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阴极弧离子镀AlCrN涂层原子力显微镜分析
被引量：
1
1
作者
付贵忠
孔德军
+1 位作者
张垒
叶存冬
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期477-482,共6页
利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析。结果表明,表面粗糙度均...
利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析。结果表明,表面粗糙度均方根偏差TiC基体为85.8 nm,AlCrN涂层为175 nm,AlCrN涂层与TiC基体表面相对平整,阴极离子镀对表面粗糙度影响较小;AlCrN涂层表面高度值相对分散,支承系数大;AlCrN涂层平均颗粒直径1432 nm,而TiC基体为1460 nm,根据Hall-Petch关系,AlCrN涂层的显微硬度远远高于TiC基体的显微硬度;AlCrN涂层和TiC基体功率谱分布无规律,材料表面均表现为各向异性。
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关键词
tic
基金属陶瓷刀具
AlCrN涂层
原子力显微镜
三维表面微观形貌
功率谱密度
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职称材料
题名
阴极弧离子镀AlCrN涂层原子力显微镜分析
被引量：
1
1
作者
付贵忠
孔德军
张垒
叶存冬
机构
常州大学机械工程学院
江苏省大型重载齿轮传动工程技术研究中心
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期477-482,共6页
基金
江苏省科技支撑计划(工业)(No.BE2012066)
江苏省科技基础设施建设计划项目(BM2012337)
文摘
利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析。结果表明,表面粗糙度均方根偏差TiC基体为85.8 nm,AlCrN涂层为175 nm,AlCrN涂层与TiC基体表面相对平整,阴极离子镀对表面粗糙度影响较小;AlCrN涂层表面高度值相对分散,支承系数大;AlCrN涂层平均颗粒直径1432 nm,而TiC基体为1460 nm,根据Hall-Petch关系,AlCrN涂层的显微硬度远远高于TiC基体的显微硬度;AlCrN涂层和TiC基体功率谱分布无规律,材料表面均表现为各向异性。
关键词
tic
基金属陶瓷刀具
AlCrN涂层
原子力显微镜
三维表面微观形貌
功率谱密度
Keywords
tic
based
cermet
cutting tool
AlCrN
coating
Atomic
force
microscope
3D
surface
micro-topography
Power
spectral
density
分类号
O462.5 [理学—电子物理学]
U177.2 [理学—物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
阴极弧离子镀AlCrN涂层原子力显微镜分析
付贵忠
孔德军
张垒
叶存冬
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
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职称材料
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