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Ti离子注入对石英玻璃表面金属化的影响 被引量：3
1
作者 崔新强 李海兵 +1 位作者 李国卿 蒋宝财 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期48-50,55,共4页
为提高石英玻璃表面金属化膜层与基底的结合强度，利用金属蒸发真空弧（MEVVA）离子源引出的Ti离子对石英玻璃及镀Ti膜石英玻璃进行离子注入，剂量选择3×10^16，5×10^16ion／cm^2，模拟分析了注入离子能量的分布，采用卢瑟福... 为提高石英玻璃表面金属化膜层与基底的结合强度，利用金属蒸发真空弧（MEVVA）离子源引出的Ti离子对石英玻璃及镀Ti膜石英玻璃进行离子注入，剂量选择3×10^16，5×10^16ion／cm^2，模拟分析了注入离子能量的分布，采用卢瑟福背散射分析了注入Ti离子在基体中的深度分布，利用划痕实验机对比了镀Ti膜石英玻璃经Ti离子注入前后的膜基结合强度。实验结果表明：石英玻璃经Ti离子（5×10^16ion／cm^2）注入后，钛在基体中呈高斯分布，最大浓度分布在15～35nm范围内；镀Ti膜石英玻璃经Ti离子（5×10^16ion／cm^2）注入后，最大浓度分布在5～15nm范围内，注入离子穿透薄膜进入基材内部。Ti离子注入剂量为5×10^16ion／cm^2时，膜基的结合强度比耒注入样品提高了90％。 展开更多
关键词 ti离子 离子注入 镀ti膜石英玻璃 结合强度
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碳—钛离子同步注入组织观察 被引量：3
2
作者 李国卿 王德和 +3 位作者 张涛 刘邦智 许晓磊 黑祖昆 《微细加工技术》 1993年第3期28-32,共5页
在新型的TITAN离子注入系统中,采用组合阴极的方法,进行了碳—钛离子同步注入试验,对纯铁中的离子注入组织进行了电镜观察研究。碳离子注入形成了粒状的Fe_3C相。
关键词 同步注入 离子注入 碳离子 钛离子
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Ti、C和Ti+C离子注入钢表面纳米相镶嵌复合层的形成
3
作者 周固 张通和 +1 位作者 马芙蓉 梁宏 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第7期441-446,共6页
选取质量差异很大的C、Ti、Ti＋C离子对钢进行了离子注入，用透射电子显微镜对注入样品横截面进行结构分析。结果表明，注入层结构发生了明显的变化，形成了纳米相镶嵌复合层，复合层的深度大约是相应离子射程的5．9-13．7倍。三种条件... 选取质量差异很大的C、Ti、Ti＋C离子对钢进行了离子注入，用透射电子显微镜对注入样品横截面进行结构分析。结果表明，注入层结构发生了明显的变化，形成了纳米相镶嵌复合层，复合层的深度大约是相应离子射程的5．9-13．7倍。三种条件下注入，其结构变化有明显的差异。用TRIM95程序对三种离子注入的碰撞参数进行了计算，结果表明，结构的变化明显地与注入参数相关。最后分析了复合层特性的变化与注入条件和结构变化的关系。 展开更多
关键词 离子注入 钢 表面改性 碳 钛 MEVVA
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