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基于粒子群优化的时间最优机械臂轨迹规划算法 被引量：55
1
作者 付荣 居鹤华 《信息与控制》 CSCD 北大核心 2011年第6期802-808,共7页
根据机械臂运动学约束,提出了关节空间基于粒子群优化(PSO)的时间最优3-5-3多项式插值轨迹规划算法,解决了由于多项式插值轨迹规划具有阶次高、没有凸包性质等缺点,难以应用传统优化方法进行优化的问题.粒子群算法结构简单、参数易调整... 根据机械臂运动学约束,提出了关节空间基于粒子群优化(PSO)的时间最优3-5-3多项式插值轨迹规划算法,解决了由于多项式插值轨迹规划具有阶次高、没有凸包性质等缺点,难以应用传统优化方法进行优化的问题.粒子群算法结构简单、参数易调整的特点弥补了多项式阶插值的缺点.直接在优化目标空间搜索,巧妙地避免了粒子群计算构造自变量和因变量的映射,降低了搜索维数,简化了计算.在优化过程中,采用两个适应度函数之间切换的开关控制,使各段插值尽快收敛于运动学约束内.通过与传统3-5-3多项式插值的运动位置、速度、加速度曲线对比,证明该方法运行时间更短,稳定性和流畅性更好. 展开更多
关键词 机械臂 轨迹规划 时间最优 粒子群优化 多项式插值
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工业机器人时间最优轨迹规划及轨迹控制的理论与实验研究(英文) 被引量：43
2
作者 谭冠政 王越超 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期185-192,共8页
提出了一种用于工业机器人时间最优轨迹规划及轨迹控制的新方法 ,它可以确保在关节位移、速度、加速度以及二阶加速度边界值的约束下 ,机器人手部沿笛卡尔空间中规定路径运动的时间最短 .在这种方法中 ,所规划的关节轨迹都采用二次多项... 提出了一种用于工业机器人时间最优轨迹规划及轨迹控制的新方法 ,它可以确保在关节位移、速度、加速度以及二阶加速度边界值的约束下 ,机器人手部沿笛卡尔空间中规定路径运动的时间最短 .在这种方法中 ,所规划的关节轨迹都采用二次多项式加余弦函数的形式 ,不仅可以保证各关节运动的位移、速度、加速度连续而且还可以保证各关节运动的二阶加速度连续 .采用这种方法 ,既可以提高机器人的工作效率又可以延长机器人的工作寿命 .以PUMA 5 6 0机器人为对象进行了计算机仿真和机器人实验 ,结果表明这种方法是正确和有效的 .它为工业机器人在非线性运动学约束条件下的时间最优轨迹规划及控制问题提供了一种较好的解决方案 . 展开更多
关键词 工业机器人 时间最优轨迹规划 轨迹控制 余弦函数 最优化算法 计算机仿真
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速度约束下PSO的六自由度机械臂时间最优轨迹规划 被引量：39
3
作者 李小为 胡立坤 王琥 《智能系统学报》 CSCD 北大核心 2015年第3期393-398,共6页
以六自由度机械臂的运动学正逆解为前提条件,在关节空间中根据插值点设计机器人的运动轨迹,为使机械臂在不同的速度约束下以最短时间运行,提出了粒子群优化速度约束下的时间最优3-5-3多项式插值轨迹规划方法。粒子群算法结构简单、实现... 以六自由度机械臂的运动学正逆解为前提条件,在关节空间中根据插值点设计机器人的运动轨迹,为使机械臂在不同的速度约束下以最短时间运行,提出了粒子群优化速度约束下的时间最优3-5-3多项式插值轨迹规划方法。粒子群算法结构简单、实现容易,参数易调整,直接选择以多项式插值时间为变量的搜索空间中进行PSO优化,并且对不符合速度约束条件的插值时间进行筛选。通过离化得到六自由度机械臂限速运行下的最短时间,在机器人控制平台上进行实时实验,得到关节运动位置、速度、加速度曲线,证明了该方法能够准确地实现任意速度约束的时间最优轨迹规划。 展开更多
关键词 机器人 六自由度机械臂 粒子群优化 轨迹规划 多项式插值 速度约束 时间最优
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基于伪谱法的双摆吊车时间最优消摆轨迹规划策略 被引量：21
4
