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纳米孔超级绝热材料气凝胶的制备与热学特性 被引量:53
1
作者 沈军 周斌 +3 位作者 吴广明 邓忠生 倪星元 王珏 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期341-345,共5页
以正硅酸四乙酯(TEOS)为硅源,通过溶胶凝胶及超临界干燥过程制备了SiO2气凝胶. 同时,采用相对廉价的多聚硅(E40)为硅源,以三甲基氯硅烷(TMCS)为表面修饰剂,硅油为干燥介质, 在常压条件下制备了同样具有纳米多孔结构的SiO2气凝胶. 用透... 以正硅酸四乙酯(TEOS)为硅源,通过溶胶凝胶及超临界干燥过程制备了SiO2气凝胶. 同时,采用相对廉价的多聚硅(E40)为硅源,以三甲基氯硅烷(TMCS)为表面修饰剂,硅油为干燥介质, 在常压条件下制备了同样具有纳米多孔结构的SiO2气凝胶. 用透射电镜、扫描电镜及孔径分布仪对其结构进行了表征,并用动态热线法对其热学特性进行了测试. 结果表明: 两种方法制备的气凝胶均是典型的纳米孔超级绝热材料,后者热导率略高但成本低许多,所以更具应用推广潜力. 展开更多
关键词 SIO2气凝胶 纳米孔 溶胶-凝胶 热导率
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无机盐先驱体溶胶凝胶法制备50%Al_2O_3-50%ZrO_2细晶复相陶瓷 被引量:25
2
作者 张大海 杨辉 +2 位作者 余瑞莲 阚红华 葛曼珍 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期594-597,共4页
采用无机盐先驱体,溶胶凝胶法制备出超细50%Al2O350%ZrO2(以体积计)复合粉体,BET法测得其比表面积达227.4m2/g。复合粉体经热压烧结得到具有互渗结构的细晶复相陶瓷,其Al2O3晶粒约100mm,Z... 采用无机盐先驱体,溶胶凝胶法制备出超细50%Al2O350%ZrO2(以体积计)复合粉体,BET法测得其比表面积达227.4m2/g。复合粉体经热压烧结得到具有互渗结构的细晶复相陶瓷,其Al2O3晶粒约100mm,ZrO2晶粒约0.6μm。 展开更多
关键词 无机盐 溶胶凝胶 复合陶瓷 陶瓷 氧化物
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溶胶-凝胶法制备的二氧化锆粉中t-ZrO_2的稳定性 被引量:14
3
作者 李海滨 梁开明 顾守仁 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期13-15,共3页
为研究溶胶凝胶法制备的二氧化锆粉中 t- Zr O2 在低温稳定存在的原因 ,该文采用 X射线衍射仪和差热分析仪对二氧化锆凝胶粉的晶体结构及动力学参数进行了分析。结果表明 ,低温时凝胶粉中的非晶态二氧化锆近程有序结构更接近 t- Zr O2 ... 为研究溶胶凝胶法制备的二氧化锆粉中 t- Zr O2 在低温稳定存在的原因 ,该文采用 X射线衍射仪和差热分析仪对二氧化锆凝胶粉的晶体结构及动力学参数进行了分析。结果表明 ,低温时凝胶粉中的非晶态二氧化锆近程有序结构更接近 t- Zr O2 的晶体结构 ;在 6 0 0~ 80 0℃温区内 ,t- Zr O2的晶粒尺寸小于 30 nm,处于表面能起决定作用的稳定区间内 ;t- Zr O2 的析晶活化能 (5 6 .5 k J.mol- 1 )低于 m- Zr O2 析晶活化能 (10 9.2 k J.m ol- 1 )。晶体结构、表面能及析晶活化能诸方面均显示出有利于凝胶粉中的亚稳 t- Zr O2 展开更多
关键词 二氧化锆 凝胶粉 溶胶-凝胶法 t-ZrO2 晶体结构 稳定性 合成工艺
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溶胶—凝胶法制备聚酰亚胺/二氧化硅纳米尺度复合材料 被引量:5
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作者 王立新 陈晓婷 +1 位作者 王新 李佐邦 《河北工业大学学报》 CAS 1998年第4期18-22,共5页
通过正硅酸乙酯(TEOS)在聚酰胺酸(PAA)的N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)溶液中进行溶胶-凝胶反应,制备出一系列二氧化硅含量不同的聚酰亚胺/二氧化硅(PI/SiO2)复合薄膜材料.二氧化硅质量分数(ω)低于1... 通过正硅酸乙酯(TEOS)在聚酰胺酸(PAA)的N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)溶液中进行溶胶-凝胶反应,制备出一系列二氧化硅含量不同的聚酰亚胺/二氧化硅(PI/SiO2)复合薄膜材料.二氧化硅质量分数(ω)低于10%的样品是浅黄色的透明薄膜;二氧化硅ω高于10%的样品是棕黄色不透明薄膜.利用IR、TG、SEM、TEC和应力应变测试等方法研究了此类材料的结构与性能.结果表明,二氧硅含量较低时,可达到纳米尺度的分散.PI/SiO2复合材料与PI相比,仍具有较高的热稳定性和更高的模量,线性膨胀系数降低;拉伸强度和断裂伸长随SiO2含量增加而降低. 展开更多
关键词 聚酰亚胺 二氧化硅 复合材料 溶胶-凝胶法
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堇青石合成的研究进展 被引量:16
5
