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等离子体反应溅射生成SnO_2气体传感器薄膜的研究
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作者 姚圣康 林玉枝 《福州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1992年第1期26-30,共5页
利用低温空气等离子体反应溅射技术淀积ＳｎＯ_２薄膜，研究了ＳｎＯ_２薄膜气敏元件对几种 可燃性气体的气敏效应及其性能；通过掺杂提高了元件的选择性，并对反应溅射机理和气敏机理 作了一些探讨．
关键词 氧化锡 等离子体 溅射 传感器 薄膜
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