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涂层组分对磁控溅射制备Ti600合金表面Ti-Al-N涂层组织微观结构的影响 被引量：1
1
作者 邹利华 李梦奇 +3 位作者 吴海江 李冬英 周晓燕 宋恺心 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1130-1134,共5页
以电弧复合磁控溅射沉积工艺在Ti600合金基体上沉积得到Ti-Al-N涂层,通过控制公转速度的方式来获得不同涂层组分,实验研究涂层组分对涂层组织微观结构的影响。研究结果表明:随着公转速度的增加,涂层内Ti/Al比表现出减小的变化。在涂层... 以电弧复合磁控溅射沉积工艺在Ti600合金基体上沉积得到Ti-Al-N涂层,通过控制公转速度的方式来获得不同涂层组分,实验研究涂层组分对涂层组织微观结构的影响。研究结果表明:随着公转速度的增加,涂层内Ti/Al比表现出减小的变化。在涂层表面上形成了许多尺寸较大的颗粒与一些凹坑结构,较小Ti/Al比试样形成了少量的表面大颗粒,并得到致密组织结构。退火态和沉积态涂层形成了相近的表面形貌。涂层厚度发生了先升高后降低,2#试样达到了最大的沉积速率。随着深度的增加,Al,O元素的含量表现出先增加后降低的变化规律,在涂层6μm之后Ti和N元素含量得到明显的增加。当涂层内Ti/Al比例减小后,形成的Ti2AlN特征峰发生了先增大后降低的变化现象。为了提高Ti2AlN涂层的纯度与结晶度,应选择2#试样的制备工艺。 展开更多
关键词 磁控溅射 涂层组分 ti-al-N涂层 微观结构
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