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绒面ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜的制备 被引量:8
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作者 付恩刚 方玲 +1 位作者 庄大明 张弓 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期672-676,共5页
利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制备了绒面ZAO(ZnO∶Al)薄膜,考察了所制备的绒面ZAO薄膜与绒面SnO2∶F薄膜在绒度、粗糙度、表面形貌以及电学性质的差异,利用原子力显微镜对薄膜表面形貌进行了分... 利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制备了绒面ZAO(ZnO∶Al)薄膜,考察了所制备的绒面ZAO薄膜与绒面SnO2∶F薄膜在绒度、粗糙度、表面形貌以及电学性质的差异,利用原子力显微镜对薄膜表面形貌进行了分析并计算出薄膜表面粗糙度,利用紫外可见分光光度计和电阻测试仪测量了薄膜的光学、电学特性。结果表明:所制备的绒面ZAO薄膜具有与绒面SnO2∶F薄膜相比拟的各种性能,在非晶硅太阳电池中具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 磁控溅射 ZAO薄膜 sno2:f薄膜 导电薄膜 绒面透明导电氧化物 陷光结构 掺铝氧化锌 非晶硅太阳电池
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用超声喷雾热分解法制备SnO_2:F薄膜 被引量:2
2
作者 陈全 崔容强 +2 位作者 徐东 Wolden COLIN 奚建平 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期97-100,共4页
采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm... 采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm。此外对石墨导热体和置于其上的玻璃基片两者之间的温度差别做了初步研究。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解法 制备 sno2:f薄膜 金属氧化物薄膜 半导体材料
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超声喷雾方法制备低辐射玻璃
3
作者 陈红 高锦岳 +1 位作者 温津 周大凡 《物理实验》 北大核心 2004年第12期16-19,共4页
利用超声喷雾方法在玻璃基板上喷涂SnO2 :F薄膜 ,制备了低辐射玻璃 (Low E玻璃 ) .通过光谱测量 ,得到其可见光透过率为 85 %以上 ,在近红外波段出现高反射 .利用四探针测量仪 ,测量其面电阻在 2Ω/cm2 以下 .扫描电镜测量结果表明膜的... 利用超声喷雾方法在玻璃基板上喷涂SnO2 :F薄膜 ,制备了低辐射玻璃 (Low E玻璃 ) .通过光谱测量 ,得到其可见光透过率为 85 %以上 ,在近红外波段出现高反射 .利用四探针测量仪 ,测量其面电阻在 2Ω/cm2 以下 .扫描电镜测量结果表明膜的均匀性较好 ,平均颗粒直径约在 5 0nm .利用等离子体截止波长理论 ,解释了低辐射玻璃红外反射的物理机制 . 展开更多
关键词 超声喷雾热解法 sno2:f薄膜 低辐射玻璃
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退火处理对SnO2:F薄膜光电性能的影响 被引量:4
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作者 李铭 高倩 +2 位作者 刘涌 宋晨路 韩高荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期132-135,共4页
SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行... SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行不同的退火处理。并通过一系列的研究,结果发现,薄膜的结构、组成、电学、光学性能在氮气和空气两种不同的退火气氛下会有显著的变化。SnO2∶F薄膜的Low-e性能经过空气中高温退火后下降明显。通过计算对比退火后SnO2∶F薄膜的晶格常数和晶胞尺寸,提出了一种对于薄膜Low-e性能下降的合理解释。 展开更多
关键词 LOW-E sno2f薄膜 退火 常压化学气相沉积
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衬底温度对超声喷雾法制备大面积绒面SnO_2:F薄膜特性影响的研究 被引量:2
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作者 赵庚申 梁凯 +1 位作者 郭天勇 王庆章 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期758-761,共4页
详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2:F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。试验曲线和SEM图的研究结果表明,将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高,晶粒尺寸明显增大;温... 详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2:F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。试验曲线和SEM图的研究结果表明,将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高,晶粒尺寸明显增大;温度在470℃左右绒度达到13%。文章同时对超声喷雾热分解工艺制备大面积绒面SnO2:F薄膜做了工艺探索,并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了6.46%。 展开更多
关键词 太阳电池 绒面 sno2:f薄膜 超声喷雾热分解
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Using HF rather than NH_4F as doping source for spray-deposited SnO_2:F thin films 被引量:2
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作者 S.J.Ikhmayies R.N.Ahmad-Bitar 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第3期791-796,共6页
Fluorine doped tin oxide SnO2:F thin films were prepared by the spray pyrolysis (SP) technique on glass substrates by using SnC12.2H2O as a precursor and NH4F and HF as doping compounds. A comparison between the pr... Fluorine doped tin oxide SnO2:F thin films were prepared by the spray pyrolysis (SP) technique on glass substrates by using SnC12.2H2O as a precursor and NH4F and HF as doping compounds. A comparison between the properties of the films obtained by using the two doping compounds was performed by using I-V characteristics in the dark at room temperature, AC measurements, and transmittance. It is found that the films prepared by using HF have smaller resistivity, lower impedance and they are less capacitive than films prepared by using NH4F. In addition, these films have higher transmittance, higher optical bandgap energy and narrower Urbach tail width. These results are interesting for the use of SnO2:F as forecontact in CdS/CdTe solar cells. 展开更多
