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多弧离子镀TiAlN薄膜的制备及其抗氧化性能 被引量:21
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作者 梁启超 王天国 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期1-4,共4页
目前,关于氮氩比对TiAlN薄膜高温抗氧化性能影响的研究较少。采用多弧离子镀技术在M2高速钢上沉积TiAlN薄膜,利用SEM、XRD等方法研究氮氩流量比对薄膜组织结构、表面形貌和抗氧化性的影响。结果表明:TiAlN薄膜呈δ-TiN面心立方晶体结构... 目前,关于氮氩比对TiAlN薄膜高温抗氧化性能影响的研究较少。采用多弧离子镀技术在M2高速钢上沉积TiAlN薄膜,利用SEM、XRD等方法研究氮氩流量比对薄膜组织结构、表面形貌和抗氧化性的影响。结果表明:TiAlN薄膜呈δ-TiN面心立方晶体结构;随着氮氩流量比的提高,薄膜表面熔滴数量显著下降,膜层表面更加平整光滑,相结构的择优取向发生改变,硬度先增大后趋于稳定,表面氧化物含量逐渐下降;当氮氩流量比为9∶1时,所得TiAlN薄膜在800℃氧化温度下,其表面会生成一层致密的Al_2O_3保护膜,有效阻止了薄膜被进一步氧化,具有良好的抗氧化性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 tiaLn薄膜 氮氩流量比 M2高速钢 组织结构 抗氧化性能
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划痕法测定TiAlN涂层结合强度的研究 被引量:18
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作者 黄珂 杨伏良 +2 位作者 陈力学 马凯 郭磊 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期107-111,共5页
采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了TiAlN涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度。分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得TiAlN涂层的结合强度达到HF3。划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测... 采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了TiAlN涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度。分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得TiAlN涂层的结合强度达到HF3。划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测定结合强度,该法测得在压头曲率半径为200μm的情况下,TiAlN涂层的临界载荷达到13 N,比传统TiN涂层提高了45%。 展开更多
关键词 磁控溅射 tiaLn涂层 结合强度
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H13钢-TiAlN渗/镀复合层承载能力研究 被引量:9
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作者 张民权 刘海彬 +2 位作者 杨灵华 鲍明东 刘小萍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期943-949,共7页
在H13钢离子氮化基体上沉积TiAlN镀层,在其表面形成渗镀复合层,研究渗氮基体不同表面预处理对渗/镀复合层微观形貌及承载能力的影响。用压痕和划痕试验综合检测膜基体系的承载能力,用扫描电镜和光学显微镜观测渗镀层厚度、表面和截面形... 在H13钢离子氮化基体上沉积TiAlN镀层,在其表面形成渗镀复合层,研究渗氮基体不同表面预处理对渗/镀复合层微观形貌及承载能力的影响。用压痕和划痕试验综合检测膜基体系的承载能力,用扫描电镜和光学显微镜观测渗镀层厚度、表面和截面形貌。结果表明:H13钢渗氮处理后的表面抛光预处理有助于之后镀膜生长的镀层结构致密,渗氮引起的表面疏松层使得镀层的表面缺陷增多、晶柱露头尺寸不均匀。H13钢渗氮表层形成的高硬度和平缓的硬度梯度,能有效地抑制压入承载时镀层的开裂剥落失效。渗氮基体表面未经抛光去除疏松层预处理的试样,划擦时镀层易产生剥落失效,抗划擦能力下降。 展开更多
关键词 H13钢 离子渗氮 tialn镀层 承载能力
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TiAlN涂层材料的制备及性能研究 被引量:6
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作者 李同涛 贾碧 +2 位作者 况敏 郭纯维 温慧敏 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2011年第1期533-535,共3页