作者 张巍 《岩石矿物学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期747-762,共16页
堇青石是一种具有较低热膨胀系数、良好抗热震性的矿物材料。天然的堇青石矿物原料很少,因此常常采用人工合成的方法来合成堇青石材料。本文根据近年来合成堇青石的最新研究,论述了堇青石合成方法的研究进展,具体包括高纯氧化物高温固... 堇青石是一种具有较低热膨胀系数、良好抗热震性的矿物材料。天然的堇青石矿物原料很少,因此常常采用人工合成的方法来合成堇青石材料。本文根据近年来合成堇青石的最新研究,论述了堇青石合成方法的研究进展,具体包括高纯氧化物高温固相反应合成法、天然矿物高温固相反应合成法、利用工业废料合成法、利用农业废料合成法、溶胶-凝胶法和低温燃烧合成法。目前工业化生产堇青石大多采用天然矿物高温固相反应法,此法虽有众多优点,但同时也存在许多的不足之处。因此,如何能将其他方法用于工业化生产,将成为合成堇青石今后研究中的一个发展方向。 展开更多
关键词 堇青石 矿物合成 温度 固相反应 溶胶-凝胶 低温燃烧合成
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溶胶-凝胶法合成氧化铁系统陶瓷 被引量:9
6
作者 贺蕴秋 解庆红 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期166-169,共4页
本文研究了硝酸铁和乙二醇甲醚系统溶胶形成凝胶的过程和条件;pH>3的溶胶凝胶化过程的特点;硅醇对此系统溶胶凝胶化的作用;
关键词 溶胶-凝胶 酯化 水解-缩聚 氧化铁陶瓷
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Ti基表面多层超细HA涂层复合种植体的制备 被引量:9
7
作者 朱明刚 邬鸿彦 +1 位作者 孔令宜 常虹 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期15-17,23,共4页
对用溶胶-凝胶法(简称Sol-Gel)多次重复涂层烧结HA-Ti复合种植体的工艺条件进行了探索性研究,使多层超细HA涂层粉末的纯度、结晶度和HA晶体的纳米结构得到改善,还能使涂层与基底材料各组分相互混合达到分子水平的... 对用溶胶-凝胶法(简称Sol-Gel)多次重复涂层烧结HA-Ti复合种植体的工艺条件进行了探索性研究,使多层超细HA涂层粉末的纯度、结晶度和HA晶体的纳米结构得到改善,还能使涂层与基底材料各组分相互混合达到分子水平的均匀,并在界面生成牢固的化学过渡层。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 HA-钛 涂层 复合种植体
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溶胶-凝胶还原氮化合成β-sialon超细粉 被引量:10
8
作者 贾晓林 张海军 +2 位作者 陈俊锋 杨道媛 刘战杰 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期925-929,共5页
以硝酸铝、正硅酸乙脂、无水乙醇、蔗糖等为起始原料 ,通过溶胶凝胶、还原氮化工艺制备了 β sialon超细粉体。研究了 β sialon晶种、Si3 N4 晶种、AlN晶种、添加剂、氮化温度等工艺条件对合成 β sialon粉体的影响。结果证明 :晶种的... 以硝酸铝、正硅酸乙脂、无水乙醇、蔗糖等为起始原料 ,通过溶胶凝胶、还原氮化工艺制备了 β sialon超细粉体。研究了 β sialon晶种、Si3 N4 晶种、AlN晶种、添加剂、氮化温度等工艺条件对合成 β sialon粉体的影响。结果证明 :晶种的加入可以促进 β sialon的合成 ,降低其合成温度 ,其用量的多少对 β sialon的合成影响不明显 ;晶种种类对 β sialon合成影响较大 ,其中 β sialon晶种的促进效果最明显 ;1 45 0~ 15 0 0℃是比较合适的氮化温度。SEM的结果表明 ,合成的 β sialon的粒径在 30 0nm左右。同时还研究了Sialon ,Si3 N4 和AlN的水解性能。 展开更多
关键词 β-sialon超细粉体 溶胶-凝胶 晶种 氮化
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溶胶-凝胶法二氧化硅增透膜的制备与研究 被引量:8
9
作者 马永新 周友苏 +4 位作者 万春平 章磊 张秀廷 赵旭 卢铁军 《航天器环境工程》 2008年第3期298-300,200,共3页
利用正硅酸乙酯为前驱体,乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备二氧化硅增透膜,并结合正交试验设计的方法,分析了试验的最佳原料配比以及影响二氧化硅增透膜性能的主要因素。用紫外-可见光分光光度计测定了二氧化硅增透膜的透光... 利用正硅酸乙酯为前驱体,乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备二氧化硅增透膜,并结合正交试验设计的方法,分析了试验的最佳原料配比以及影响二氧化硅增透膜性能的主要因素。用紫外-可见光分光光度计测定了二氧化硅增透膜的透光率。实验研究结果显示:以盐酸为催化剂在普通玻璃上制备的增透膜,可使透光率平均提高约3%;膜层结构为非晶态;正硅酸乙酯和水的含量是主要影响因素。 展开更多
关键词 溶胶.凝胶法 增透膜 正硅酸乙酯 正交设计
