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三腔滑片式真空泵的几何理论与性能研究
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作者 陈志凯 李雪琴 +2 位作者 李宏鑫 王君 沙润东 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期999-1004,共6页
滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合。本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式排气量可提高37%;三腔滑片式真... 滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合。本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式排气量可提高37%;三腔滑片式真空泵的抽速可达1 L/s,极限压强能够达到13 kPa。三腔滑片式真空泵的抽速更快,缩短了滑片式真空泵达到指定压强的抽气时间,很好地验证了理论模型。对于开发新产品具有重要的参考价值。 展开更多
关键词 三腔滑片式真空泵 正弦螺旋线 工作性能 排气量 研究试验
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