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超硬多层薄膜的研究现状及展望 被引量：2
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作者 宋绪丁 李宁 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第3期5-8,12,共5页
　由于超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超硬等异常效应。其潜在的实际应用价值及理论意义,使其成为近年来人们研究的热点。本文综述了近年来国内外超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其分类、主要性能特点以... 　由于超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超硬等异常效应。其潜在的实际应用价值及理论意义,使其成为近年来人们研究的热点。本文综述了近年来国内外超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其分类、主要性能特点以及制备工艺,并对超硬多层薄膜以后的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 超硬多层薄膜 超晶格薄膜 纳米多层膜 类金刚石
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