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超声椭圆振动-化学机械复合抛光工具及实验研究 被引量:10
1
作者 杨卫平 吴勇波 徐家文 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2008年第7期841-847,共7页
针对硅片的传统化学机械抛光,特别是随着硅片直径不断增大,硅片抛光表面质量和抛光效率成为一个亟待解决的问题。介绍一种超声椭圆振动-化学机械复合抛光新技术,并对抛光机理,抛光工具设计,性能及检测进行了详细论述和说明。在上述研究... 针对硅片的传统化学机械抛光,特别是随着硅片直径不断增大,硅片抛光表面质量和抛光效率成为一个亟待解决的问题。介绍一种超声椭圆振动-化学机械复合抛光新技术,并对抛光机理,抛光工具设计,性能及检测进行了详细论述和说明。在上述研究工作基础上,建立了超声椭圆振动辅助抛光实验系统,并进行了实验研究。实验结果显示,在抛光加工中引入超声椭圆运动后,工件抛光表面粗糙度值由传统抛光法的Ra0.077μm降低到Ra0.032μm,材料去除率最多可提高24%,且工件表面形貌有明显改善。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 化学机械抛光 抛光工具 实验研究
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低温微量润滑和超声椭圆振动下GH4169合金切削研究 被引量:3
2
作者 徐作栋 董月清 阳小勇 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第4期125-127,共3页
GH4169镍基合金切削加工时容易造成明显加工硬化现象,形成了很大的切削力和切削温度,对刀具带来严重磨损。为了提高GH4169合金的切削机加工性能,结合超声椭圆振动(UEV)和低温微量润滑(CMQL)的优势设计了一种UEV+CMQL切削方式。搭建CBN... GH4169镍基合金切削加工时容易造成明显加工硬化现象,形成了很大的切削力和切削温度,对刀具带来严重磨损。为了提高GH4169合金的切削机加工性能,结合超声椭圆振动(UEV)和低温微量润滑(CMQL)的优势设计了一种UEV+CMQL切削方式。搭建CBN刀具的GH4169合金切削实验,开展不同切削方式下切削力和切削温度性能分析。研究结果表明,采用低温微量润滑实现了切削力的大幅下降,促使工件硬度与切削力的显著提高。相比常规切削方法,以UEV与CMQL方法使温度减小19.7%。设定更低喷雾温度时刀尖应力明显减小,喷嘴角度减小可以使刀具中形成更低应力,延长刀具使用寿命,提升刀具耐磨性能并获得更优减磨效果也能够适难加工合金用,研究结果作为改善合金切削生产工艺的重要参考依据。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 低温微量润滑 切削 镍基合金 性能分析
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CMQL和UEV下Incone1690镍基合金切削力和温度分析
3
作者 王娟 李峰 王国强 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第6期136-139,共4页
低温微量润滑(CMQL)可以使切削阶段达到更优的切削摩擦性能,提升刀具耐磨性能并获得更优减磨效果;超声椭圆振动(UEV)能够提高难加工合金的切削性能。在超声椭圆振动基础上设置低温微量润滑条件,并通过实验分析其切削效果。研究结果表明... 低温微量润滑(CMQL)可以使切削阶段达到更优的切削摩擦性能,提升刀具耐磨性能并获得更优减磨效果;超声椭圆振动(UEV)能够提高难加工合金的切削性能。在超声椭圆振动基础上设置低温微量润滑条件,并通过实验分析其切削效果。研究结果表明:采用UEV和CCMQL模式时,切削力与进给力降低比例依次为62.3%与75.0%,在低温微量润滑过程能够实现更低温度控制效果,有效防止工件的热软化问题。普通切削时温度都接近445℃。UEV可以获得更低温度,同时运用UEV和CMQL处理方式,温度下降了16.1%,采用UEV和CCMQL方式时,温度下降19.5%。通过降低喷嘴角度的方式,获得更低切削雾滴温度,刀尖应力出现降低实现刀具保护,促进刀具寿命延长。该研究有助于改善合金切削工艺,对提高切削质量提供了一个思路。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 低温微量润滑 切削 镍基合金 性能分析
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超声椭圆振动铣削钛合金切削力和残余应力分析
