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投影光刻机工件台的压力-真空平衡气足研究 被引量：1
1
作者 余国彬 姚汉民 胡松 《微细加工技术》 2001年第4期33-35,共3页
主要介绍投影光刻机工件台的压力 -真空平衡气足设计 ,对压力 -真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析 。
关键词 投影光刻机 压力-真空平衡气足 优化设计 工件台 微电子
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PTFE快速定位系统研究
2
作者 余国彬 姚汉民 胡松 《电子工业专用设备》 2001年第2期14-16,共3页
介绍了采用压力 -真空平衡气足作支承、PTFE材料作导轨的工件台的组成 ,并对气足的设计计算进行了讨论。最后给出了所研究的工件台的检测结果。
关键词 PTFE材料 压力-真空平衡气足 工件台 定位系统 导轨 精密测量 微电子
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