作者 陈鹤 方勇纯 +1 位作者 孙宁 钱彧哲 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期153-160,共8页
在工业生产过程中,桥式吊车系统经常会体现出双摆系统的特性,导致更多欠驱动状态量的出现,增大控制难度.基于此,论文提出了一种针对双摆桥式吊车系统的时间最优轨迹规划方法,可以得到全局时间最优且具有消摆能力的轨迹.具体而言,为方便... 在工业生产过程中,桥式吊车系统经常会体现出双摆系统的特性,导致更多欠驱动状态量的出现,增大控制难度.基于此,论文提出了一种针对双摆桥式吊车系统的时间最优轨迹规划方法,可以得到全局时间最优且具有消摆能力的轨迹.具体而言,为方便地构造以时间为代价函数的优化问题,首先对系统运动学模型进行相应的变换;在此基础上,考虑包括两级摆角及台车速度和加速度上限值在内的多种约束,构造出相应的优化问题;然后,利用高斯伪谱法(Gauss-pseudospectral method,GPM)将该带约束的优化问题转化为更易于求解的非线性规划问题,且在转化过程中,可以非常方便地考虑轨迹约束.求解该非线性规划问题,即可得到时间最优的台车轨迹.不同于已有的大多数方法,该方法可获得全局时间最优的结果.最后,通过仿真与实验结果验证了这种时间最优轨迹规划方法具有满意的控制性能. 展开更多
关键词 双摆吊车系统 时间最优 轨迹规划 高斯伪谱法
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基于DE的时间最优6-DOF机械臂轨迹规划算法 被引量：21
5
作者 王学琨 李刚 +1 位作者 周东凯 杨兆阳 《计算机仿真》 CSCD 北大核心 2015年第8期332-337,共6页
针对六自由度关节型解耦机械臂在抓取目标物体过程中出现的不稳定性、快速性以及最大速度约束的问题,提出了一种差分进化算法(DE)优化的时间最优3-5-3多项式插值机械臂轨迹规划算法。以优化运行过程的最小时间为目标,兼顾最大速度约束... 针对六自由度关节型解耦机械臂在抓取目标物体过程中出现的不稳定性、快速性以及最大速度约束的问题,提出了一种差分进化算法(DE)优化的时间最优3-5-3多项式插值机械臂轨迹规划算法。以优化运行过程的最小时间为目标,兼顾最大速度约束以及运行的稳定性,利用DE的优化能力调整适合的系统参数,进行关节空间轨迹规划,并在运动学仿真的基础上证明方法的有效性。对比仿真结果表明,DE法优化的轨迹运行时间更短,运动轨迹光滑,而且满足了速度约束,优于传统方法。 展开更多
关键词 轨迹规划 机械臂 差分进化算法 时间最优
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基于改进萤火虫算法的机械臂时间最优轨迹规划 被引量：20
6
作者 郭鑫鑫 薄瑞峰 +1 位作者 贾竣臣 李瑞琴 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2021年第3期55-59,共5页
以国产某型号六轴工业机器人为研究对象,针对六轴机器人关节空间的轨迹规划问题,提出了一种基于改进萤火虫算法的时间最优3-5-3多项式插值轨迹规划算法。首先,由给定的机器人末端路径点求逆运动学得到关节空间下的路径插值点。然后,在... 以国产某型号六轴工业机器人为研究对象,针对六轴机器人关节空间的轨迹规划问题,提出了一种基于改进萤火虫算法的时间最优3-5-3多项式插值轨迹规划算法。首先,由给定的机器人末端路径点求逆运动学得到关节空间下的路径插值点。然后,在速度约束条件下,利用萤火虫算法对插值结果进行优化,使得机器人具有最优运行时间。通过与传统萤火虫算法对比,改进后算法的收敛速度和精度都有明显改善。最后,应用MATLAB软件仿真出机械臂运动位置、速度、加速度曲线,并用实体机器人验证。结果表明,该方法使得机械臂具有更短的运行时间,稳定性更高。 展开更多
关键词 六自由度机械臂 轨迹规划 萤火虫算法 时间最优 多项式插值
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基于复合形法的时间最优机械臂轨迹规划 被引量：18
7
作者 陈晗 李林升 《机械传动》 北大核心 2019年第3期72-75,94,共5页
