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(Pb_(1-x)Srx)TiO_3铁电薄膜电滞回线的测试分析 被引量:1
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作者 王茂祥 孙平 《真空与低温》 2006年第3期142-144,共3页
采用磁控溅射法制备了PST薄膜,讨论了其制备工艺并着重对其电滞回线进行了测试分析。从测试结果来看,其饱和极化强度PS典型值为19.0μC+cm2,剩余极化强度为6.6μC+cm2,矫顽场强为16kV+cm,热释电系数为10-4量级。表明所制备的PST薄膜具... 采用磁控溅射法制备了PST薄膜,讨论了其制备工艺并着重对其电滞回线进行了测试分析。从测试结果来看,其饱和极化强度PS典型值为19.0μC+cm2,剩余极化强度为6.6μC+cm2,矫顽场强为16kV+cm,热释电系数为10-4量级。表明所制备的PST薄膜具有较好的铁电性能。 展开更多
关键词 (Pb1-x srx)tio3薄膜 磁控溅射 电滞回线 铁电性
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