4
作者 王绪科 郭延磊 《机械管理开发》 2024年第8期42-43,46,共3页
铣削工艺以其高表面加工质量在制造领域中占有一席之地。为了进一步提高铣削精度,引入椭圆振动进行辅助加工,分析铣削钛合金切削力和残余应力特性。研究结果表明:当增大附加幅值时,平均径向切割力呈不断下降,有利于强化超声波椭振铣削作... 铣削工艺以其高表面加工质量在制造领域中占有一席之地。为了进一步提高铣削精度,引入椭圆振动进行辅助加工,分析铣削钛合金切削力和残余应力特性。研究结果表明:当增大附加幅值时,平均径向切割力呈不断下降,有利于强化超声波椭振铣削作用,使加工周期明显缩短,而平均切削力也随之减小。随着超声振幅增大,表面残余应力增加,表面残余应力由表面最大点随深度增大持续下降,获得了稳定表面残余应力。该研究为后续的超声椭圆振动铣削工艺优化奠定一定的理论基础。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 铣削 钛合金 切削力 残余应力
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基于ABAQUS的超声椭圆振动车削钛合金TC4数值分析
5
作者 高势云 邓子龙 +1 位作者 高兴军 何艳 《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2023年第5期61-67,共7页
钛合金TC4在加工过程中会出现工件变形及黏结等问题,因此加工难度较大。利用ABAQUS软件创建仿真模型,对比了超声椭圆振动车削和常规切削对钛合金TC4力学特点的影响,并对比分析了超声椭圆振动车削钛合金TC4的切削速度、切向幅值、频率和... 钛合金TC4在加工过程中会出现工件变形及黏结等问题,因此加工难度较大。利用ABAQUS软件创建仿真模型,对比了超声椭圆振动车削和常规切削对钛合金TC4力学特点的影响,并对比分析了超声椭圆振动车削钛合金TC4的切削速度、切向幅值、频率和切削深度对切削力的影响。结果表明,超声椭圆振动切削平均切削力随着切削深度及切削速度的增加而增加;随着切向幅值及振动频率的增加而减小;与常规切削相比,超声椭圆振动切削能够明显降低切削力,改善表面加工质量,提高加工效率。 展开更多
关键词 车削 超声椭圆振动 TC4 性能分析 切削力
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椭圆振动辅助车削7075铝合金表面微织构及其特性 被引量:8
6
作者 原路生 赵波 +1 位作者 王毅 赵重阳 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第15期1831-1838,共8页
为研究椭圆振动车削技术辅助微织构制备的工艺及其加工后微表面特性,采用椭圆振动原理和微织构的形成原理分析了不同转速和进给速度下的微织构变化规律,进行椭圆振动轨迹测量试验和椭圆振动车削试验,分析了装置振动轨迹、表面形貌、单... 为研究椭圆振动车削技术辅助微织构制备的工艺及其加工后微表面特性,采用椭圆振动原理和微织构的形成原理分析了不同转速和进给速度下的微织构变化规律,进行椭圆振动轨迹测量试验和椭圆振动车削试验,分析了装置振动轨迹、表面形貌、单个微织构几何尺寸及表面粗糙度变化情况。试验结果表明,在切削试验过程中,相比传统车削,由于车刀的空间椭圆运动轨迹,超声椭圆振动车削后表面呈现类椭圆状的微织构凹槽。由理论分析和试验结果得出,随着转速和进给速度的改变,微织构凹槽的几何尺寸、轮廓高度及表面粗糙度均会发生规律性变化。 展开更多
关键词 超声波椭圆振动车削 7075铝合金 微织构形成机理 微织构 表面粗糙度
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超声椭圆振动-化学机械复合抛光硅片实验研究 被引量:2
7
作者 杨卫平 徐家文 吴勇波 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期912-917,共6页
在研制超声椭圆振动-化学机械复合抛光硅片实验装置基础上,进一步开展了抛光压力P,抛光点速度v及抛光液供给量Q等可控工艺参数对硅片抛光表面粗糙度、表面形貌和材料去除率影响的有无超声椭圆振动辅助抛光的对比实验研究.实验结果表明:... 在研制超声椭圆振动-化学机械复合抛光硅片实验装置基础上,进一步开展了抛光压力P,抛光点速度v及抛光液供给量Q等可控工艺参数对硅片抛光表面粗糙度、表面形貌和材料去除率影响的有无超声椭圆振动辅助抛光的对比实验研究.实验结果表明:抛光工具的超声椭圆振动有利于抛光垫保持良好的表面形貌和抛光区获得良好的工作状况,提高硅片材料的去除率;抛光压力对抛光质量的影响最大,抛光速度次之,抛光液供给量影响最小;在最佳抛光效果情况下,可使硅片抛光表面粗糙度值由传统抛光法所获得的Ra0.077μm降到超声辅助抛光法的Ra0.042μm,材料去除率最多可提高18%,并且工件表面形貌有明显改善. 展开更多