采用独立靶材在YG6硬质合金上以电弧离子镀工艺制备了TiAlN涂层,研究了钛靶弧流对涂层的微观形貌、成分和性能的影响,对TiAlN涂层的膜基结合强度及高温抗氧化性能进行了测试分析,并将TiAlN涂层的YG6硬质合金刀具与未涂层的YG6硬质合金... 采用独立靶材在YG6硬质合金上以电弧离子镀工艺制备了TiAlN涂层,研究了钛靶弧流对涂层的微观形貌、成分和性能的影响,对TiAlN涂层的膜基结合强度及高温抗氧化性能进行了测试分析,并将TiAlN涂层的YG6硬质合金刀具与未涂层的YG6硬质合金刀具对T12工模具钢(50HRC)进行对比切削试验。结果表明:钛靶弧流为60~70A时,涂层具有较理想的表面结构,膜基结合力较好,可达44N;钛靶电流对涂层中N含量的影响不大,对Al及Ti含量有较明显的影响。在干式切削条件下,TiAlN涂层刀具的使用寿命是未涂层刀具的3倍。 展开更多
关键词 tia1n涂层 电弧离子镀 微观结构 膜基结合力 高温氧化性 切削性能
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TiAlN,CrAlN和TiCrN涂层的制备及摩擦学性能研究 被引量:5
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作者 吴志威 史洪斌 +1 位作者 吴泽本 周飞 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期12-17,共6页
运用直流和射频磁控共溅射的方法制备TiAlN、CrAlN和TiCrN3种涂层,研究涂层的力学性能及在空气和水基切削液中的摩擦学性能,揭示其磨损机制。研究发现,Al元素主要以固溶体形式存在于TiAlN和CrAlN涂层内;3种涂层的显微硬度分别为HV719.3... 运用直流和射频磁控共溅射的方法制备TiAlN、CrAlN和TiCrN3种涂层,研究涂层的力学性能及在空气和水基切削液中的摩擦学性能,揭示其磨损机制。研究发现,Al元素主要以固溶体形式存在于TiAlN和CrAlN涂层内;3种涂层的显微硬度分别为HV719.3、HV1022.5和HV973.5。在空气中TiAlN、CrAlN和TiCrN涂层与SUS440C钢球对摩的稳态摩擦因数分别为1.25、1.14和1.31,TiAlN和CrAlN涂层的磨损机制主要是氧化磨损,而CrTiN涂层以磨粒磨损为主;而在水基切削液中3种涂层与SUS440C钢球对摩的摩擦因数明显降低,其对应的稳态摩擦因数分别为0.44、0.47和0.77,但磨痕上的划痕加剧,其磨损机制以磨粒磨损为主。 展开更多
关键词 tiaLn涂层 CrAln涂层 TiCrn涂层 摩擦特性
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硬质合金基体微织构对TiAlN涂层摩擦性能的影响 被引量:4
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作者 冯爱新 何叶 +6 位作者 杨润 薛伟 曹宇鹏 李峰平 田良 谢华锟 陈云 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期161-166,共6页
采用光纤激光在硬质合金表面进行了激光微织构工艺(不同微凹坑直径、深度及织构密度),利用PVD法对微织构后的硬质合金表面进行TiAlN涂层沉积。在不同速度下(0.02m/s和0.04m/s)进行了摩擦磨损实验,对比分析了不同织构的摩擦系数,利用扫... 采用光纤激光在硬质合金表面进行了激光微织构工艺(不同微凹坑直径、深度及织构密度),利用PVD法对微织构后的硬质合金表面进行TiAlN涂层沉积。在不同速度下(0.02m/s和0.04m/s)进行了摩擦磨损实验,对比分析了不同织构的摩擦系数,利用扫描电镜研究了表面磨损形貌,电子天平测量磨损量,并进行了磨损机理分析。结果表明,基体微织构后涂层表面的摩擦系数比基体无织构的摩擦系数稳定,微织构直径对基体涂层的摩擦磨损性能影响较大。基体微织构后的涂层具有较好的减摩效果。 展开更多
关键词 硬质合金 激光微织构 tiaLn涂层 摩擦学性能
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Influence of a TiAlN Coating on the Mechanical Properties of a Heat Resistant Steel at Room Temperature and 650℃ 被引量:2
7
作者 张程煜 CAO Huawei +2 位作者 HAN Dong QIAO Shengru 郭永 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2013年第5期1029-1033,共5页