目前,大多数机械臂在工作过程中运行时间不为最优,为了提高机械臂的工作效率,提出了一种基于复合形法的时间最优机械臂轨迹规划方法。该方法以5-7-5多项式插值法作为轨迹规划的基础,并以运动角度、运动速度以及运动加速度作为约束,采用... 目前,大多数机械臂在工作过程中运行时间不为最优,为了提高机械臂的工作效率,提出了一种基于复合形法的时间最优机械臂轨迹规划方法。该方法以5-7-5多项式插值法作为轨迹规划的基础,并以运动角度、运动速度以及运动加速度作为约束,采用复合形法进行优化,得到满足运动要求的时间最优运动轨迹。以FS20N仿真结构表明,复合形法有效地优化了时间。 展开更多
关键词 机械臂 多项式插值 轨迹规划 运动约束 复合形法 时间最优
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一种改进粒子群的工业机器人时间最优轨迹规划算法 被引量：18
8
作者 王玉宝 王诗宇 +1 位作者 李备备 郭放达 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2018年第8期1878-1881,共4页
针对工业机器人运动轨迹的时间优化问题,对工业关节型机器人的运动轨迹进行分析与研究.依据机器人运动学特征,提出一种时间最优轨迹规划的算法.对采用动态变化学习因子策略的粒子群算法进行高次多项式插值,进而完成机器人运动轨迹的拟合... 针对工业机器人运动轨迹的时间优化问题,对工业关节型机器人的运动轨迹进行分析与研究.依据机器人运动学特征,提出一种时间最优轨迹规划的算法.对采用动态变化学习因子策略的粒子群算法进行高次多项式插值,进而完成机器人运动轨迹的拟合.在保证运动轨迹时间最优的同时,优化了基本粒子群算法局部收敛的不足.最后,通过MATLAB对工业机器人关节运动轨迹进行仿真,实现了精确稳定的时间最优轨迹规划.本文提出的算法相比于其他路径规划算法更易于实现,同时还改善了粒子群算法易局部收敛的问题,能够实现工业机器人时间最优轨迹规划. 展开更多
关键词 高次多项式插值 轨迹规划 时间最优 局部收敛
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改进差分进化算法优化的机器人时间最优轨迹规划算法 被引量：14
9
作者 郭明明 刘满禄 +3 位作者 张华 王姮 霍建文 朱晓明 《自动化仪表》 CAS 2018年第1期35-39,共5页
协作型工业机器人在执行焊接、装配任务时,因关节状态无法达到最大约束而影响效率。在确保"人-机-环"安全的前提下,为最大限度地提高机器人的操作速度与响应时间,提出了一种改进差分进化(DE)算法优化的协作型机器人轨迹规划... 协作型工业机器人在执行焊接、装配任务时,因关节状态无法达到最大约束而影响效率。在确保"人-机-环"安全的前提下,为最大限度地提高机器人的操作速度与响应时间,提出了一种改进差分进化(DE)算法优化的协作型机器人轨迹规划算法。采用蒙特卡洛算法获得机器人的操作空间,并采用广义动量方法进行碰撞检测。同时,以机器人在执行任务过程中运行时间最小为目标,兼顾满足运动学约束、动力学约束和负载约束,以保证机器人在运行过程中的平稳性。利用改进DE的全局寻优能力调整运动参数,进行关节空间的轨迹规划。在UR5机器人的平台进行仿真验证,仿真结果验证了算法的有效性、可行性。 展开更多
关键词 轨迹规划 协作型工业机器人 改进差分进化算法 时间最优 碰撞检测
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基于改进PSO算法的时间最优机械臂轨迹规划 被引量：10
10
作者 李虎 刘泓滨 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第1期29-33,共5页
针对传统机械臂轨迹规划存在效率低、智能算法易早熟和运行不稳定等问题,提出了一种以时间最优为目标,采用改进粒子群算法(PSO)对6自由度机械臂轨迹进行优化的方法。首先,在关节空间下利用机械臂正逆运动学原理获取其轨迹插值点;其次,... 针对传统机械臂轨迹规划存在效率低、智能算法易早熟和运行不稳定等问题,提出了一种以时间最优为目标,采用改进粒子群算法(PSO)对6自由度机械臂轨迹进行优化的方法。首先,在关节空间下利用机械臂正逆运动学原理获取其轨迹插值点;其次,为了使机械臂能够快速平稳地到达目标位置,采用3-5-3多项式对其轨迹进行插值;最后,使用改进PSO算法对分段多项式插值构造的轨迹进行优化,实现6自由度机械臂时间最优的轨迹规划。通过MATLAB仿真实验可以得到机械臂各个关节的加速度、速度和位置的轨迹信息,在满足机械臂运动学约束的前提下,机械臂完成整段轨迹所用的时间从3 s减少到2.1 s,整体运行时间相对于PSO算法优化前缩短了近30%,由此表明改进PSO算法可以有效地实现6自由度机械臂时间最优的轨迹规划。 展开更多
