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等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的耐冲蚀耐腐蚀性能
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作者 李灿民 张心凤 魏荣华 《真空》 CAS 2023年第5期37-41,共5页
使用等离子增强磁控溅射(PEMS)技术在H13热作模具钢表面制备了TiCrSiCN和TiCrSiCON两种纳米复合涂层。通过Rc压痕法、纳米压痕法、微型喷砂装置和恒电位仪分别测定了涂层与基体的结合力及其韧性、耐冲蚀和耐腐蚀性能,讨论了氧元素的加... 使用等离子增强磁控溅射(PEMS)技术在H13热作模具钢表面制备了TiCrSiCN和TiCrSiCON两种纳米复合涂层。通过Rc压痕法、纳米压痕法、微型喷砂装置和恒电位仪分别测定了涂层与基体的结合力及其韧性、耐冲蚀和耐腐蚀性能,讨论了氧元素的加入对涂层性能的影响。结果表明:TiCrSiCN和TiCrSiCON纳米复合涂层均与基体结合良好;TiCr基纳米复合涂层耐冲蚀磨损性能是H13钢的4~5倍,TiCrSiCON具有比TiCrSiCN更好的耐冲蚀性能;TiCrSiCN、TiCrSiCON、H13钢的极化电阻依次降低;氧元素有利于提高TiCr基涂层与基体的结合力,但会降低涂层的韧性和耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 等离子增强磁控溅射 ticr基纳米复合涂层 结合力 韧性 耐冲蚀磨损 耐腐蚀
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