A TiA1N coating was deposited on a heat resistant steel X12CrMoWVNbN10-1-1 by vacuum arc ion plating. The tensile and fatigue properties of the coated steel were investigated at room temperature (RT) and 650 ℃. The... A TiA1N coating was deposited on a heat resistant steel X12CrMoWVNbN10-1-1 by vacuum arc ion plating. The tensile and fatigue properties of the coated steel were investigated at room temperature (RT) and 650 ℃. The results reveal that the TiA1N coating is compact, on which a small number of large particle and pits are present. The Ti/Al atomic ratio in the coating is about 0.94. The average hardness of the coating is 1 868 HV0.1 and the interface bonding force between TiAIN coating and the substrate is about 3 l N. The elastic modulus and the strength of the steel are improved by the deposition of TiAIN coating. The influence of the TiA1N coating on the tensile properties of the steel can be ignored at both RT and 650 ℃. Moreover, there is no obvious decrease of the fatigue limit of substrate when the steel is coated by the coating at the investigated temperature. 展开更多
关键词 tia1n coating TEnSILE FATIGUE vacuum arc ion plating
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Si、Cr的加入对TiAlN涂层热稳定性能的影响 被引量:3
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作者 朱丽慧 胡涛 +3 位作者 宋诚 孟吉炜 刘振宇 刘一雄 《硬质合金》 CAS 2015年第6期359-363,共5页
采用阴极电弧蒸镀在WC-Co硬质合金基体上沉积Ti_(0.45)Al_(0.55N)、Ti_(0.35)Al_(0.55)Si_(0.1)N和Ti_(0.3)Al_(0.55)Cr_(0.15)N涂层,并在900℃下对涂层试样真空退火30 min和120 min。采用X射线衍射仪和显微维氏硬度计分析比较退火前后... 采用阴极电弧蒸镀在WC-Co硬质合金基体上沉积Ti_(0.45)Al_(0.55N)、Ti_(0.35)Al_(0.55)Si_(0.1)N和Ti_(0.3)Al_(0.55)Cr_(0.15)N涂层,并在900℃下对涂层试样真空退火30 min和120 min。采用X射线衍射仪和显微维氏硬度计分析比较退火前后涂层的物相及硬度,研究Si、Cr的加入对Ti Al N涂层热稳定性能的影响。结果表明:在Ti Al N涂层中加入Si、Cr后涂层的硬度增加。900℃退火后,Ti_(0.45)Al_(0.55)N涂层的硬度逐渐下降,Ti_(0.35)Al_(0.55)Si_(0.1)N和Ti_(0.3)Al_(0.55)Cr_(0.15)N涂层的硬度则呈上升趋势,并且Ti_(0.3)Al_(0.55)Cr_(0.15)N涂层的硬度始终保持最高,而Ti_(0.45)Al_(0.55)N涂层的硬度最低。Si、Cr的加入能推迟涂层退火过程中软质的密排六方Al N相的形成,Cr还能延缓面心立方(TiAl)N相的调幅分解。Si、Cr的加入有效改善TiAlN涂层的热稳定性能,Ti_(0.3)Al_(0.55)Cr_(0.15)N涂层的热稳定性优于Ti_(0.35)Al_(0.55)Si_(0.1)N。 展开更多
关键词 tiaLn涂层 阴极电弧蒸镀 热稳定性 相结构 硬度
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离子镀AlTiN涂层微结构及切削性能研究 被引量:2
9
作者 任国进 祝新发 张岸 《热处理》 CAS 2015年第4期18-20,共3页
研究了采用离子镀技术制备的AlTiN涂层的化学成分、显微结构、硬度以及涂层铣刀的切削性能。结果表明,AlTiN涂层与TiN涂层均为NaCl型结构,并为沿(200)晶面择优取向的纳米晶。AlTiN涂层的硬度高达38.3GPa,在高速、干式铣削条件下,AlTiN... 研究了采用离子镀技术制备的AlTiN涂层的化学成分、显微结构、硬度以及涂层铣刀的切削性能。结果表明,AlTiN涂层与TiN涂层均为NaCl型结构,并为沿(200)晶面择优取向的纳米晶。AlTiN涂层的硬度高达38.3GPa,在高速、干式铣削条件下,AlTiN涂层铣刀的耐磨性和使用寿命均显著高于TiN涂层铣刀。 展开更多
关键词 tiaLn涂层 切削性能 显微结构
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TiAlN涂层表面残余应力主应力状态实验研究 被引量:2
10
作者 朱宝春 王俊伟 +1 位作者 裴绍虎 朱亮 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2014年第8期150-152,共3页
