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关于(Ti,Cr)N膜摩擦学性能的研究 被引量：2
1
作者 钟利 沈丽如 +3 位作者 陈美艳 刘彤 但敏 金凡亚 《真空》 CAS 2020年第2期27-32,共6页
为了研究多弧离子镀技术中所用靶材与薄膜成分比例的关系,并对比不同成分比例的(Ti,Cr)N膜的摩擦学性能,设计制备了纯Ti靶、纯Cr靶及钛铬比分别为9:1、4:1和1:1的钛铬合金靶共5种靶材进行镀膜试验。利用扫描电子显微镜观察薄膜微观形貌... 为了研究多弧离子镀技术中所用靶材与薄膜成分比例的关系,并对比不同成分比例的(Ti,Cr)N膜的摩擦学性能,设计制备了纯Ti靶、纯Cr靶及钛铬比分别为9:1、4:1和1:1的钛铬合金靶共5种靶材进行镀膜试验。利用扫描电子显微镜观察薄膜微观形貌,利用X射线能谱分析仪对微区成分进行定性和半定量分析,利用X射线衍射分析薄膜结构,通过摩擦磨损试验测试薄膜的耐磨性,最终以磨痕宽度、磨痕深度和磨痕长度来计算磨损体积,以磨损体积表征不同膜的耐磨性能。测试结果表明,合金靶制备的薄膜中成分比例并不与靶材中的成分配比一致,但均具有TiCrN(200)择优取向。纯靶制备的薄膜表面最为细腻,TiCrN膜的粗糙度随Cr含量的提高而降低。TiCrN膜的硬度和耐磨性明显优于纯靶制备的薄膜,在靶材配比Ti:Cr=4:1时制备的Ti0.3Cr0.23N薄膜硬度最高(HV0.053274.9)、耐磨性能最好。以合金靶制备复合薄膜时,薄膜中的成分比例受单一金属离化率的影响较大,受靶材中金属配比的影响较小;在薄膜中添加硬质元素可以改善膜的质量、提高耐磨性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀技术 合金靶材 ticrn复合薄膜 耐磨性能
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15-5PH不锈钢表面沉积TiCrN薄膜的耐环境腐蚀性能研究 被引量：1
2
作者 党文伟 李晓升 赵金龙 《材料保护》 CAS CSCD 2022年第4期20-24,共5页
为了进一步解决飞行器金属结构材料面临的环境腐蚀问题,采用多弧离子镀技术在15-5PH不锈钢表面沉积TiCrN薄膜,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对样品的物相组成和腐蚀形貌进行表征,利用中性盐雾、酸性盐雾、海洋大气环境暴... 为了进一步解决飞行器金属结构材料面临的环境腐蚀问题,采用多弧离子镀技术在15-5PH不锈钢表面沉积TiCrN薄膜,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对样品的物相组成和腐蚀形貌进行表征,利用中性盐雾、酸性盐雾、海洋大气环境暴晒和温湿度环境试验对TiCrN薄膜的耐环境腐蚀性能进行研究。结果表明:15-5PH试样经中性盐雾、酸性干湿盐雾、海洋大气暴露环境腐蚀后,膜层的腐蚀形式为点状腐蚀,基体的腐蚀形式为均匀腐蚀。相比中性盐雾和海洋大气暴露环境,酸性盐雾试验中氢离子与氯离子具有显著的协同效应,从而对TiCrN薄膜表现出更强的腐蚀性。温湿度环境试验考核后,TiCrN膜层表面平整光滑,无裂纹、孔洞、凸起等缺陷。15-5PH不锈钢表面沉积TiCrN薄膜具有一定的耐环境腐蚀能力,满足相关标准规定的温湿度环境试验要求。 展开更多
关键词 15-5PH ticrn薄膜 环境条件 耐腐蚀性
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多弧离子镀沉积TiCrN薄膜在中性盐雾环境下的腐蚀行为 被引量：1
3
作者 党文伟 赵金龙 李晓升 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2022年第11期64-68,共5页
采用多弧离子镀技术,分别在15-5PH不锈钢和65Mn弹簧钢基体表面沉积制备TiCrN薄膜,通过物相组成分析、宏微观腐蚀形貌观察及腐蚀产物分析等方法研究了TiCrN薄膜在5 wt.%NaCl中性盐雾环境下的腐蚀行为。结果表明:TiCrN薄膜主要由TiN相、Cr... 采用多弧离子镀技术,分别在15-5PH不锈钢和65Mn弹簧钢基体表面沉积制备TiCrN薄膜,通过物相组成分析、宏微观腐蚀形貌观察及腐蚀产物分析等方法研究了TiCrN薄膜在5 wt.%NaCl中性盐雾环境下的腐蚀行为。结果表明:TiCrN薄膜主要由TiN相、Cr_(2)N相、TiCrN相、Ti相4种物相组成。15-5PH不锈钢和65Mn弹簧钢试样经中性盐雾试验后,薄膜的腐蚀形式主要为点状腐蚀,基体的腐蚀形式主要为均匀腐蚀。相对于金属基体,TiCrN薄膜中Ti、Cr元素的添加能够抑制TiN柱状晶的长大,使膜层整体结构致密,表面缺陷数量减少,基体耐腐蚀性能得到大幅提升。 展开更多
关键词 多弧离子镀 ticrn薄膜 中性盐雾 腐蚀行为
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多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究 被引量：5
4
作者 蒙志林 赵广彬 +2 位作者 葛高峰 谭刚 廖凤娟 《真空》 CAS 2013年第3期66-69,共4页
采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜。利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结... 采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜。利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TIN ticrn CRN 多元多层复合膜
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TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜膜基结合力测定与分析 被引量：4
5
作者 张帅拓 丁龙先 +1 位作者 张钧 张盼盼 《真空》 CAS 2015年第3期18-20,共3页
使用划痕仪对多弧离子镀制备的TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜进行了划痕实验,结合金相显微镜观察分析划痕表面形貌,综合判定了该复合薄膜的膜基结合力。结果表明,该薄膜的失效形式为周边剥落;单一的声信号曲线不能准确判定薄膜失效的临界载... 使用划痕仪对多弧离子镀制备的TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜进行了划痕实验,结合金相显微镜观察分析划痕表面形貌,综合判定了该复合薄膜的膜基结合力。结果表明,该薄膜的失效形式为周边剥落;单一的声信号曲线不能准确判定薄膜失效的临界载荷,需要声信号曲线与划痕形貌的综合判定。 展开更多
关键词 划痕实验 TiN/ticrn/TiCrAlN 复合薄膜 膜基结合力 表面形貌
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