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硅微振动陀螺的理论分析 被引量：3
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作者 茅盘松 王修伦 吴绍夫 《传感器技术》 CSCD 1995年第6期6-10,共5页
应用欧拉动力学基本方程，对双框架结构的硅微型振动陀螺进行了理论分析，给出了完整的陀螺动力学方程，并且从灵敏度和驱动技术的角度对这种陀螺的机理作了探讨。
关键词 硅 微型机械 振动陀螺 动力学方程
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