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硅基图案化TiO_2表面微结构的制备和表征 被引量：4
1
作者 管飞 陈淼 +2 位作者 张瑞 梁山 薛群基 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期599-602,共4页
结合微接触印刷术和TiO2沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜,并利用XPS,SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征.该硅基图案化TiO2微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.
关键词 微图案 微接触印刷术 tio2微结构
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