关键词 超声椭圆振动 化学机械抛光 复合 表面形貌 材料去除率
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新型超声椭圆振动无心磨削技术 被引量:1
8
作者 范玉峰 唐昆 +2 位作者 尹韶辉 朱勇建 吴勇波 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第6期484-490,共7页
本文提出一种以超声椭圆振动板取代传统导轮的新型无心磨削技术,通过对该部件中的压电陶瓷(lead zirconate titanate,PbZrTiO3,PZT)施加交流电压,在该板端面产生超声椭圆振动并控制工件的旋转速度.从振型、激振方式、结构和尺寸等方面,... 本文提出一种以超声椭圆振动板取代传统导轮的新型无心磨削技术,通过对该部件中的压电陶瓷(lead zirconate titanate,PbZrTiO3,PZT)施加交流电压,在该板端面产生超声椭圆振动并控制工件的旋转速度.从振型、激振方式、结构和尺寸等方面,对该超声椭圆振动部件进行了设计,研究了输入信号参数(频率、相位差和电压幅值)与振动部件中金属板端面超声椭圆振动的形状和幅值之间的关系.实验结果表明,该超声椭圆振动板具有良好的性能,其端面的超声椭圆振动能精确控制工件旋转的速度.最后,采用改进后的超声椭圆振动无心磨床对初始直径为1 mm~5 mm的微小圆柱形工件进行了磨削实验.实验结果表明。 展开更多
关键词 无心磨削 超声椭圆振动部件 压电陶瓷(lead ZIRCONATE titanate PbZrTiO3 PZT) 微小零部件
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纵弯复合型超声椭圆振动辅助抛光光纤阵列系统设计 被引量:7
9
作者 陈涛 刘德福 +1 位作者 严日明 余青 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2017年第24期242-249,共8页
对现有的化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量和高效率的要求,根据杆件的纵向振动和弯曲振动基本方程,设计了一种纵弯复合超声椭圆振动装置,用于光纤阵列组件的超声椭圆振动辅助化学机械抛光,以提高光纤阵列组件端面的抛光质量... 对现有的化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量和高效率的要求,根据杆件的纵向振动和弯曲振动基本方程,设计了一种纵弯复合超声椭圆振动装置,用于光纤阵列组件的超声椭圆振动辅助化学机械抛光,以提高光纤阵列组件端面的抛光质量和抛光效率。所设计的纵弯复合超声振动系统实现了36kHz下纵向4阶和弯曲13阶的同频超声振动。振幅测试试验结果表明,超声椭圆振动双向振幅分别为3μm和2.5μm,超声椭圆振动辅助化学机械抛光后的光纤端面粗糙度达到27.58nm。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 光纤阵列 有限元分析 阻抗测试 化学机械抛光
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硅片边缘超声振动辅助化学机械抛光实验 被引量:6
10
作者 刘仁鑫 杨卫平 吴勇波 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期221-226,共6页
提出一种超声振动辅助化学机械复合抛光硅片边缘新技术,建立了抛光工具设计、性能检测及复合抛光实验系统,并进行了不同超声振动形式传统化学机械以及抛光工具对硅片边缘抛光的实验研究。结果表明,在相同抛光条件下,抛光工具超声椭圆振... 提出一种超声振动辅助化学机械复合抛光硅片边缘新技术,建立了抛光工具设计、性能检测及复合抛光实验系统,并进行了不同超声振动形式传统化学机械以及抛光工具对硅片边缘抛光的实验研究。结果表明,在相同抛光条件下,抛光工具超声椭圆振动对抛光效果的改善作用最佳。抛光工具加入超声椭圆运动后,工件表面粗糙度值Ra由传统抛光法的0.059μm降低到0.043μm,材料去除量增加22%,且抛光表面形貌有明显改善。 展开更多
关键词 硅片边缘 超声椭圆振动 复合抛光