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烧结温度对钛酸钡陶瓷性能的影响 被引量:7
10
作者 马战红 孙乐民 任凤章 《河南科技大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第2期5-7,共3页
采用溶胶凝胶法制备钛酸钡粉体,采用氢氧化钡和钛酸丁酯为溶质,甲醇和乙二醇甲醚为溶剂制备溶胶,在900℃下煅烧凝胶制备出性能优异的钛酸钡纳米粉体。采用三种烧结温度制备钛酸钡陶瓷,经研究发现,在1200℃烧结制备的陶瓷晶粒细小均匀,... 采用溶胶凝胶法制备钛酸钡粉体,采用氢氧化钡和钛酸丁酯为溶质,甲醇和乙二醇甲醚为溶剂制备溶胶,在900℃下煅烧凝胶制备出性能优异的钛酸钡纳米粉体。采用三种烧结温度制备钛酸钡陶瓷,经研究发现,在1200℃烧结制备的陶瓷晶粒细小均匀,材料的性能较好,此时α50为15.16%.℃-1,电阻率为55Ω.cm。 展开更多
关键词 溶胶凝胶 纳米粉体 PTC陶瓷 钛酸钡
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含—NH_2基团的有机改良硅酸盐材料合成及IR,DTA和TG分析 被引量:6
11
作者 夏海平 朱从善 干福熹 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期554-560,共7页
以正硅酸乙酯[Si(OC2H5)4],γ缩水甘油醚基丙基三甲基硅烷[CH2OCHCH2O(CH2)3Si(OCH3)3,简称KH560],胺基三甲基三乙氧基硅烷[NH2(CH2)3Si(OC2H5)3,简称KH550... 以正硅酸乙酯[Si(OC2H5)4],γ缩水甘油醚基丙基三甲基硅烷[CH2OCHCH2O(CH2)3Si(OCH3)3,简称KH560],胺基三甲基三乙氧基硅烷[NH2(CH2)3Si(OC2H5)3,简称KH550],二乙烯三胺基甲基三乙氧基硅烷[NH2CH2CH2NHCH2CH2NHCH2Si(OC2H5)3,简称ND230]为原料,用溶胶凝胶(solgel)工艺,把胺基引入材料基质中,制备了一些有机改良材料,用红外光谱、差热分析和热失重分析方法研究了材料的结构和性能。在50℃烘箱中经较长时间处理得到的块体材料能用手工抛光而不破裂,表现了较好的弹性和稳定性。经200℃热处理的复合材料,在红外光谱中明显显示存在着胺基结构。TG分析表明复合材料大约在300℃以后由于有机物的挥发和分解而大量失重。 展开更多
关键词 溶胶凝胶 胺基 硅酸盐 差热分析 热失重分析
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Electrochemical property of LiFePO4/C composite cathode with different carbon sources 被引量:4
12
作者 Xin Li Yu Zhi Jiang +5 位作者 Xi Kun Li Hai Xia Jiang Jun Long Liu Jun Feng Shi Bin Lin Xin Guan 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第9期743-749,共7页
To improve the performance of battery cathode materials that consist of carbonaceous organic material, carbon coatings on lithium iron phosphate (LiFePO4/C) materials were synthesized by different carbon sources. Li... To improve the performance of battery cathode materials that consist of carbonaceous organic material, carbon coatings on lithium iron phosphate (LiFePO4/C) materials were synthesized by different carbon sources. LiFePO4/C was synthesized by a combination method of sol-gel and gas-phase diffused permeation. LiFeO4/C materials were prepared by coating different carbon con- tents. High-performance composite materials were pre- pared by combining carbon with element doped by two modified methods. The elements of Fe and C came from Fe3+ and sucrose, glucose, citric acid. Thermogravimetry- differential thermal analysis (TG-DTA), X-ray diffrac- tometer (XRD), scanning electron microscope (SEM), cycle voltammetry (CV), and charge-discharge test were used to characterize and test