关键词 CdS/CdTe solar cells transparent conducting oxides spray pyrolysis DOPING
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二甲基二氯化锡前驱体CVD制备SnO2∶F薄膜及其性能研究 被引量:1
7
作者 陈峰 张振华 +2 位作者 赵会峰 鲍思权 姜宏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第24期6-10,15,共6页
采用二甲基二氯化锡(DMTC)为新前驱体,通过常压CVD法在硼硅玻璃基板上制备SnO_2∶F透明导电薄膜,研究了DMTC、TFA和H_2O的含量对薄膜结构及光电性能的影响,研究表明当F/Sn物质的量比为1∶1、H2O/Sn物质的量比为3∶2时,制备出可见光透过... 采用二甲基二氯化锡(DMTC)为新前驱体,通过常压CVD法在硼硅玻璃基板上制备SnO_2∶F透明导电薄膜,研究了DMTC、TFA和H_2O的含量对薄膜结构及光电性能的影响,研究表明当F/Sn物质的量比为1∶1、H2O/Sn物质的量比为3∶2时,制备出可见光透过率84.17%、方块电阻9.2Ω/□且结晶性能良好的多晶SnO_2薄膜。通过与单丁基三氯化锡(MBTC)为前驱体所制备薄膜的性能进行比较,结果表明,两种前驱体所制备薄膜均具有四方金红石结构,利用DMTC不仅可以制备出与MBTC性能相近的薄膜,同时薄膜表面更加均匀。 展开更多
关键词 二甲基二氯化锡 化学气相沉积法 sno2f薄膜
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超声热解法制备SnO2:F薄膜加热管及其性能研究
8
作者 施卫 侯磊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1160-1164,1168,共6页
采用超声喷涂热解淀积方法将SnO2:F透明导电薄膜制备于耐高温的硼硅玻璃管内壁.XRD物相分析及SEM、STM形貌分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构,平均粒径50nm.分析了薄膜中F取代SnO2中O的形成过程和薄膜电导率增强的机理,解释了不同的工艺条... 采用超声喷涂热解淀积方法将SnO2:F透明导电薄膜制备于耐高温的硼硅玻璃管内壁.XRD物相分析及SEM、STM形貌分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构,平均粒径50nm.分析了薄膜中F取代SnO2中O的形成过程和薄膜电导率增强的机理,解释了不同的工艺条件对薄膜的结构、光电特性的影响,确定了制备SnO2:F薄膜加热管的最佳工艺条件.该条件下制备的薄膜的电阻率达4×10-4Ω·cm,可见光透过率高于90%,功率密度平均可达35 W/cm2. 展开更多
关键词 薄膜技术 sno2:f薄膜 光电特性 超声喷涂热解法
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退火气氛对SnO2:F薄膜low-e性能的影响(英文)
9
作者 高倩 李铭 +3 位作者 刘涌 宋晨路 葛言凯 韩高荣 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S3期304-309,共6页
SiO_2:F薄膜作为low-e玻璃的功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。对帮化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250 nm厚的SiO_2:F薄膜进行不同气氛的退火处理。结果发现,薄膜的电学、光学性能在氦气和空气两种不同的退火气氛下会有显著的变化... SiO_2:F薄膜作为low-e玻璃的功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。对帮化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250 nm厚的SiO_2:F薄膜进行不同气氛的退火处理。结果发现,薄膜的电学、光学性能在氦气和空气两种不同的退火气氛下会有显著的变化。SiO_2:F薄膜的Low-e性能经过空气中高温退火下降明显。但在空气中退火后,再在氮气保护下退火,性能会有所恢复。对该现象的机理也进行了研究。 展开更多
关键词 LOW-E sno2:f薄膜 退火 常压化学气相沉积
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SnO_2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 被引量:7
10
作者 苗莉 徐瑞松 马跃良 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期121-123,共3页
采用喷雾热分解(Spray pyrolysis)方法,以NH_4F、SnCl_2·2H_2O为原料,对反应液配方进行了优化,在普通玻璃衬底上制备出了光电性能优良的掺F二氧化锡透明导电薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV/V... 采用喷雾热分解(Spray pyrolysis)方法,以NH_4F、SnCl_2·2H_2O为原料,对反应液配方进行了优化,在普通玻璃衬底上制备出了光电性能优良的掺F二氧化锡透明导电薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV/VIS)对薄膜的结构、形貌、光学、电学特征进行了表征和分析。结果表明:在衬底温度为500℃,NH_4F/SnCl_2·2H_2O的质量百分比为20%,喷涂时间为15s时掺F二氧化锡薄膜的方块电阻最低达到6.2Ω/□,可见光透射率为86.95%,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。 展开更多
关键词 sno2:f导电薄膜 喷雾热分解法 性能
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喷雾热解法制备SnO_2∶F+Sb薄膜的结构及性能研究 被引量:1
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作者 钟明 赵高扬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1429-1431,1434,共4页
采用喷雾热解法在玻璃基板上制备了SnO2∶F+Sb薄膜,对薄膜的结构及性能进行了研究。用STM对薄膜表面进行表征,发现薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为16.283nm。四探针测试仪测定薄膜方阻为60Ω/□,电阻率为2.1×10-3Ω.cm。用XRD表征薄... 采用喷雾热解法在玻璃基板上制备了SnO2∶F+Sb薄膜,对薄膜的结构及性能进行了研究。用STM对薄膜表面进行表征,发现薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为16.283nm。四探针测试仪测定薄膜方阻为60Ω/□,电阻率为2.1×10-3Ω.cm。用XRD表征薄膜结构,薄膜为四方相多晶SnO2结构,说明掺杂没有该变薄膜结构。对薄膜的光学性能进行了测试,可见光透过率达到80%,在2500nm处的中远红外区反射率由镀膜前的6%上升到36%。按国家标准测试了镀膜玻璃耐酸碱稳定性,实验前后薄膜的可见光透过率变化<3%,符合国家标准。同时本研究还对镀膜玻璃的保温性能进行了测试,结果表明本实验制备的镀膜玻璃具有较好的保温性能。 展开更多
关键词 喷雾热解 sno2:f+Sb薄膜 镀膜玻璃
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