利用X射线衍射法对TiAlN涂层的残余应力主应力状态进行了实验研究,并通过二向应力状态分析法,求得了TiAlN涂层的残余应力主应力和方向角,并且其与实验测量结果偏差为4%~14%,验证了二向应力解析法在残余应力检测方面的可靠性。实... 利用X射线衍射法对TiAlN涂层的残余应力主应力状态进行了实验研究,并通过二向应力状态分析法,求得了TiAlN涂层的残余应力主应力和方向角,并且其与实验测量结果偏差为4%~14%,验证了二向应力解析法在残余应力检测方面的可靠性。实验结果表明,随TiAlN涂层厚度的增大,涂层的残余应力主应力不断减小,有效地阻止了涂层与基体的剥离,具有重要的现实意义。 展开更多
关键词 X射线衍射法 tiaLn涂层 残余应力主应力
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恒电位对TiAlN涂层在海水环境中磨蚀性能的影响 被引量:2
11
作者 单磊 汪陇亮 +1 位作者 孙润军 王永欣 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期165-171,共7页
目的研究不同恒电位对TiAlN涂层在海水环境中磨蚀性能的影响,分析其腐蚀磨损行为。方法用PVD多弧离子镀技术在316不锈钢上沉积TiAlN涂层。通过XRD测试、硬度测试、结合力测试、电化学工作站测试、不同恒电位下磨蚀测试及磨痕截面轮廓测... 目的研究不同恒电位对TiAlN涂层在海水环境中磨蚀性能的影响,分析其腐蚀磨损行为。方法用PVD多弧离子镀技术在316不锈钢上沉积TiAlN涂层。通过XRD测试、硬度测试、结合力测试、电化学工作站测试、不同恒电位下磨蚀测试及磨痕截面轮廓测试,分别评价TiAlN涂层的相结构、表面硬度、结合力、电化学性能、摩擦系数和磨损率,通过扫描电子显微镜观察涂层磨痕形貌并分析其磨蚀损伤机理。结果 TiAlN涂层在海水环境下的抗腐蚀性优于基体316不锈钢。在阴极电位下,恒电位增加使涂层的摩擦系数逐渐降低。阳极电位为0.5 V时,摩擦形成的TiO_2基含水化合物颗粒可作为润滑剂,使涂层的摩擦系数迅速降低至0.45。TiAlN涂层在干摩擦条件下的磨损率为5.5678×10-5 mm3/(N·m),在阴极保护电位为-1 V下的磨损率为2.2909×10-6 mm3/(N·m),在开路电位(OCP)下的磨损率为7.4881×10-5 mm3/(N·m)。结论随着加载电位(SCE)的升高,涂层的腐蚀效应愈发明显。涂层在阴极电位下的磨蚀机理主要为塑性变形,在阳极电位下的磨蚀机理主要为疲劳点蚀。 展开更多
关键词 tiaLn涂层 摩擦系数 磨损率 电化学 海水 磨蚀
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高速铣削加工6061铝合金高速列车车体刀具涂层的优化 被引量:1
12
作者 袁峰 朱伟 +1 位作者 吴惠惠 孟鹤 《工具技术》 北大核心 2015年第5期63-65,共3页
高速铣削过程中,刀具材料对刀具的切削性能有着非常重要的影响。通过对结构参数经过优化的三种不同材料立铣刀(未涂层硬质合金立铣刀、微米金刚石涂层立铣刀、氮铝钛(Ti Al N)涂层立铣刀)加工车体铝合金型材(具有典型的薄壁及斜筋结构)... 高速铣削过程中,刀具材料对刀具的切削性能有着非常重要的影响。通过对结构参数经过优化的三种不同材料立铣刀(未涂层硬质合金立铣刀、微米金刚石涂层立铣刀、氮铝钛(Ti Al N)涂层立铣刀)加工车体铝合金型材(具有典型的薄壁及斜筋结构)的切削性能对比,从而确定优选的车体铝合金型材高速铣削立铣刀的材料类型。试验结果显示,氮铝钛(Ti Al N)涂层立铣刀加工过程中的切削力较小,为优选的涂层材料。 展开更多
关键词 铝合金 高速铣削 tiaLn涂层 金刚石涂层
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PVD涂层硬质合金刀具加工2Cr13性能对比试验研究 被引量:3
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作者 应显军 涂小龙 +2 位作者 刘钢 唐海权 于晓梅 《工具技术》 北大核心 2015年第6期12-17,共6页
在相同材质刀片基体上分别涂覆不同种类的PVD涂层制成试验刀片。采用光学显微镜、扫描电子显微镜SEM及能谱仪EDS等对刀片涂层进行对比分析,用试验刀片分别对2Cr13不锈钢进行高速干式铣削试验,分析各涂层对刀片磨损形貌及其损坏机理的影... 在相同材质刀片基体上分别涂覆不同种类的PVD涂层制成试验刀片。采用光学显微镜、扫描电子显微镜SEM及能谱仪EDS等对刀片涂层进行对比分析,用试验刀片分别对2Cr13不锈钢进行高速干式铣削试验,分析各涂层对刀片磨损形貌及其损坏机理的影响,对比各刀片的切削寿命,以优选出最佳涂层。分析结果表明,未涂层的刀片寿命最低,Ti Si N/Ti Al N涂层为最佳涂层,Ti Al Si N涂层刀片高温性能较好,双层结构Al Ti N涂层较Ti Al Cr N涂层和单层Al Ti N涂层表现出更好的耐磨性和高温性能。 展开更多
关键词 2Cr13不锈钢 PVD涂层 tialSin涂层 TiSin/tialn涂层 双层结构AlTin涂层 tialCrn涂层 AlTin涂层
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