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TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜膜基结合力测定与分析 被引量：4
1
作者 张帅拓 丁龙先 +1 位作者 张钧 张盼盼 《真空》 CAS 2015年第3期18-20,共3页
使用划痕仪对多弧离子镀制备的TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜进行了划痕实验,结合金相显微镜观察分析划痕表面形貌,综合判定了该复合薄膜的膜基结合力。结果表明,该薄膜的失效形式为周边剥落;单一的声信号曲线不能准确判定薄膜失效的临界载... 使用划痕仪对多弧离子镀制备的TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜进行了划痕实验,结合金相显微镜观察分析划痕表面形貌,综合判定了该复合薄膜的膜基结合力。结果表明,该薄膜的失效形式为周边剥落;单一的声信号曲线不能准确判定薄膜失效的临界载荷,需要声信号曲线与划痕形貌的综合判定。 展开更多
关键词 划痕实验 tin/ticrn/ticraln 复合薄膜 膜基结合力 表面形貌
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