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题名偏压对TiBN纳米复合涂层结构及力学性能的影响
被引量：1
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作者
刘怡飞
李助军
李兆南
蔡海鉴
田灿鑫
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机构
广州铁路职业技术学院
岭南师范学院
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出处
《装备制造技术》
2019年第5期61-63,92,共4页
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基金
广州市属高校产学研基地(14CXY09)
轨道交通装备减摩抗磨及修复应用技术协同创新中心项目
+2 种基金
广州市高校创新创业教育项目(2017244210)
2017年广州市高校创新创业教育平台项目:面向轨道交通产业的大学生“三创”人才孵化基地建设(2017241201)
广州铁路职业技术学院校级项目:CrN基复合涂层制备及其在发动机核心部件上的应用
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文摘
采用多弧离子镀技术,在单晶硅和硬质合金衬底上制备Ti-B-N涂层,使用XRD,SEM,硬度计和划痕仪系统研究了偏压对TiBN涂层结构、表面形貌、硬度和附着力的影响。在不同的基体偏压下,涂层表现了(111)面择优生长。-100V偏压时沉积的TiBN涂层表面最平滑。随着基体偏压升高,TiBN涂层硬度逐渐增大,膜基结合力逐渐减小。-200V制备的TiBN涂层硬度最大3600HV,-50V制备的TiBN涂层膜基结合力接近40N。
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关键词
多弧离子镀
tibn纳米复合层
硬度
附着力
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Keywords
multi-arc ion plating
tibn nanocomposite layer
hardness
adhesion
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分类号
TG178
[金属学及工艺—金属表面处理]
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