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图像处理在高精度对准系统中的应用 被引量:14
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作者 杨维全 陈伟明 +1 位作者 胡松 刘业异 《微细加工技术》 EI 2000年第1期35-40,共6页
阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处理算法。
关键词 图像处理 光刻机 对准系统 集成电路
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基于STM32的一种步进电机系统的设计 被引量:18
2
作者 刘成淦 王直 《电子设计工程》 2018年第1期131-134,139,共5页
文中介绍了一种基于STM32控制器的步进电机控制系统,该系统对步进电机的加速和减速运动采用了S型函数模型,有效的避免了系统在高速运动时出现的失步和过冲现象。在系统中通过调节分频系数保证了系统在高频和低频运动时的准确性,在系统... 文中介绍了一种基于STM32控制器的步进电机控制系统,该系统对步进电机的加速和减速运动采用了S型函数模型,有效的避免了系统在高速运动时出现的失步和过冲现象。在系统中通过调节分频系数保证了系统在高频和低频运动时的准确性,在系统中通过调节电机驱动芯片的细分能够有效地降低了系统的振动和噪声。实验结果表明,整个系统成本低、运行平稳、可靠性高。 展开更多
关键词 步进电机 控制系统 分频系数 细分
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生物组织近红外光谱自动测试系统 被引量:14
3
作者 李荣 钱志余 戴丽娟 《计算机测量与控制》 CSCD 2007年第2期154-156,共3页
为了实现对生物组织光学参数的实时在位的测量,提出了一种基于虚拟仪器技术的组织光学参数自动测试系统;该系统利用虚拟仪器建立步进电机控制系统和数据采集系统,系统硬件主要由运动控制卡(PCI-7344)、步进电机驱动器(MID-7604)及由特... 为了实现对生物组织光学参数的实时在位的测量,提出了一种基于虚拟仪器技术的组织光学参数自动测试系统;该系统利用虚拟仪器建立步进电机控制系统和数据采集系统,系统硬件主要由运动控制卡(PCI-7344)、步进电机驱动器(MID-7604)及由特殊光纤探头组成的稳定态光纤光谱仪等组成;软件系统以LabVIEW为开发平台;利用此系统进行了实时在位大鼠脑部不同深度光谱测量实验,实验结果证明该系统准确、可靠。 展开更多
关键词 虚拟仪器 组织光学参数 步进电机 光纤光谱仪
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Design and experimental study of the control system for precision seed-metering device 被引量:13
4
作者 Zhai Jianbo Xia Junfang +1 位作者 Zhou Yong Zhang Shun 《International Journal of Agricultural and Biological Engineering》 SCIE EI CAS 2014年第3期13-18,共6页
The precision seeding technique has been developed at full speed along with the continuous development of new agricultural technologies,especially those concerning cultivated patterns.The seed-metering device is the k... The precision seeding technique has been developed at full speed along with the continuous development of new agricultural technologies,especially those concerning cultivated patterns.The seed-metering device is the key component of a precision seeder.A ground wheel is used to drive the seed-metering device of the conventional direct seeder.However,the wheel bears high resistance and easily slips.Moreover,the adjustment of the precision seeder’s seeding rate is more difficult.In order to solve these problems,a control system which could keep the rotational speed of the seed-metering device consistent with the seeder’s working speed for the precision seed-metering device was designed.The control system includes a Hall sensor,a single chip microcomputer system,a motor control module,a stepper motor and a display.The control system used a Hall sensor to measure the seeder’s working speed and employed a single chip microcomputer system to predict the rotational speed of seed-metering device.It would then determine the relationship between the seeder’s working speed and the rotational speed of the seed metering-device according to the seeder’s working state,distance between seeds and the requirement of sowing rate.The system could effectively reduce the influence of inhomogeneous sowing caused by the ground wheel’s slipping.The system was found to be reliable by the experiment.The seeding control system could also make the speed of the seed-metering device and seeder’s uniform,improving the uniformity of the amount of seeding,and achieving the goal of design.This new design provides a platform to solve problems of the seed-metering device and the seeder. 展开更多
