期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
SEM系统在IC工艺中的应用
1
作者
刘远华
刘允
《微电子技术》
1998年第2期29-33,共5页
本文介绍了SEM系统在IC制造工艺中的应用。分别就非破坏分析和剖面分析两方面的典型内容作出了实例分析，并给出了它们的SEM图。通过SEM测试为IC制造工艺提供了可靠的质量监控手段和分析依据。
关键词
SEM(场发射扫描电镜)
非破坏性
剖面
测试
条宽
侧壁
下载PDF
职称材料
热轧宽带平整线液压系统的改进优化
被引量：
3
2
作者
华益明
《液压气动与密封》
2019年第6期64-67,共4页
梅钢热轧宽带平整线作为主轧线的配套生产装置,为酸轧、酸洗提供合格的中间产品,在生产高强钢、电工钢、汽车板等钢材时尤为重要。该文针对1422平整线液压系统存在的问题进行了分析、说明了改进措施,这些为后来1780平整线建设中的液压...
梅钢热轧宽带平整线作为主轧线的配套生产装置,为酸轧、酸洗提供合格的中间产品,在生产高强钢、电工钢、汽车板等钢材时尤为重要。该文针对1422平整线液压系统存在的问题进行了分析、说明了改进措施,这些为后来1780平整线建设中的液压系统的设计、建设积累了经验,同时还进一步优化完善,取得了效果。也说明了一条平整生产线要能安全、可靠、经济地连续运行,其液压系统各组成部分均应做到科学、合理设计配备和现场布局。
展开更多
关键词
热轧平整线
液压系统与元件
存在问题
改进优化
下载PDF
职称材料
题名
SEM系统在IC工艺中的应用
1
作者
刘远华
刘允
机构
中国华晶电子集团公司中央研究所
出处
《微电子技术》
1998年第2期29-33,共5页
文摘
本文介绍了SEM系统在IC制造工艺中的应用。分别就非破坏分析和剖面分析两方面的典型内容作出了实例分析，并给出了它们的SEM图。通过SEM测试为IC制造工艺提供了可靠的质量监控手段和分析依据。
关键词
SEM(场发射扫描电镜)
非破坏性
剖面
测试
条宽
侧壁
Keywords
SEM
Non-destructive
Profile
Test
strip
wide
Sidewall
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
热轧宽带平整线液压系统的改进优化
被引量：
3
2
作者
华益明
机构
上海梅山钢铁股份有限公司设备分公司
出处
《液压气动与密封》
2019年第6期64-67,共4页
文摘
梅钢热轧宽带平整线作为主轧线的配套生产装置,为酸轧、酸洗提供合格的中间产品,在生产高强钢、电工钢、汽车板等钢材时尤为重要。该文针对1422平整线液压系统存在的问题进行了分析、说明了改进措施,这些为后来1780平整线建设中的液压系统的设计、建设积累了经验,同时还进一步优化完善,取得了效果。也说明了一条平整生产线要能安全、可靠、经济地连续运行,其液压系统各组成部分均应做到科学、合理设计配备和现场布局。
关键词
热轧平整线
液压系统与元件
存在问题
改进优化
Keywords
hot
strip
mill
wide
flat
line
hydraulic
system
and
component
deficiency
list
improvement
and
optimization
分类号
TH137 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SEM系统在IC工艺中的应用
刘远华
刘允
《微电子技术》
1998
0
下载PDF
职称材料
2
热轧宽带平整线液压系统的改进优化
华益明
《液压气动与密封》
2019
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
