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金属薄膜力学性能的有限元分析 被引量:6
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作者 任德斌 陈英 +1 位作者 靳朝辉 张广平 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》 EI CAS 2007年第1期29-32,共4页
目的获得较为精确的金属薄膜弹性模量E的计算公式.方法用有限元方法对修正后的Sneddon方程进行验证.结果修正后的Sneddon方程求出的弹性模量与真实的弹性模量基本吻合.结论经验证,笔者提出的Sneddon方程的修正方程计算精度更为精确.
关键词 弹性模量 sneddon方程 纳米压痕 有限元
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