关键词 agricultural machinery precision seeder seed-metering device SENSOR control system stepper motor
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投影光刻机硅片调焦调平测量模型 被引量:11
5
作者 李小平 陈飞彪 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1987-1991,共5页
成像质量是光学光刻机的最主要指标,硅片调焦调平测量是光刻机控制成像质量的基础。为此建立了硅片调焦调平测量系统单个测量点的测量模型,并根据硅片形貌标准和集成电路尺寸标准,推导了近似运算规则,简化了曝光场高度与测量光斑在光电... 成像质量是光学光刻机的最主要指标,硅片调焦调平测量是光刻机控制成像质量的基础。为此建立了硅片调焦调平测量系统单个测量点的测量模型,并根据硅片形貌标准和集成电路尺寸标准,推导了近似运算规则,简化了曝光场高度与测量光斑在光电探测器上的位置之间的数学关系。运用最小二乘法和平面拟合曝光场曲面的方法,推导了基于多个测量点的曝光场高度和倾斜测量的数学模型。该模型能满足调焦调平实时测量和控制的需要,可用于测量精度优于10 nm的高精度调焦调平测量系统,能满足线宽小于100 nm投影步进扫描光刻机的需要。 展开更多
关键词 光学器件 光刻 测量模型 调焦调平 步进光刻机
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基于Mach3的教学型五轴数控机床控制系统设计 被引量:9
6
作者 王宽 赵巍 张翔宇 《天津职业技术师范大学学报》 2016年第1期37-40,53,共5页
在已有教学型五轴数控机床上,搭建以PC为上位机、Mach3为下位机的主从式控制系统。该系统是以5套步进电机及其驱动器作为进给驱动模块,以直流电源作为电源模块以及由微动开关等电子元件组成的辅助模块构成开环数控系统。该控制系统与相... 在已有教学型五轴数控机床上,搭建以PC为上位机、Mach3为下位机的主从式控制系统。该系统是以5套步进电机及其驱动器作为进给驱动模块,以直流电源作为电源模块以及由微动开关等电子元件组成的辅助模块构成开环数控系统。该控制系统与相应的教学型五轴数控机床搭配,可用于高等大专院校科研及五轴操作人才的培训。 展开更多
关键词 Mach3 五轴控制 步进电机 数控机床 PWM调速器
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步进电机短位移高响应加减速控制方法研究 被引量:8
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作者 李亚 杨亮 +2 位作者 任鹏 李振亮 许玮 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2010年第8期30-32,共3页
通过对控制步进电机常采用的加减速算法进行深入研究,得到一种只需给定位移量和运行时间即可实现短位移高响应的S型曲线加减速控制算法;提出了一种基于PLC的速度曲线离散化方法,利用对PLC在线编程改变S型曲线的参数,从而实现PLC直接控... 通过对控制步进电机常采用的加减速算法进行深入研究,得到一种只需给定位移量和运行时间即可实现短位移高响应的S型曲线加减速控制算法;提出了一种基于PLC的速度曲线离散化方法,利用对PLC在线编程改变S型曲线的参数,从而实现PLC直接控制步进电机完成S型曲线加减速控制。现场应用表明,该控制算法响应速度快,控制方法简单有效,稳定可靠。 展开更多
关键词 S型曲线 加减速控制 步进电机 在线编程
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Nikon光刻机对准系统概述及模型分析 被引量:7
8
作者 何峰 吴志明 +3 位作者 王军 袁凯 蒋亚东 李正贤 《电子工业专用设备》 2009年第4期8-12,18,共6页
对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机(Stepper)的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式:LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数... 对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机(Stepper)的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式:LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数学模型对影响Nikon对准模型信号强度进行分析,为提高对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。 展开更多
关键词 对准系统 步进光刻机 对准方式 对准模型
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基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究 被引量:7
9
作者 尹作海 刘世元 史铁林 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期74-76,共3页
介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理。介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型。
关键词 线阵电荷耦合器件 调焦调平传感器 步进重复投影光刻机
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一种基于ISA总线的步进电机多轴联动控制卡 被引量:4
10
作者 马宏伟 张旭辉 +1 位作者 杜公儒 姜俊英 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2002年第3期12-13,共2页
介绍了一种基于PC的步进电机控制卡。借助于PC机丰富的软、硬件资源 ,实现了多轴联动控制。该卡采用开放式结构 ,使用简单、功能灵活、可靠性高 。
关键词 ISA总线 多轴联动控制卡 步进电机
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193nm光学光刻技术 被引量:4
11
作者 谢常青 叶甜春 《微电子技术》 1999年第4期9-12,共4页
目前看来,193nm光学光刻很有希望应用到0.13μm集成电路工业生产中去。本文从光源、照明系统、掩模、光刻胶、光刻机等方面对193nm光学光刻技术进行了分析,并介绍了它目前的一些进展情况,最后对它的应用前景进行了简要分析。
关键词 193nm光源 照明系统 掩模 光刻胶 光刻机
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极端远紫外光刻技术 被引量:4
