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自制溅射负离子源电离器的材料、结构、制作及使用情况 被引量：1
1
作者 周俊思 邱长青 +1 位作者 徐天冰 杨国梁 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1992年第6期376-380,共5页
介绍自制溅射型负离子源及其关键部件——电离器的材料、结构、制作及使用情况。得到碳束C^-总流强>780μA,硅束Si-250μA.此电离器先后在2×1.7MV串列加速器的进口溅射源及200kV离子注入机自制溅射源上使用,寿命3000h。
关键词 溅射负离子源 电离器 钽同轴线 离子源
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