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掺Pt的SnO_2薄膜气敏特性研究
被引量：
4
1
作者
白振华
潘国峰
+1 位作者
孙以材
张效玮
《传感器世界》
2008年第3期14-17,24,共5页
用直流磁控溅射法分别在Si(111)基片及陶瓷基片上制备掺有Pt的SnO2薄膜,并进行500℃～700℃退火处理,对掺杂前后的薄膜进行XRD分析,测试各掺杂样品气敏特性。500℃退火后,掺杂样品对各种有机气体有较高的灵敏度,随着溅射时间的延长,气...
用直流磁控溅射法分别在Si(111)基片及陶瓷基片上制备掺有Pt的SnO2薄膜,并进行500℃～700℃退火处理,对掺杂前后的薄膜进行XRD分析,测试各掺杂样品气敏特性。500℃退火后,掺杂样品对各种有机气体有较高的灵敏度,随着溅射时间的延长,气敏特性提高。700℃退火后,45min溅射的样品对氨气有很高的灵敏度和很好的选择性,最佳工作温度为220℃左右。随着掺杂时间延长,气敏特性降低。
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关键词
sn
02
薄膜
磁控溅射
气敏特性
灵敏度
下载PDF
职称材料
用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质
被引量：
3
2
作者
孙克
赵岩
+1 位作者
沈文锋
张彩碚
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期180-185,共6页
用溶胶-凝胶法制备SnO_2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al_2O_3基片表面制备出SnO_2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO_2薄膜。用XRD分析了单晶Si表面的SnO_2薄膜,研究激光功率对SnO_2薄膜相组成的影响。TEM观...
用溶胶-凝胶法制备SnO_2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al_2O_3基片表面制备出SnO_2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO_2薄膜。用XRD分析了单晶Si表面的SnO_2薄膜,研究激光功率对SnO_2薄膜相组成的影响。TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO_2颗粒均匀,直径约为10nm。用激光烧结法制备的SnO_2薄膜对浓度为1.80×10^(-4)丙酮的最高灵敏度为30～40,明显高于用传统烧结法制备的SnO_2薄膜的灵敏度。激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度。
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关键词
无机非金属材料
sn
02
薄膜
激光烧结
灵敏度
气敏特性
丙酮
气敏传感器
二氧化硅
半导体
薄膜
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职称材料
题名
掺Pt的SnO_2薄膜气敏特性研究
被引量：
4
1
作者
白振华
潘国峰
孙以材
张效玮
机构
河北工业大学微电子研究所
河北工业大学信息工程学院
出处
《传感器世界》
2008年第3期14-17,24,共5页
文摘
用直流磁控溅射法分别在Si(111)基片及陶瓷基片上制备掺有Pt的SnO2薄膜,并进行500℃～700℃退火处理,对掺杂前后的薄膜进行XRD分析,测试各掺杂样品气敏特性。500℃退火后,掺杂样品对各种有机气体有较高的灵敏度,随着溅射时间的延长,气敏特性提高。700℃退火后,45min溅射的样品对氨气有很高的灵敏度和很好的选择性,最佳工作温度为220℃左右。随着掺杂时间延长,气敏特性降低。
关键词
sn
02
薄膜
磁控溅射
气敏特性
灵敏度
Keywords
sn
02
thin films
doped sputter
sensing properties
sensitivity
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质
被引量：
3
2
作者
孙克
赵岩
沈文锋
张彩碚
机构
东北大学
中国科学院金属研究所
出处
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期180-185,共6页
基金
国家重点研究发展规划资助项目 G2000067205-4
文摘
用溶胶-凝胶法制备SnO_2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al_2O_3基片表面制备出SnO_2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO_2薄膜。用XRD分析了单晶Si表面的SnO_2薄膜,研究激光功率对SnO_2薄膜相组成的影响。TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO_2颗粒均匀,直径约为10nm。用激光烧结法制备的SnO_2薄膜对浓度为1.80×10^(-4)丙酮的最高灵敏度为30～40,明显高于用传统烧结法制备的SnO_2薄膜的灵敏度。激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度。
关键词
无机非金属材料
sn
02
薄膜
激光烧结
灵敏度
气敏特性
丙酮
气敏传感器
二氧化硅
半导体
薄膜
Keywords
inorganic non-metallic materials,
sn
O2 film, laser sintering, sensitivity, gas sensing properties, acetone
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掺Pt的SnO_2薄膜气敏特性研究
白振华
潘国峰
孙以材
张效玮
《传感器世界》
2008
4
下载PDF
职称材料
2
用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质
孙克
赵岩
沈文锋
张彩碚
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
3
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职称材料
已选择
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