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透明导电薄膜(Ⅲ):TCO/M/TCO三层透明导电薄膜 被引量：1
1
作者 闫彩波 周艳文 +2 位作者 粟志伟 王鼎 杨东明 《辽宁科技大学学报》 CAS 2021年第4期241-248,共8页
TCO/M/TCO三层透明导电薄膜具有可见光区透光率高、导电性好且超薄的特点,适用于包括柔性基底在内的电子器件的透明导电电极。本文阐述三层透明导电氧化物/金属/透明导电氧化物(TCO/M/TCO)薄膜透光导电原理,厚度设计及其对光电性能的影... TCO/M/TCO三层透明导电薄膜具有可见光区透光率高、导电性好且超薄的特点,适用于包括柔性基底在内的电子器件的透明导电电极。本文阐述三层透明导电氧化物/金属/透明导电氧化物(TCO/M/TCO)薄膜透光导电原理,厚度设计及其对光电性能的影响,金属层的选择及作用机制,溅射氛围和后处理工艺对薄膜性能的影响。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 tco/M/tco 金属夹层 减反增透 光电性能
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