the surface morphology, structure, and electrochemical performance. The results show that LiFePO4/C synthesized with sucrose has higher specific discharge capacity than the other materials. The specific discharge capacity of this material is 84.27 mAh.g-1. The capacity retention could attain 94 % of the initial discharge capacity after 30 cycles, showing good electrochemical performance. 展开更多
关键词 solgel Gas-phase diffused permeation LIFEPO4/C SUCROSE Citric acid
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酸加入量对Sol-Gel滴球法介孔氧化铝微球性能的影响 被引量:3
13
作者 张波 王晶 张豪杰 《大连铁道学院学报》 2005年第3期67-71,共5页
采用L in等提出的滴球技术制备了直径在1 mm左右的氧化铝微球.利用N2吸附、SEM等方法对不同酸条件下制得的微球进行了性能研究,结果表明:该法制得的氧化铝微球为多孔材料,其孔径在介孔范围.随酸加入量的增加孔的平均粒径减小,BET比表面... 采用L in等提出的滴球技术制备了直径在1 mm左右的氧化铝微球.利用N2吸附、SEM等方法对不同酸条件下制得的微球进行了性能研究,结果表明:该法制得的氧化铝微球为多孔材料,其孔径在介孔范围.随酸加入量的增加孔的平均粒径减小,BET比表面积及孔容则增大. 展开更多
关键词 介孔氧化铝 SOL-GEL 微球
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双相铝硅凝胶Al_2O_3/SiO_2比对莫来石陶瓷显微结构的影响 被引量:3
14
作者 禹剑 袁启明 +1 位作者 杨正方 陈玉茹 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期350-355,共6页
对具有不同Al2O3/SiO2比的双相铝硅凝胶的烧结行为及陶瓷材料的显微结构进行了研究。结果表明,少量液相的存在对先驱粉末的致密化速率和材料显微结构有显著的影响。富硅莫来石先驱粉末成型体能在较低的温度下常压烧结,相对... 对具有不同Al2O3/SiO2比的双相铝硅凝胶的烧结行为及陶瓷材料的显微结构进行了研究。结果表明,少量液相的存在对先驱粉末的致密化速率和材料显微结构有显著的影响。富硅莫来石先驱粉末成型体能在较低的温度下常压烧结,相对密度高达98%以上,试样有柱状莫来石晶粒存在。随着铝硅比的升高,先驱粉末成型体必须在更高温度下烧成,才能致密化,而且试样显微结构由尺寸较大的等轴状莫来石晶粒构成。这表明,铝含量多的莫来石,其晶界迁移速率更大。 展开更多
关键词 莫来石 烧结 显微结构 陶瓷 硅凝胶
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玻璃掺杂(Sr_xBa_(1-x))TiO_3陶瓷基压敏材料的制备、表征及性能 被引量:2
15
作者 孔令兵 张良莹 姚熹 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期724-728,共5页
采用陶瓷工艺,制备了钙钛矿结构的(SrxBa1-x)TiO3粉料。利用溶胶凝胶技术合成的BSiPb玻璃对(SrxBa1-x)TiO3进行掺杂。所制备的材料具有非线性VI特性,非线性系数在3~4之间,当x≤0.33时,... 采用陶瓷工艺,制备了钙钛矿结构的(SrxBa1-x)TiO3粉料。利用溶胶凝胶技术合成的BSiPb玻璃对(SrxBa1-x)TiO3进行掺杂。所制备的材料具有非线性VI特性,非线性系数在3~4之间,当x≤0.33时,其V1mA值低于20Vmm-1;x≥0.40时,V1mA值急剧上升。材料制备不需要经过氧化还原两步工艺过程,对于工业生产具有重要意义。 展开更多
关键词 玻璃 溶胶凝胶法 压敏电阻器 氧化钛陶瓷 掺杂
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溶胶凝胶ZrO_(2)/SiO_(2)宽带减反膜的制备与性能
16
作者 沈斌 张旭 +2 位作者 熊怀 李海元 谢兴龙 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期283-289,共7页
采用溶胶凝胶法制备得到以正丙醇锆和正硅酸乙酯为前驱体的ZrO_(2)和SiO_(2)溶胶,通过TFCalc光学薄膜软件模拟了ZrO_(2)/SiO_(2)三层“宽M型”基频二倍频减反膜,并使用提拉法制备得到了该均匀膜层。三层减反膜在527 nm和1053 nm处的透... 采用溶胶凝胶法制备得到以正丙醇锆和正硅酸乙酯为前驱体的ZrO_(2)和SiO_(2)溶胶,通过TFCalc光学薄膜软件模拟了ZrO_(2)/SiO_(2)三层“宽M型”基频二倍频减反膜,并使用提拉法制备得到了该均匀膜层。三层减反膜在527 nm和1053 nm处的透过率约为99.5%,且透过率大于99%的波长范围均超过150 nm。经热处理后的膜层表面均方根粗糙度为1.34 nm,表面平整性良好;并运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该减反膜的零几率激光损伤阈值达到36.8 J·cm^(-2)(1064 nm,10.7 ns)。 展开更多
