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强流脉冲离子束辐照对电弧离子镀TiNbN硬质薄膜摩擦磨损性能的影响 被引量：1
1
作者 陈军 林莉 +2 位作者 林国强 郝胜智 王富岗 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1003-1006,共4页
利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜,利用TEMP-6型强流脉冲离子束(HIPIB)设备,采用含C/H离子、加速电压300 kV、脉冲宽度70 ns、束流密度60 A/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理,研究辐照前后... 利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜,利用TEMP-6型强流脉冲离子束(HIPIB)设备,采用含C/H离子、加速电压300 kV、脉冲宽度70 ns、束流密度60 A/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理,研究辐照前后膜层的摩擦磨损性能的变化。实验结果表明:HIPIB辐照以后,薄膜的表面熔化,摩擦系数降低,晶粒细化,膜层的硬度由HK3444提高到HK3820,膜基结合力由59N提高到65 N。在测试载荷300 N和600 N条件下,薄膜的摩擦磨损性能均有较大改善。 展开更多
关键词 tinbn硬质薄膜 强流脉冲离子束 膜基结合力 摩擦磨损
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