12
作者 谢常青 叶甜春 《半导体情报》 2001年第5期28-32,共5页
半导体器件与集成电路的不断小型化要求特征尺寸越来越小 ,极端远紫外光刻是 5种下一代光刻技术候选者之一 ,它的目标是瞄准 70纳米及 70纳米以下的特征尺寸光刻。本文从极端远紫外光源、极端远紫外光学系统、反射掩模、光刻胶、光刻机... 半导体器件与集成电路的不断小型化要求特征尺寸越来越小 ,极端远紫外光刻是 5种下一代光刻技术候选者之一 ,它的目标是瞄准 70纳米及 70纳米以下的特征尺寸光刻。本文从极端远紫外光源、极端远紫外光学系统、反射掩模、光刻胶、光刻机等方面对极端远紫外光刻技术进行了分析论述 。 展开更多
关键词 极端远紫外线光刻 半导体工艺 集成电路
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相位可调可编程数字移相器的设计 被引量:5
13
作者 杨朝霞 《自动化与仪器仪表》 2016年第6期205-207,共3页
以单片机控制为核心,设计了一种相位可调程的控数字移相器。应用CC4046锁相环,将其输出信号频率设置为输入参考信号的360倍频率。采用比较器、计数器、触发器、电子开关等器件设计出了一种能够实现程控的数字式移相器。相对于参考相位,... 以单片机控制为核心,设计了一种相位可调程的控数字移相器。应用CC4046锁相环,将其输出信号频率设置为输入参考信号的360倍频率。采用比较器、计数器、触发器、电子开关等器件设计出了一种能够实现程控的数字式移相器。相对于参考相位,移相器可达到0°-360°任意移相,相位步进1°。 展开更多
关键词 数字移相 程控 步进 锁相环 相位可调
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A new design of stator magnetic system for 3-phase & 12-pole HB stepper
14
作者 任雷 史敬灼 王宗培 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 1999年第3期52-56,共5页
A new design of stato magnetic System is Proposed for 3-phase & 12-pole HB stepper, and it features bet-ter distribution of magntic lield to incare Pullou tope and bopmve Operaonal stability of moor and minimummut... A new design of stato magnetic System is Proposed for 3-phase & 12-pole HB stepper, and it features bet-ter distribution of magntic lield to incare Pullou tope and bopmve Operaonal stability of moor and minimummutual inductance between phase windimp to make design of control circuit easier, and application proved it is as good as expected. 展开更多
关键词 HB stepper STATOR MAGNETIC system 3-phase stepper
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光刻机曝光光学中的概念辨析 被引量:4
15
作者 严利人 《微细加工技术》 2003年第2期29-33,共5页
归纳解释了光刻机曝光光学中的若干重要概念,例如分辨率、焦深等,详细地阐述了光刻机曝光的原理。考虑到类似概念在不同系统中的含义差别,进行了针对性的辨析。从物理光学层次了解和掌握光刻机曝光的机理。
关键词 光刻机 曝光 分辨率 焦深 概念 原理
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Design of a Multi-axis Motion Control Platform Based on LabVIEW’s Fuzzy Control Algorithm 被引量:4
16
作者 Chuang Li Yan Zhang 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2021年第1期11-16,共6页
This paper presents a fuzzy control algorithm applied to the position control of a multi-axis motion platform to achieve high precision motion control of the multi-axis motion platform.A LabVIEW-based multi-axis motio... This paper presents a fuzzy control algorithm applied to the position control of a multi-axis motion platform to achieve high precision motion control of the multi-axis motion platform.A LabVIEW-based multi-axis motion control system is designed.This system controls stepper motors using trapezoidal acceleration/deceleration pulse types and fuzzy control algorithms,which effectively avoids mechanical jitter and loss of step in the process of multi-angle motion of the stepper motor,and achieves accurate control of the stepper motor.The TCP/IP(transmission control protocol/internet protocol)communication protocol is used,so that data are output stably and not lost in the process of transmission and communication,achieving the purpose of interconnection of different systems and remote control of equipment.This control system has been tested to maintain a high level of stability and repeatability during actual operation. 展开更多
关键词 LABVIEW stepper motors multi-axis linkage fuzzy algorithms TCP/IP communication.
