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题名站立式石墨烯的化学气相沉积及其应用:现状与展望
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作者
区昊雄
颜鑫承
王超
刁东风
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机构
深圳大学机电与控制工程学院
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出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第32期4748-4762,共15页
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基金
国家自然科学基金(51875364)
广东省自然科学基金(2024A1515010838)资助。
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文摘
站立式石墨烯(vertical graphene,VG)是一种纵向生长的石墨烯材料.它一方面具备石墨烯诸多物理化学性质,另一方面由于片层取向与衬底垂直,具有丰富锐利的边缘和巨大的比表面积,故而具有独特的性能优势,在新能源、传感器、半导体等领域展示出巨大的应用潜力.目前,人们已经开发出多种制备VG的方法,其中化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法有利于大面积生长和器件化,逐渐成为主要方法之一.VG的CVD生长过程可分为形成缓冲层、石墨烯成核、片层垂直生长三个阶段,其独特的站立式结构是电场、温度场、衬底催化等作用的复杂结果.目前,VG已经应用于新型电源、高灵敏传感器、生物医疗技术、柔性可穿戴电子等领域.但由于需要较高的环境温度或催化性衬底才能形成,因此VG在可穿戴设备、柔性电子等场景的应用发展较慢.作者认为在柔性衬底表面实现VG的低温生长将成为该领域的重点突破方向。本文从VG的结构与性质、形成机理、生长技术以及应用进展四个方面综述其研究现状,并对其生长技术和应用的发展趋势进行展望.
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关键词
站立式石墨烯
化学气相沉积
vg生长机理
柔性传感
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Keywords
vertical graphene(vg)
plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD)
mechanism of growth of flexiblesensing
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分类号
O613.71
[理学—无机化学]
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