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多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能
被引量：
4
1
作者
周织建
聂伟荣
+1 位作者
席占稳
王晓锋
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期1044-1052,共9页
为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析。利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能。实验分析得到其累积失效概...
为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析。利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能。实验分析得到其累积失效概率-加速度峰值曲线近似拟合于韦布尔统计分布,韦布尔系数γ=7.6,参考加速度为21 300g。当加速度为12 000~18 000g时,可靠性相对较高;当加速度为12 000~18 000 g时,累计失效概率增加较快;当加速度大于24 000g时,可靠性下降迅速。利用扫描电子显微镜（SEM）观察了试样,得到其主要的失效形式有分层、断裂、塑性变形以及黏连等。初步分析了失效原因,并提出了相应的优化设计方法,为UV-LIGA多层结构的设计提供实验依据。
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关键词
uv
-
liga
多层电铸镍
抗冲击性能
微机电系统(MEMS)
下载PDF
职称材料
题名
多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能
被引量：
4
1
作者
周织建
聂伟荣
席占稳
王晓锋
机构
南京理工大学机械工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期1044-1052,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51475245)
文摘
为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析。利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能。实验分析得到其累积失效概率-加速度峰值曲线近似拟合于韦布尔统计分布,韦布尔系数γ=7.6,参考加速度为21 300g。当加速度为12 000~18 000g时,可靠性相对较高;当加速度为12 000~18 000 g时,累计失效概率增加较快;当加速度大于24 000g时,可靠性下降迅速。利用扫描电子显微镜（SEM）观察了试样,得到其主要的失效形式有分层、断裂、塑性变形以及黏连等。初步分析了失效原因,并提出了相应的优化设计方法,为UV-LIGA多层结构的设计提供实验依据。
关键词
uv
-
liga
多层电铸镍
抗冲击性能
微机电系统(MEMS)
Keywords
ultraviolet
lithography
galvanoformung
abformung
（
uv
-
liga
）
multi-layered
electroformed
nickel
anti-impact
property
Micro-mechanic-electronic
System（MEMS）
分类号
TH140.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
TQ153.4 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能
周织建
聂伟荣
席占稳
王晓锋
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
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职称材料
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