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含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究 被引量：4
1
作者 牛孝昊 罗庆洪 +3 位作者 杨会生 陆永浩 熊小涛 王燕斌 《真空》 CAS 北大核心 2007年第4期36-39,共4页
为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究。研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺条件范围内,都可以沉积厚度超过5μm的薄膜而... 为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究。研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺条件范围内,都可以沉积厚度超过5μm的薄膜而不发生剥落。适当控制工艺条件和膜中钨的含量可以提高薄膜的硬度,降低磨损率,且保持低的摩擦系数和较高的沉积速率。 展开更多
关键词 掺钨类金刚石薄膜 硬度 摩擦系数 等离子增强化学气相沉积
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