关键词 材料 溶胶凝胶 减反膜 ZrO_(2)/SiO_(2) 双波长
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莫来石溶胶涂层炭纤维及其表征方法 被引量:4
17
作者 曹峰 李效东 彭平 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第1期7-12,共6页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)技术,以正硅酸乙酯和硝酸铝为基本原料,按莫来石(3Al2O3·2SiO2)的组成配制成溶胶。将此溶胶对炭纤维进行涂覆并无机化,得到在纤维单丝表面分布与结合良好的氧化物涂层。此涂层对... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)技术,以正硅酸乙酯和硝酸铝为基本原料,按莫来石(3Al2O3·2SiO2)的组成配制成溶胶。将此溶胶对炭纤维进行涂覆并无机化,得到在纤维单丝表面分布与结合良好的氧化物涂层。此涂层对炭纤维的高温抗氧化性有明显提高。运用X—衍射、SEM、TG/DTA、FTIR、涂层厚度估算等方法对炭纤维涂层进行了表征。 展开更多
关键词 莫来石 涂层 炭纤维 溶胶 溶胶凝胶法
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Preparation and Characterization of Ternary Europium ComplexDoped Thin SolGel Hybrid Film by Fluorescence Spectroscopy 被引量:1
18
作者 FU Lianshe ZHANG Hongjie +3 位作者 WANG Shubin MENG Qingguo YANG Kuiyue NI Jiazuan 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 1999年第2期8-12,共5页
Ternary europium complex with dibenzoylmethane(DBM)and 1,10phenanthroline(phen)was insitu synthesized in thin SiO2/polyvinyl butyral(PVB)hybrid films by a twostep solgel process and characterized by means of fluoresce... Ternary europium complex with dibenzoylmethane(DBM)and 1,10phenanthroline(phen)was insitu synthesized in thin SiO2/polyvinyl butyral(PVB)hybrid films by a twostep solgel process and characterized by means of fluorescence spectroscopy.The luminescence spectra,fluorescence lifetimes and photostability were all investigated.The results showed that the hybrid films exhibited the characteristic emission bands of the central rare earth Eu3+.In addition,Eu3+presented longer fluorescence lifetime than in an ethanol solution and the complex had a higher photostability in the hybrid film than in the PVB film containing the corresponding pure complex. 展开更多
关键词 Rare earth complex Insitu synthesis Twostep solgel process Hybrid film Fluorescence spectroscopy process Hybrid film Fluorescence spectroscopy
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Preparation of LiTi_2(PO_4)_3 by the Sol-gel Method and Investigation of Its Formation Process 被引量:1
19
作者 ZHU Jishun Tohge Noboru Minami Tsutomu 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 1999年第2期13-17,共5页
