实现了对晶界和界面的调控，优化了助烧剂体系和制备工艺，达... 根据各种助烧剂在相应的氧氨玻璃中的作用，通过晶界相预合成和改变Al2O3和MgO的添加量，研究了不同La／Y比及Al2O3和MaO含量对SiC（w）／Si3N4复合材料力学性能的影响，从而实现了对晶界和界面的调控，优化了助烧剂体系和制备工艺，达到了最佳的晶须增韧补强效果。 展开更多
关键词 晶界 界面 陶瓷基复合材料 晶须增韧
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晶须增韧补强陶瓷基复合材料的若干关键技术研究(Ⅲ):纤维独石结构和层状结构的设计 被引量：1
4
作者 郭海 汪长安 +1 位作者 黄勇 李建保 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1997年第7期10-14,共5页
为了进一步提高晶须增韧陶瓷基复合材料的断裂韧性，提出了纤维独石结构和层状结构的复合材料的设计思路，这两类特殊结构的复合材料都具有非常高的断裂韧性和断裂功。在这两类材料的设计中，都基于一种多级增韧机制的思想，即在材料中... 为了进一步提高晶须增韧陶瓷基复合材料的断裂韧性，提出了纤维独石结构和层状结构的复合材料的设计思路，这两类特殊结构的复合材料都具有非常高的断裂韧性和断裂功。在这两类材料的设计中，都基于一种多级增韧机制的思想，即在材料中引进相对较弱的界面将一个个结构单元（纤维或薄层）结合起来，结构单元之间的弱界面层作为一级增韧机制，是这两类复合材料具有很高断裂韧性的主要增韧机制；在结构单元内部，晶须增韧体作为二级增韧机制；长柱状的基体晶粒作为三级增韧机制。这三级增韧机制的协同作用，使得这类复合材料具有非常高的断裂韧性和断裂功。 展开更多
关键词 纤维独石结构 层状结构 多级增韧机制 复合材料
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SiC(W)/Si_3N_4复相陶瓷的注射成型
5
作者 杨金龙 谢志鹏 +3 位作者 黄勇 王林 陈少荣 俞心刚 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期302-308,共7页
本文深入研究了硅烷偶联剂和SiC晶须对注射悬浮体流变性的影响，并通过对注射压力，保压压力和保压时间三参数三水平正交实验优化工艺参数，认为保压时间对烧结体质量影响显著，从而在注射成型机浇口流过处设置了加热装置和水冷却装置... 本文深入研究了硅烷偶联剂和SiC晶须对注射悬浮体流变性的影响，并通过对注射压力，保压压力和保压时间三参数三水平正交实验优化工艺参数，认为保压时间对烧结体质量影响显著，从而在注射成型机浇口流过处设置了加热装置和水冷却装置，延长了浇口封凝时间．通过有机物气相裂解色谱分析及有机物降解差热分析，制定了合理的有机载体脱脂制度，最后用无压烧结采用多步保温法，成功地制备出了发动机陶瓷静叶片. 展开更多
关键词 注塑成型 陶瓷 碳化硅 氮化硅 复合陶瓷
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