关键词 机械臂 轨迹规划 多项式插值 改进粒子群算法 混沌初始化 时间最优
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机械臂关节空间轨迹的时间最优智能规划研究 被引量：11
11
作者 蔡永超 《机械设计与制造》 北大核心 2020年第3期272-276,共5页
针对机械臂关节空间轨迹的时间最优规划问题,提出了基于膜计算-粒子群算法的轨迹规划方法。建立了机械臂关节空间轨迹规划模型,使用3次样条曲线构造了轨迹基元函数。提出了膜计算-粒子群算法,通过设计处理器处理膜传递的信息,通过算法... 针对机械臂关节空间轨迹的时间最优规划问题,提出了基于膜计算-粒子群算法的轨迹规划方法。建立了机械臂关节空间轨迹规划模型,使用3次样条曲线构造了轨迹基元函数。提出了膜计算-粒子群算法,通过设计处理器处理膜传递的信息,通过算法淘汰机制、吞并机制和信息交流机制实现膜间合作,膜内根据不同算法原理各自进行速度和位置更新,最终通过膜计算将多种粒子群算法优势进行融合。经测试函数测试,相比于其他粒子群算法,膜计算-粒子群算法具有最高的搜索精度和最快的收敛速度;同时使用多作用力粒子群算法和膜计算-粒子群算法进行轨迹规划,膜计算-粒子群算法规划的机械臂耗时比另一算法减少了23.99%,充分证明了膜计算-粒子群算法在轨迹规划中的优越性。 展开更多
关键词 机械臂 关节空间轨迹 时间最优 膜计算-粒子群算法 算法淘汰机制
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基于改进粒子群算法的时间最优机械臂轨迹规划 被引量：9
12
作者 黄超 茅健 +3 位作者 马丽 向朝兴 王琛 阮大文 《上海工程技术大学学报》 CAS 2020年第3期238-246,共9页
针对机械臂关节空间轨迹规划的时间优化问题,结合机械臂运动约束,提出基于非线性动态改变惯性权重的粒子群优化(NPSO)算法.根据传统3-5-3多项式插值方法,采用改进粒子群算法寻求最短关节运动时间,研究线性递减改变惯性权重(LPSO)算法和N... 针对机械臂关节空间轨迹规划的时间优化问题,结合机械臂运动约束,提出基于非线性动态改变惯性权重的粒子群优化(NPSO)算法.根据传统3-5-3多项式插值方法,采用改进粒子群算法寻求最短关节运动时间,研究线性递减改变惯性权重(LPSO)算法和NPSO算法的性能,选用NPSO算法完成关节运动时间最优求解.研究结果显示,经时间优化后的3-5-3插值曲线连续光滑且具备更好的运动特性,整体运动时间缩短约26%,证实提出的方法具有可行性. 展开更多
关键词 粒子群优化 轨迹规划 关节空间 惯性权重 时间最优
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农田害鼠最佳防治时期的研究 被引量：8
13
作者 蒋光藻 谭向红 《西南农业大学学报（自然科学版）》 CSCD 1989年第2期143-146,共4页
春季是农田灭鼠的最佳时期,毒杀效果高达90％以上,持效期长(10个月),回升速度慢,经济效益高。采用模糊规划原理对因子进行系统分析的结果也与上述情况一致。
关键词 鼠 防治 防治时间 农田
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一种并联机器人的时间最优轨迹规划方法 被引量：8
14
作者 殷国亮 白瑞林 +1 位作者 王永佳 李新 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期192-198,共7页