In this study,a novel solgel method has been developed to prepare LiTi2(PO4)3 lithium ion conductor as monophase at relatively low temperature(600).According to the XRD and IR analysis,the asprepared sample remained a... In this study,a novel solgel method has been developed to prepare LiTi2(PO4)3 lithium ion conductor as monophase at relatively low temperature(600).According to the XRD and IR analysis,the asprepared sample remained an amorphous state up to 500.The activation energy was calculated to be 252 kJ/mol according to the modified Kissinger equation. 展开更多
关键词 Lithium ion conductor LiTi2(PO4)3 Sol-gel method Crystallization process LiTi2(PO4)3 solgel method Crystallization process
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Surface plasmon interference pattern on the surface of a silver-clad planar waveguide as a sub-micron lithography tool 被引量:3
20
作者 ZHU QiuXiang HU CanDong +7 位作者 WANG WenJie HE Miao ZHOU Jun ZHAO LingZhi PENG ZhiXiang LI ShuTi ZHU Ning ZHANG Yong 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2011年第2期240-244,共5页
A new sub-micron photolithography tool has been realized by utilizing the interference of surface plasmon waves(SPWs) on the near surface of a silver(Ag)-clad ultraviolet(UV) planar waveguide.A laser beam with a wavel... A new sub-micron photolithography tool has been realized by utilizing the interference of surface plasmon waves(SPWs) on the near surface of a silver(Ag)-clad ultraviolet(UV) planar waveguide.A laser beam with a wavelength of 325 nm was incident into the waveguide core,and suffered a series of total internal reflections on the interfaces between the waveguide core and the cladding layers.The incident light and the reflected light induced two beams of SPWs traveling in contrary directions,which interfered with each other and formed a standing wave as a sub-micron photolithography tool.A near-field scanning optical microscope(NSOM) was employed to measure the intensity distribution of the stationary wave field of the near surface of the Ag layer of the waveguide,anastomosed with theoretical values acquired by use of finite difference time domain(FDTD) simulations.And with this sub-micron photolithography tool a SMG with a period of 79.3 nm,in good agreement with the theoretical value of 80.1 nm,was inscribed on the surface of a self-processing hybrid SiO2/ZrO2 solgel film for the first time. 展开更多
关键词 surface plasmon waves(SPW) silver(Ag)-clad planar waveguide solgel sub-micron lithography
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