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常压射频等离子体沉积TiO_2纳米晶颗粒薄膜的气相反应影响因素分析
被引量：
1
1
作者
戴林君
徐雨
+5 位作者
SIDDIG Eshraga.A.A.
王德信
李雪
吴茂水
石建军
张菁
《东华大学学报（自然科学版）》
CSCD
北大核心
2017年第5期752-758,共7页
采用常压射频等离子体增强化学气相沉积法(AP-PECVD)制备了TiO_2纳米晶颗粒薄膜,研究了不同等离子体滞留时间下气相反应对沉积过程的影响.采用发射光谱(OES)测量拟合了等离子体的电子温度Te约为32 492.6K、离子温度Ti约为850K,采用热电...
采用常压射频等离子体增强化学气相沉积法(AP-PECVD)制备了TiO_2纳米晶颗粒薄膜,研究了不同等离子体滞留时间下气相反应对沉积过程的影响.采用发射光谱(OES)测量拟合了等离子体的电子温度Te约为32 492.6K、离子温度Ti约为850K,采用热电偶(TC)在线测量等离子体外电极温度T约为662K;由于沉积所获样品为TiO_2锐铁矿晶型,认为等离子体气相温度为662~850K,主要受功率密度的影响.外加电压和电流的研究结果表明,放电形式为等离子体容性耦合辉光放电.采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼(Raman)等测量了沉积薄膜的形貌和结构,分析后发现:当反应气体在等离子体相滞留时间仅为27ns时,沉积的薄膜就开始出现明显的锐钛矿相TiO_2结晶结构,并均为粒径10nm左右的纳米颗粒组成的薄膜;同时随着滞留时间的增加,结晶度增加,薄膜的形貌由分离的纳米团簇变为由锐钛矿纳米颗粒连接的多孔均匀薄膜.研究结果对快速制备多孔锐钛矿TiO_2纳米晶颗粒薄膜有重要的指导意义.
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关键词
tio
2
纳米晶颗粒薄膜
射频放电
等离子体气相反应
结晶结构和形貌
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职称材料
TiO_2纳米晶薄膜的制备及其体外细胞毒性的实验研究
被引量：
1
2
作者
俞菲
王海花
+3 位作者
陈炜
张锴
谢东
冷永祥
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A02期181-184,共4页
分别采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术和直流磁控溅射(DCMS)技术在单晶硅基片上制备出两种晶粒尺寸的TiO_2纳米晶薄膜;采用ISO10993-5:1999标准中的浸提液法对TiO_2薄膜的体外细胞毒性进行评价和研究。实验结果表明,在TiO_2纳米晶薄...
分别采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术和直流磁控溅射(DCMS)技术在单晶硅基片上制备出两种晶粒尺寸的TiO_2纳米晶薄膜;采用ISO10993-5:1999标准中的浸提液法对TiO_2薄膜的体外细胞毒性进行评价和研究。实验结果表明,在TiO_2纳米晶薄膜浸提液中细胞生长相对增殖率(RGR)为93%~96%,细胞毒性评级为1级,TiO_2纳米晶薄膜作为生物医学材料满足临床应用的要求;对两种晶粒尺寸的薄膜进行体外细胞毒性的评级,结果无差异。
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关键词
tio
2
纳米晶薄膜
晶粒尺寸
体外细胞毒性
磁控溅射
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职称材料
题名
常压射频等离子体沉积TiO_2纳米晶颗粒薄膜的气相反应影响因素分析
被引量：
1
1
作者
戴林君
徐雨
SIDDIG Eshraga.A.A.
王德信
李雪
吴茂水
石建军
张菁
机构
东华大学理学院
东华大学材料科学与工程学院
出处
《东华大学学报（自然科学版）》
CSCD
北大核心
2017年第5期752-758,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(10775031
10835004)
文摘
采用常压射频等离子体增强化学气相沉积法(AP-PECVD)制备了TiO_2纳米晶颗粒薄膜,研究了不同等离子体滞留时间下气相反应对沉积过程的影响.采用发射光谱(OES)测量拟合了等离子体的电子温度Te约为32 492.6K、离子温度Ti约为850K,采用热电偶(TC)在线测量等离子体外电极温度T约为662K;由于沉积所获样品为TiO_2锐铁矿晶型,认为等离子体气相温度为662~850K,主要受功率密度的影响.外加电压和电流的研究结果表明,放电形式为等离子体容性耦合辉光放电.采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼(Raman)等测量了沉积薄膜的形貌和结构,分析后发现:当反应气体在等离子体相滞留时间仅为27ns时,沉积的薄膜就开始出现明显的锐钛矿相TiO_2结晶结构,并均为粒径10nm左右的纳米颗粒组成的薄膜;同时随着滞留时间的增加,结晶度增加,薄膜的形貌由分离的纳米团簇变为由锐钛矿纳米颗粒连接的多孔均匀薄膜.研究结果对快速制备多孔锐钛矿TiO_2纳米晶颗粒薄膜有重要的指导意义.
关键词
tio
2
纳米晶颗粒薄膜
射频放电
等离子体气相反应
结晶结构和形貌
Keywords
tio
2
nanocrystalline
thin
films
radio
frequency
discharge
plasma
gas
reac
tio
n
crystalline
structure
and
morphology
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
TiO_2纳米晶薄膜的制备及其体外细胞毒性的实验研究
被引量：
1
2
作者
俞菲
王海花
陈炜
张锴
谢东
冷永祥
机构
西南交通大学物理科学与技术学院材料先进技术教育部重点实验室
西南交通大学材料科学与工程学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A02期181-184,共4页
基金
国家自然科学基金(81171462)
文摘
分别采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术和直流磁控溅射(DCMS)技术在单晶硅基片上制备出两种晶粒尺寸的TiO_2纳米晶薄膜;采用ISO10993-5:1999标准中的浸提液法对TiO_2薄膜的体外细胞毒性进行评价和研究。实验结果表明,在TiO_2纳米晶薄膜浸提液中细胞生长相对增殖率(RGR)为93%~96%,细胞毒性评级为1级,TiO_2纳米晶薄膜作为生物医学材料满足临床应用的要求;对两种晶粒尺寸的薄膜进行体外细胞毒性的评级,结果无差异。
关键词
tio
2
纳米晶薄膜
晶粒尺寸
体外细胞毒性
磁控溅射
Keywords
tio
2
nanocrystalline
thin
films
grain
size
in
vitro
cytotoxicity
magnetron
sputtering
分类号
TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
常压射频等离子体沉积TiO_2纳米晶颗粒薄膜的气相反应影响因素分析
戴林君
徐雨
SIDDIG Eshraga.A.A.
王德信
李雪
吴茂水
石建军
张菁
《东华大学学报（自然科学版）》
CSCD
北大核心
2017
1
下载PDF
职称材料
2
TiO_2纳米晶薄膜的制备及其体外细胞毒性的实验研究
俞菲
王海花
陈炜
张锴
谢东
冷永祥
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
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