为提高Delta机器人的动作速度,提出一种时间最优轨迹规划方法。分割机器人的工作区域,选择每个区域的中心点作为标准点,通过逆运动学方法将笛卡尔空间坐标转换到关节空间,采用5次B样条插值构造关节空间的运动曲线,利用分数阶粒子群算法... 为提高Delta机器人的动作速度,提出一种时间最优轨迹规划方法。分割机器人的工作区域,选择每个区域的中心点作为标准点,通过逆运动学方法将笛卡尔空间坐标转换到关节空间,采用5次B样条插值构造关节空间的运动曲线,利用分数阶粒子群算法寻找各区域标准点的B样条全局最优时间节点,规划时间最佳运动曲线。在保证关节角速度、角加速度、角加加速度平滑及约束的前提下,提高动作速度。利用模糊推理规则,在线确定计算点的最优时间节点分布。实验结果表明,该方法简单实用,以实验室Delta机器人为例,将工作区域中的物件抓取到目标位置,所用时间范围为0.543s^0.735s,克服了传统轨迹规划方法运行速度较慢的不足。 展开更多
关键词 Delta机器人 轨迹规划 时间最优 B样条 粒子群算法 模糊规则
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敏捷卫星的联合执行机构控制策略 被引量：8
15
作者 叶东 孙兆伟 王剑颖 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1108-1115,共8页
针对对地观测敏捷卫星大角度快速机动、高控制精度的任务需求,提出了联合推力器与飞轮作为执行机构的控制策略。该控制策略综合利用2种执行机构的优点:推力器以前馈的形式提供机动过程中所需的主要力矩以实现航天器大角度的快速机动,而... 针对对地观测敏捷卫星大角度快速机动、高控制精度的任务需求,提出了联合推力器与飞轮作为执行机构的控制策略。该控制策略综合利用2种执行机构的优点:推力器以前馈的形式提供机动过程中所需的主要力矩以实现航天器大角度的快速机动,而飞轮以反馈的形式提供精准的控制力矩以提高机动过程中的姿态控制精度。为补偿由于初始状态偏差和推力器输出力矩不准确所带来的控制误差,采用变结构控制设计了2种姿态跟踪控制器,使航天器能够渐进地跟踪上参考轨迹。并对姿态机动控制过程中,飞轮力矩及转速可能出现的饱和问题作了相应的修正。仿真结果表明了所提控制策略及所设计控制算法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 姿态控制 推力器 飞轮 变结构控制 时间最优 跟踪控制
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大型导弹起竖过程最优时间轨迹规划研究 被引量：8
16
作者 田桂 谢建 陈永宁 《计算机仿真》 CSCD 北大核心 2012年第1期41-44,共4页
关于导弹起竖优化控制问题,对导弹起竖过程的最优时间轨迹规划问题进行研究,提高导弹起竖过程的快速性和平稳性。由于多级液压缸换级碰撞带来的液压冲击引起系统振动,提出采用分级规划的策略。在对每一级进行轨迹规划时,为保证起竖过程... 关于导弹起竖优化控制问题,对导弹起竖过程的最优时间轨迹规划问题进行研究,提高导弹起竖过程的快速性和平稳性。由于多级液压缸换级碰撞带来的液压冲击引起系统振动,提出采用分级规划的策略。在对每一级进行轨迹规划时,为保证起竖过程的平稳性,在综合考虑装备实际中的液压系统压力、流量及导弹横向过载约束的基础上,根据五次多项式和非对称组合正弦函数的两种最优时间轨迹规划方法,建立了相应的最优时间轨迹规划模型进行求解。对含二级液压缸的大型导弹起竖过程最优时间轨迹规划仿真算例验证了改进的分级规划策略和最优时间轨迹规划方法的有效性。 展开更多
关键词 多级油缸 起竖过程 最优时间 轨迹规划
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时间最优的无人机巡检避障路径规划 被引量：4
17
作者 田小壮 李松 +4 位作者 付国萍 谭启昀 单德帅 王伟光 王祝 《计算机与现代化》 2023年第3期43-47,共5页
无人机执行实际任务时,完成时间是衡量任务效能的重要指标,而路径规划方法一般以路径长度最小为目标,难以准确直接地反应完成任务时间。对此,在构建路径时间代价的近似计算方法基础上,本文提出一种最小化任务时间的无人机避障路径规划... 无人机执行实际任务时,完成时间是衡量任务效能的重要指标,而路径规划方法一般以路径长度最小为目标,难以准确直接地反应完成任务时间。对此,在构建路径时间代价的近似计算方法基础上,本文提出一种最小化任务时间的无人机避障路径规划算法。通过路径跟踪特性试验,获取不同机动方式下的飞行时间,作为路径搜索过程中的代价计算依据。设计节点扩展方式和代价函数计算方法,提出一种改进A*搜索算法以实现障碍规避和路径时间优化。通过随机场景下的仿真试验对所提方法的有效性和性能优势进行验证。最后以变电站巡检为例,验证改进算法能够引导无人机以更短的时间完成避障巡检。 展开更多