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Chatter Suppression with Ultrasonic Elliptical Vibration Based on Energy Principle 被引量:4
11
作者 马春翔 E Shamoto T Moriwaki 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2005年第2期229-232,共4页
A new method is proposed to suppress chatter, in which the ultrasonic elliptical vibration is added on the cutting tool edge. It results in the fact that the rake face of tool is separated from the chip and the direct... A new method is proposed to suppress chatter, in which the ultrasonic elliptical vibration is added on the cutting tool edge. It results in the fact that the rake face of tool is separated from the chip and the direction of the frictional force between the rake face and the chip is reversed in each cycle of elliptical vibration cutting. The experimental investigations show that the chatter can be suppressed effectively by adding ultrasonic elliptical vibration on the cutting tool edge. In order to make clear the reason of chatter suppression, the mechanism of chatter suppression is analyzed theoretically from the viewpoint of energy. 展开更多
关键词 ultrasonic ellipticAL vibration chatter SUPPRESSION ENERGY PRINCIPLE
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钛合金超声椭圆—低频扭转复合振动攻丝实验研究
12
作者 韩凤起 张德远 《工具技术》 北大核心 2023年第7期42-46,共5页
为提高TC4钛合金小螺纹孔的攻丝效率,通过研制双弯复合超声椭圆振动换能器并进行超声椭圆—低频扭转复合振动攻丝实验,探讨了超声椭圆振动攻丝的特点以及低频扭转振动参数对复合振动攻丝的影响。实验结果表明,与低频扭转振动攻丝相比,... 为提高TC4钛合金小螺纹孔的攻丝效率,通过研制双弯复合超声椭圆振动换能器并进行超声椭圆—低频扭转复合振动攻丝实验,探讨了超声椭圆振动攻丝的特点以及低频扭转振动参数对复合振动攻丝的影响。实验结果表明,与低频扭转振动攻丝相比,复合振动攻丝在所选参数范围内能够降低约16%的攻丝扭矩,且在保持攻丝扭矩基本不变的前提下加工效率提高约1倍;低频扭转振动的净切削量越小,回退量越大,主轴转速越低,复合振动攻丝中超声椭圆振动发挥的作用越明显。 展开更多
关键词 振动攻丝 低频扭转振动 超声椭圆振动 复合振动 攻丝扭矩
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基于超声椭圆振动辅助车削的铝合金表面微织构仿真 被引量:5
13
作者 曹腾 路冬 +2 位作者 舒嵘 彭国文 吴勇波 《陕西师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期50-57,共8页
针对需要切削成形的零件,提出了在完成零件车削的同时获取微织构表面的加工方法,即超声椭圆振动辅助车削表面微织构方法。对铝合金材料构建了反映微织构表面的理论模型,以此为依据对表面微织构进行了仿真,将仿真获得的微织构单元尺寸与... 针对需要切削成形的零件,提出了在完成零件车削的同时获取微织构表面的加工方法,即超声椭圆振动辅助车削表面微织构方法。对铝合金材料构建了反映微织构表面的理论模型,以此为依据对表面微织构进行了仿真,将仿真获得的微织构单元尺寸与实验获得的微织构单元尺寸进行比较,验证了仿真模型的正确性。分析了加工参数对微织构几何尺寸的影响,给出了微织构单元几何尺寸的具体算法以及微织构单元在工件表面的排列算法,为表面微织构几何参数的优化提供了依据。 展开更多