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直膨式太阳能热泵热水器微型控制系统的单片机设计 被引量:2
17
作者 徐优优 吴静怡 +1 位作者 李郁武 王如竹 《可再生能源》 CAS 2007年第4期40-44,共5页
阐述了一种基于Renesas单片机的直膨式太阳能热泵热水器中央控制器的硬件设计和软件算法设计。硬件设计着重于系统的功能性和可靠性;控制算法以太阳辐射强度变化和过热度偏差变化为输入量,以电子膨胀阀开度变化以及变频器运行频率为输出... 阐述了一种基于Renesas单片机的直膨式太阳能热泵热水器中央控制器的硬件设计和软件算法设计。硬件设计着重于系统的功能性和可靠性;控制算法以太阳辐射强度变化和过热度偏差变化为输入量,以电子膨胀阀开度变化以及变频器运行频率为输出量,在安全运行的前提下保持较低的过热度,最大限度地利用蒸发器的面积,有效地管理压缩机运行,实现压缩机容量调节,使系统得到合理匹配及稳定运行。 展开更多
关键词 太阳能热泵热水器 电子膨胀阀 Renesas单片机 PI算法 RS485通讯 差分信号
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基于单片机PWM功能的步进电动机细分设计 被引量:4
18
作者 景立群 李勇 季学武 《微特电机》 北大核心 2008年第8期14-16,共3页
两相混合式步进电动机的步距角一般为1.8°/0.9°,为适应微小角度控制,需要对步进电动机步距角进行细分。基于单片机的PWM功能,设计了步进电动机驱动器;分析了步进电动机绕组电感对电流暂态效应的影响,通过编程实现步进电动机... 两相混合式步进电动机的步距角一般为1.8°/0.9°,为适应微小角度控制,需要对步进电动机步距角进行细分。基于单片机的PWM功能,设计了步进电动机驱动器;分析了步进电动机绕组电感对电流暂态效应的影响,通过编程实现步进电动机步距角24细分;设计了简易实验装置,并对硬件电路和程序进行试验验证。结果表明,所设计的驱动器及编写的控制程序可以实现步进电动机的细分驱动,且误差在可以接受的范围内。 展开更多
关键词 步进电动机 细分 PWM
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投影光刻机在先进封装中的应用 被引量:4
19
作者 周畅 贺荣明 《电子工业专用设备》 2010年第3期47-50,共4页
随着先进封装技术的发展,对光刻的要求(CD均匀性、套刻精度等)将逐渐提高,当硅片尺寸逐渐增大到200mm(8英寸)乃至.300mm(12英寸)时,步进投影式光刻机在全片一致性上的优势更明显。SS B500系列先进封装步进投影式光刻机具备良好的RDL、B... 随着先进封装技术的发展,对光刻的要求(CD均匀性、套刻精度等)将逐渐提高,当硅片尺寸逐渐增大到200mm(8英寸)乃至.300mm(12英寸)时,步进投影式光刻机在全片一致性上的优势更明显。SS B500系列先进封装步进投影式光刻机具备良好的RDL、Bump等工艺适应性,分析了CD及套刻的影响因素,阐述了绝对套刻测量的意义,并以实测数据表明SSB500/10A已实现良好的整机性能。 展开更多
关键词 先进封装 投影光刻机 关键尺寸(CD) 套刻
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分步重复投影光刻机同轴对准数据处理 被引量:3
20
作者 吕晓真 田宏 《微细加工技术》 EI 2000年第1期41-44,共4页
介绍了 0 8~ 1 0 μm分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理 ,详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法 。
关键词 投影光刻机 同轴对准 数据处理
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