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薄膜与基体间的附着力测试 被引量：12
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作者 崔彩娥 缪强 潘俊德 《电子工艺技术》 2005年第5期294-297,共4页
薄膜是一种特殊形态的材料,在微电子等领域得到了广泛的应用。薄膜与基体间的附着性能在很大程度上决定了薄膜应用的可能性和可靠性,但是,迄今为止对薄膜与基体间界面的了解还不够深入,也没有一种通用的测量技术。阐述了薄膜与基体间的... 薄膜是一种特殊形态的材料,在微电子等领域得到了广泛的应用。薄膜与基体间的附着性能在很大程度上决定了薄膜应用的可能性和可靠性,但是,迄今为止对薄膜与基体间界面的了解还不够深入,也没有一种通用的测量技术。阐述了薄膜与基体间的附着机理和增加附着力的途径,介绍了胶粘法、划痕法等各种比较常用的附着力测试方法。 展开更多
关键词 薄膜 基体附着力 测试
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