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基于球形目标的激光位移传感器光束方向标定 被引量：18
1
作者 毕超 房建国 +2 位作者 刘京亮 刘勇 李成玮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期678-685,共8页
搭建了非接触式的三坐标测量系统以便精密测量三维型面。将激光位移传感器通过具有两个回转轴的回转体安装在测量机的Z轴上,从而可根据待测表面的形状来调整传感器的方位。为了使传感器在各个方位上实现测量功能,提出了基于球形目标的... 搭建了非接触式的三坐标测量系统以便精密测量三维型面。将激光位移传感器通过具有两个回转轴的回转体安装在测量机的Z轴上,从而可根据待测表面的形状来调整传感器的方位。为了使传感器在各个方位上实现测量功能,提出了基于球形目标的光束方向标定方法,并详细阐述了其数学原理。标定时,驱动测量机使传感器分别沿测量机的X,Y和Z轴做等间距步进,根据步长和激光束长度的变化建立方程组求解出激光束所在直线的单位方向向量。最后,多次测量尺寸参数已知的六面体标准块规,检验了该测量系统的重复性。结果显示,该系统的测量不确定度为0.048mm;测量另一直径已知的被测球时,传感器在各个方位上的误差小于0.05mm,表明所提出的标定方法使测量系统达到了逆向工程的使用要求。得到的数据表明,本文所提出的方法有较高的标定精度和较好的重复性,为实现三维型面的快速扫描测量奠定了基础。 展开更多
关键词 激光位移传感器 光束方向 非接触测量 三维型面测量 三坐标测量机 标定
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使用高精度三坐标测量仪实现透镜定中心 被引量：13
2
作者 杜洋 高志山 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期639-644,共6页
传统的光学测量定中心法受限于光源、转台大小和装调误差传递性而不适用于大口径、多透镜光学系统的装调,为此本文提出了使用三坐标测量仪接触式测定透镜中心的精密机械测量法。介绍了使用三坐标测量仪测量大口径透镜中心偏的原理,即在... 传统的光学测量定中心法受限于光源、转台大小和装调误差传递性而不适用于大口径、多透镜光学系统的装调,为此本文提出了使用三坐标测量仪接触式测定透镜中心的精密机械测量法。介绍了使用三坐标测量仪测量大口径透镜中心偏的原理,即在测量透镜上表面与基准轴等距离各点坐标的基础上拟合得到透镜光轴与基准轴的夹角,从而解算出透镜的中心偏。通过大口径长焦距镜头的装调对该方法进行了检验。检验结果表明:该透镜的装调偏差为6.47″,重复性误差为(1.16×10-4)″。该方法将光学测量变为机械测量,利于装调,可在保证装调精度的同时简化装调难度,提升装调效率,满足大口径多透镜光学系统对高精度装调的要求。 展开更多
关键词 光学装校 中心偏测量 透镜定中心 光轴一致性 三坐标测量仪
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光学非球面三坐标测量中的像散补偿 被引量：6
3
作者 范晓明 罗词金 +2 位作者 徐学科 吴令奇 胡晨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期3012-3019,共8页
利用三坐标测量仪在光学非球面镜研磨与粗抛阶段进行面形检测时,测量结果常由于补偿程序不完善而出现像散误差。本文分析了非球面三坐标测量得到的数据,指出测量结果中出现像散误差是测头半径补偿不准确所致。然后,提出了一种离线数据... 利用三坐标测量仪在光学非球面镜研磨与粗抛阶段进行面形检测时,测量结果常由于补偿程序不完善而出现像散误差。本文分析了非球面三坐标测量得到的数据,指出测量结果中出现像散误差是测头半径补偿不准确所致。然后,提出了一种离线数据处理方法对测量数据进行补偿来消除像散误差。该方法通过计算网格排列的测头中心点行和列方向的切向量得出曲面上每个点的法向矢量;根据测头半径计算出测头球心到接触点的偏移量,从而实现三坐标测量仪的三维测头半径补偿。球面样板实验显示这种方法可以将该样板测量中的像散峰谷值(PV)由4.921 9μm减小到0.065 2μm,基本消除了测量结果中的像散误差,提高了三坐标测量结果的准确度。实验结果验证了提出的三维测头半径补偿程序的有效性。 展开更多
关键词 非球面检测 三坐标测量仪 测头半径补偿 像散补偿
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三坐标扫描数据的规律与快速图形化 被引量：1
4
作者 宫美望 《中国测试技术》 2006年第6期87-90,共4页
扫描测量功能是三坐标测量机一项重要功能,扫描测量方法效率高,可以反映出零件表面自由形状的细部特征,因此,该方法多用于具有复杂型面零件的测量和逆向工程。由于不同型号三坐标测量机的扫描数据格式都不相同,如何识别不同的扫描数据格... 扫描测量功能是三坐标测量机一项重要功能,扫描测量方法效率高,可以反映出零件表面自由形状的细部特征,因此,该方法多用于具有复杂型面零件的测量和逆向工程。由于不同型号三坐标测量机的扫描数据格式都不相同,如何识别不同的扫描数据格式,并将其转换为CAD曲线或曲面,以便进一步进行数据分析或建立三维模型,是亟待解决的问题。针对此问题自主开发的CAD接口,可自动识别三种以上数据文件格式,且效率很高。 展开更多
关键词 三坐标测量机 复杂型面 扫描数据 数据分析 逆向工程 三维模型
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基于三坐标测量的螺旋锥齿轮检测关键技术 被引量：7
5
作者 武冠宏 赵韩 +1 位作者 吴占雨 余晗 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期437-440,共4页
文章从齿面方程的建立、网格点的划分、网格点的测量及齿面误差修正方法等方面对螺旋锥齿轮检测的关键技术进行了研究,通过实验得出三坐标测量机测量螺旋锥齿轮齿面偏差与齿距累计误差,并对测量中的数据进行处理。结果表明:基于三坐标... 文章从齿面方程的建立、网格点的划分、网格点的测量及齿面误差修正方法等方面对螺旋锥齿轮检测的关键技术进行了研究,通过实验得出三坐标测量机测量螺旋锥齿轮齿面偏差与齿距累计误差,并对测量中的数据进行处理。结果表明:基于三坐标测量的螺旋锥齿轮检测的齿面偏差与齿距累积误差明显小于普通齿轮检测仪的测量结果,测量精度高,可为指导螺旋锥齿轮的齿面修正与机床参数修正提供依据。 展开更多
关键词 三坐标测量 螺旋锥齿轮 检测 齿面方程
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