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电子束预辐射筛选抗辐射晶体管工艺的初步研究
1
作者 林茂清 林锡刚 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第10期625-630,共6页
介绍了用电子束预辐射损伤法研究晶体管抗β射线损伤能力的工作。研究经预辐射损伤的晶体管在不同电子束能量、束流密度及不同时间下进行退火处理后性能的恢复能力，为“预辐射损伤－辐射退火”筛选抗辐射晶体管工艺提供了一定的理论和... 介绍了用电子束预辐射损伤法研究晶体管抗β射线损伤能力的工作。研究经预辐射损伤的晶体管在不同电子束能量、束流密度及不同时间下进行退火处理后性能的恢复能力，为“预辐射损伤－辐射退火”筛选抗辐射晶体管工艺提供了一定的理论和实验依据。 展开更多
关键词 晶体管 电子束 辐射损伤 退火 抗辐射工艺
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