关键词 表面微织构 超声椭圆振动 车削 仿真 铝合金
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超声椭圆振动车削三维形貌形成研究 被引量:4
14
作者 张国华 李咚咚 +1 位作者 李茂伟 张德远 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期2002-2009,共8页
为研究椭圆振动车削表面三维几何形貌形成规律及影响因素,采用金属切削理论对椭圆振动切削过程和三维切削模型进行了分析。研究结果发现:切削过程中相邻两转之间不同的相位差特征值对最终表面形貌有着重要的影响;通过已有的试验结果表明... 为研究椭圆振动车削表面三维几何形貌形成规律及影响因素,采用金属切削理论对椭圆振动切削过程和三维切削模型进行了分析。研究结果发现:切削过程中相邻两转之间不同的相位差特征值对最终表面形貌有着重要的影响;通过已有的试验结果表明,相位差特征值分别为0和0.5时所形成的表面形貌截然不同,与理论分析结果相吻合。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 超声椭圆振动 表面形貌 精密加工
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超声椭圆振动和微量润滑耦合切削Incone1718的性能研究 被引量:3
15
作者 林靖朋 王大中 《智能计算机与应用》 2020年第3期186-188,共3页
本文利用仿真软件AdvantEdge研究了微量润滑量(MQL)和超声椭圆振动(UEV)切削对加工性能的影响,与常规切削(CT)相比,显著降低了切削力和切削温度。同时比较了UEV车削条件下不同喷嘴角度对加工性能的影响。不同的喷嘴角度会影响温度和应... 本文利用仿真软件AdvantEdge研究了微量润滑量(MQL)和超声椭圆振动(UEV)切削对加工性能的影响,与常规切削(CT)相比,显著降低了切削力和切削温度。同时比较了UEV车削条件下不同喷嘴角度对加工性能的影响。不同的喷嘴角度会影响温度和应力的变化,选择合适的喷嘴角度有利于提高工件的表面质量,提高刀具的使用寿命。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 微量润滑 喷嘴角度 车削
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光纤阵列组件超声椭圆振动辅助抛光系统设计 被引量:2
16
作者 佘亦曦 刘德福 +1 位作者 陈涛 严日明 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期804-807,共4页
针对现有化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量的要求,该文根据压电陶瓷的逆压电效应及超声振动原理,提出了一种夹心式模式转换型超声椭圆振动装置,用以提高光纤阵列组件端面的抛光质量。设计了用于光纤阵列组件超声椭圆振动辅... 针对现有化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量的要求,该文根据压电陶瓷的逆压电效应及超声振动原理,提出了一种夹心式模式转换型超声椭圆振动装置,用以提高光纤阵列组件端面的抛光质量。设计了用于光纤阵列组件超声椭圆振动辅助化学机械抛光的超声振动系统,并对所设计的系统进行了有限元分析和测试试验。试验结果表明,超声振动系统共振频率测试结果与设计结果误差小于5%,超声椭圆振动双向振幅分别为4μm和2μm。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 超声换能器 光纤阵列组件 有限元分析(FEA) 阻抗测试
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超声波椭圆振动装置设计及其振动特性控制 被引量:2
17
作者 瞿娇娇 黄帅 +1 位作者 刘新 徐文骥 《电加工与模具》 2014年第3期51-55,共5页
基于PZT-8陶瓷晶片的压电效应和超声波声学特性,设计制造了超声波换能器和变幅杆。根据椭圆轨迹形成机理,搭建了超声波椭圆振动装置,分析了两相激励电压值和相位差与椭圆形状的关系。实验与测试结果表明:超声振子的谐振频率符合设计要求... 基于PZT-8陶瓷晶片的压电效应和超声波声学特性,设计制造了超声波换能器和变幅杆。根据椭圆轨迹形成机理,搭建了超声波椭圆振动装置,分析了两相激励电压值和相位差与椭圆形状的关系。实验与测试结果表明:超声振子的谐振频率符合设计要求,单向振动轨迹为正弦谐振曲线,两振动系统运动叠加形成椭圆轨迹;根据特定加工条件调整装置激励电压和相位差,可控制椭圆振动轨迹的形状。 展开更多