关键词 路径规划 无人机 时间最优 障碍规避 A*搜索
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粒子群算法在机械手臂B样条曲线轨迹规划中的应用 被引量：7
18
作者 郭彤颖 刘雍 +1 位作者 王海忱 李峰 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2019年第6期71-73,77,共4页
为了提高机械手臂的运行效率,使机械手臂运行轨迹平滑连续,增强机械手臂的实用性,在以时间最优为目的情况下提出了一种运用粒子群算法以B样条曲线对机械手臂进行轨迹规划,对各段样条曲线时间间隔进行优化,考虑速度、加速度及其变化率三... 为了提高机械手臂的运行效率,使机械手臂运行轨迹平滑连续,增强机械手臂的实用性,在以时间最优为目的情况下提出了一种运用粒子群算法以B样条曲线对机械手臂进行轨迹规划,对各段样条曲线时间间隔进行优化,考虑速度、加速度及其变化率三个约束条件。仿真研究表明,采用粒子群算法优化B样条曲线产生的轨迹,能够缩短各段曲线的时间间隔,提高机械手臂的运行效率。 展开更多
关键词 时间最优 轨迹规划 粒子群算法 B样条曲线
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基于凸优化的举高消防车时间最优轨迹规划 被引量：7
19
作者 滕儒民 李玉鑫 +1 位作者 王欣 赵哲 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期138-144,共7页
为提高举高消防车作业的及时性、可靠性与安全性,提出一种考虑动作平稳、无冲击的时间最优轨迹规划算法。引入伪位移参量s表示路径,利用B样条曲线对举高消防车臂架系统各个关节运动离散点进行拟合,构造连续运动几何路径。结合连续路径,... 为提高举高消防车作业的及时性、可靠性与安全性,提出一种考虑动作平稳、无冲击的时间最优轨迹规划算法。引入伪位移参量s表示路径,利用B样条曲线对举高消防车臂架系统各个关节运动离散点进行拟合,构造连续运动几何路径。结合连续路径,以s及其对于时间的各阶导数表示时间最优目标函数与各个关节速度、加速度约束,建立时间最优轨迹规划的凸优化模型。利用B样条曲线以有限维矢量x表示轨迹,采用内点法对凸优化模型进行求解,在保证速度、加速度、加加速度连续的条件下求得最优解,进而得到各个关节的运动轨迹。利用提出的方法对大高度举高消防车进行轨迹规划,经仿真表明,在满足动作平稳性的同时得到时间最优运动轨迹。 展开更多
关键词 举高消防车 轨迹规划 时间最优 凸优化 B样条曲线
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精密硅片台步进扫描运动的5阶S曲线规划 被引量：5
20
作者 武志鹏 陈兴林 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期99-104,共6页
为降低硅片台在曝光扫描过程中的加减速时间以及提高扫描速度的平稳性,设计了5阶对称S曲线。设定加速度三阶导数为恒定值,通过向上积分的方法确定了5阶S曲线的位置和速度表达式。以时间最优和冲击最小设计优化指标,对步进过程的5阶轨迹... 为降低硅片台在曝光扫描过程中的加减速时间以及提高扫描速度的平稳性,设计了5阶对称S曲线。设定加速度三阶导数为恒定值,通过向上积分的方法确定了5阶S曲线的位置和速度表达式。以时间最优和冲击最小设计优化指标,对步进过程的5阶轨迹进行优化,设计了改进5阶S曲线。仿真结果表明,5阶S曲线可以使硅片台在短时间内加速到扫描速度,并且可以快速稳定。改进5阶S曲线大幅度缩短步进时间,硅片台步进曲线平滑无突变。 展开更多
关键词 步进扫描 S曲线 时间最优 硅片台
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