关键词 超声波椭圆振动 换能器 变幅杆 振动特性
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超声椭圆振动切削轨迹倾斜角度及速比对工件表面微观形貌的影响 被引量:2
18
作者 戴晨伟 殷振 +2 位作者 赵盟月 曹自洋 李华 《工具技术》 北大核心 2021年第2期34-38,共5页
超声椭圆振动改变了切削加工的微观过程,对改善工件表面加工质量具有明显优势。在分析超声椭圆振动切削微观过程的基础上,对不同倾斜角度和切削速比下的超声椭圆振动切削轨迹进行数值仿真。结果表明,倾斜角度从0°增至90°的过... 超声椭圆振动改变了切削加工的微观过程,对改善工件表面加工质量具有明显优势。在分析超声椭圆振动切削微观过程的基础上,对不同倾斜角度和切削速比下的超声椭圆振动切削轨迹进行数值仿真。结果表明,倾斜角度从0°增至90°的过程中,工件表面振纹角度先增至45°,再逐渐减小;振纹高度从0.38μm增至1.33μm。随着切削速比的提高,相同切削时间内的切削次数减少,振纹高度迅速增加,且变化速率随倾斜角度的增大而加快。保持切削方向与椭圆轨迹长轴一致,同时采用较低的切削速比,对降低工件表面振纹高度效果显著。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 切削 倾斜角度 切削速比 微观形貌
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超声椭圆振动与微量润滑耦合切削Inconel718的性能研究 被引量:2
19
作者 杭华 林靖朋 《智能计算机与应用》 2020年第5期248-250,共3页
加工镍基合金Inconel718时,常规切削(CT)的性能往往不能满足要求。本文比较了不同条件下加工Inconel718的切削性能,目的是研究微量润滑(MQL)和超声椭圆振动切削(UEC)对加工性能的优化。结果表明,与常规切削相比,超声椭圆振动切削以及与... 加工镍基合金Inconel718时,常规切削(CT)的性能往往不能满足要求。本文比较了不同条件下加工Inconel718的切削性能,目的是研究微量润滑(MQL)和超声椭圆振动切削(UEC)对加工性能的优化。结果表明,与常规切削相比,超声椭圆振动切削以及与微量润滑耦合切削的情况下,在切削温度、切削力、切削应力三个性能上都有了明显的优化。优化的切削性能会保证更好的切削质量。 展开更多
关键词 微量润滑 超声椭圆振动 INCONEL718 切削性能
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纵弯椭圆振动辅助钻削装置的设计与优化研究 被引量:1
20
作者 王晓雪 张臣 王生才 《航空制造技术》 2020年第12期70-79,共10页
相比于其他振动形式,纵弯椭圆振动辅助钻削加工在减小深腔孔加工中的切削力和切削热以及减小刀具与孔壁之间的摩擦方面具有明显优势。目前在纵弯椭圆振动辅助钻削装置设计中,钻削刀具等附属部件的安装,使得纵弯椭圆振动辅助钻削装置的... 相比于其他振动形式,纵弯椭圆振动辅助钻削加工在减小深腔孔加工中的切削力和切削热以及减小刀具与孔壁之间的摩擦方面具有明显优势。目前在纵弯椭圆振动辅助钻削装置设计中,钻削刀具等附属部件的安装,使得纵弯椭圆振动辅助钻削装置的实际频率与设计频率存在较大差异,同时纵振和弯振无法获得同频共振模态,为此,对纵弯椭圆振动辅助钻削装置的设计与优化方法进行研究。首先根据椭圆轨迹输出要求对纵弯装置进行总体结构设计,用解析法设计超声换能器和变幅杆,建立纵弯椭圆振动辅助钻削装置初始三维模型,并基于建立的三维模型进行纵弯椭圆振动的运动学建模;其次基于纵弯谐振频率逼近目标频率的原则,用等质量法和简化法减小刀具和ER夹头螺母对谐振频率的影响,并用有限元分析软件ANSYS Workbench通过控制变量法对纵弯椭圆振动钻削装置进行优化;最后根据有限元优化结果确定结构尺寸,进行动力学特性分析,验证了提出的纵弯椭圆振动辅助钻削装置的设计与优化方法。研究表明,本方法可降低刀具等附属部件对频率的影响,实现纵弯椭圆振动辅助钻削装置的同频共振。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 谐振频率 参数优化 有限元分析 纵弯振动
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